$ZrO_2$ 와 $CeO_2$ 절연체를 이용한 BLT/절연체/Si 구조의 특성
(Characterization of BLT/insulator/Si structure using $ZrO_2$ and $CeO_2$ insulator)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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- pp.186-189
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- 2003