TOF법에 의한 $CF_4+Ar$ 혼합기체의 전자수송특성 해석
(Analysis of electron transport properties of $CF_4+Ar$ mixtures gas by the TOF method)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1998년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.279-283
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- 1998