• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.256-256
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• 2012

Cu가 기존 배선물질인 Al을 대체함에 따라 resistance-capacitance delay와 electromigration (EM) 등의 문제들이 어느 정도 해결되었다. 그러나 지속적인 배선 폭의 감소로 배선의 저항 증가, EM 현상 강화 그리고 stability 악화 등의 문제가 지속적으로 야기되고 있다. 이를 해결하기 위한 방법으로 Cu alloy seed layer를 이용한 barrier 자가형성 공정에 대한 연구를 진행하였다. 이 공정은 Cu 합금을 seed layer로 사용하여 도금을 한 후 열처리를 통해 $SiO_2$와의 계면에서 barrier를 자가 형성시키는 공정이다. 이 공정은 매우 균일하고 얇은 barrier를 형성할 수 있고 별도의 barrier와 glue layer를 형성하지 않아 seed layer를 위한 공간을 추가로 확보할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한, via bottom에 barrier가 형성되지 않아 배선 전체 저항을 급격히 낮출 수 있다. 합금 물질로는 초기 Al이나 Mg에 대한 연구가 진행되었으나, 낮은 oxide formation energy로 인해 SiO2에 과도한 손상을 주는 문제점이 제기되었다. 최근 Mn을 합금 물질로 사용한 안정적인 barrier 형성 공정이 보고 되고 있다. 하지만, barrier 형성을 하기 위해 300도 이상의 열처리 온도가 필요하고 열처리 시간 또한 긴 단점이 있다. 본 실험에서는 co-sputtering system을 사용하여 Cu-V 합금을 형성하였고, barrier를 자가 형성을 위해 300도에서 500도까지 열처리 온도를 변화시키며 1시간 동안 열처리를 실시하였다. Cu-V 공정 조건 확립을 위해 AFM, XRD, 4-point probe system을 이용하여 표면 거칠기, 결정성과 비저항을 평가하였다. Cu-V 박막 내 V의 함량은 V target의 plasma power density를 변화시켜 조절 하였으며 XPS를 통해 분석하였다. 열처리 후 시편의 단면을 TEM으로 분석하여 Cu-V 박막과 $SiO_2$ 사이에 interlayer가 형성된 것을 확인 하였으며 EDS를 이용한 element mapping을 통해 Cu-V 내 V의 거동과 interlayer의 성분을 확인하였다. PVD Cu-V 박막은 기판 온도에 큰 영향을 받았고, 200도 이상에서는 Cu의 높은 표면에너지에 의한 agglomeration 현상으로 거친 표면을 가지는 박막이 형성되었다. 7.61 at.%의 V함량을 가지는 Cu-V 박막을 300도에서 1시간 열처리 한 결과 4.5 nm의 V based oxide interlayer가 형성된 것을 확인하였다. 열처리에 의해 Cu-V 박막 내 V은 $SiO_2$와의 계면과 박막 표면으로 확산하며 oxide를 형성했으며 Cu-V 박막 내 V 함량은 줄어들었다. 300, 400, 500도에서 열처리 한 결과 동일 조성과 열처리 온도에서 Cu-Mn에 의해 형성된 interlayer의 두께 보다 두껍게 성장했다. 이는 V의 oxide formation energy가 Mn 보다 작으므로 SiO2와의 계면에서 산화막 형성이 쉽기 때문으로 판단된다. 또한, $V^{+5}$이온 반경이 $Mn^{+2}$이온 반경보다 작아 oxide 내부에서 확산이 용이하며 oxide 박막 내에 여기되는 전기장이 더 큰 산화수를 가지는 V의 경우 더 크기 때문으로 판단된다.

• 한국동물학회지
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• 제33권4호
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• pp.468-475
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• 1990

개선된 방법인 알칼리 가수분해와 얇은 층 cellulose전기 영동 (TLE)으로 in vitro 조건에서 쥐 뇌의 용해부분에서의 단백질 황산화의 특성을 추가로 조사하였다. 단백질 황산화는 방사능을 띤 [35 S] 3'-phosphoadenosine-5'-phosphosulfate (PAPS),Tris-maleate buffer (pH 8), MgCI$_2$, 그리고 쥐 뇌의 용해 단백질이 포함된 반응체 내에서 실행되었다. 황산화된 단백질들은 acetone에 의해 침전된 후 황산화된 아미노산을 얻기위해 알칼리 가수분해를 하였다. 더나아가 그 가수분해물을 TLE로 분리하고 황산화된 잔기들을 fluorography를 통해 확인하였다. 일차원 TLE의 fluorography에서는 tryosine-O-sulfate를 포함한 적어도 9개의 황산된 잔기들이 나타났다. tryosine-O-sulfate를 제외한 다른 잔기들은 아직 분명하게 밝혀지지 않고 있다. 이런 방법으로 단백질 황산기전달효소(PST)의 일반적 성질들 즉, PAPS농도, pH,반응온도,그리고 $Mg^2$+등의 효과를 재조사하였다. 이런 결고들은 쥐 뇌에서 각황산화된 잔기들에 해당하는 여러개의 PST의 존재가 가능하며 단백질 황산화가 tryosine뿐만 아니라 다른 잔기들에서도 일어날 수 있음을 암시한다.

• 한국결정성장학회지
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• 제24권2호
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• pp.65-69
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• 2014

A1100, A5052, A6061, A6063, A7075 규격의 시판 알루미늄 합금 판재를 $Na_2SiO_3$와 $Na_2P_2O_7$ 전해질에서 pulse폭 $2000{\mu}sec$, + impulse 420 V, $400{\mu}sec$, -impulse $300{\mu}sec$의 bipolar pulse로 플라즈마 전해 산화 코팅(plasma electrolytic oxidation coating)한 산화피막의 결정상을 분석하였다. 표면에 형성된 산화물의 결정상은 ${\alpha}-alumina$, ${\gamma}-alumina$, ${\eta}-alumina$, $Al_{4.95}Si_{1.05}O_{9.52}$, 그리고 $(Al_{0.9}Cr_{0.1})_2O_3$가 관찰되었다. Bipolar pulse에 의해서 전해액의 성분인 Si가 산화피막에 포함되며, 포함된 Si는 결정상을 형성하기도 하지만 유리상을 형성시킨다. 이때 합금의 Mg 성분은 유리상의 양을 증가시킨다. Micro plasma에 의해서 용융된 표면은 유리상이 먼저 형성되고 이후 계속된 micro plasma의 열에 의하여 새로운 결정상으로 전이가 일어나는 과정을 거치며, 이에 따라 기존에 보고된 결정상이외에도 다양한 결정상이 형성될 수 있음을 추측할 수 있다.

• 한국표면공학회지
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• 제45권4호
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• pp.155-161
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• 2012

Magnesium alloys of AZ31, AZ31 + (0.5, 1, 1.5)wt.% CaO were cast, hot rolled, and oxidized between 450 and $650^{\circ}C$ in atmospheric air. The added CaO enabled to cast the AZ31 alloy in air. It decomposed and precipitated along the grain boundaries of the AZ31 alloy as $Al_2Ca$. The more the amount of CaO was, the more $Al_2Ca$ formed. The oxidation limit was about $450^{\circ}C$ for the AZ31 alloy. But, It increased to $650^{\circ}C$ in the CaO-added alloys. Hot rolling destroyed the precipitates that formed along the grain boundaries of the AZ31 alloy. During oxidation, MgO oxide scales that incorporated CaO formed at the outer surface of the formed oxide layer.

• 자원환경지질
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• 제53권1호
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• pp.1-9
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• 2020

이산화탄소 고정화 및 탄산화 반응에는 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)과 같은 알칼리토류 금속을 함유하고 있는 사문석(serpentine, Mg₃Si₂O₅(OH)₄) 규회석(wollastonite, CaSiO₃), 감람석(olivine, Mg₂SiO₄)과 같은 칼슘/마그네슘 실리케이트 광물(Ca/Mg-silicate mineral)들이 주로 이용되어 왔다. 특히 사문석은 탄산화가 가능한 자연물질 중 자연계 내에 풍부한 매장량을 갖고 있으며, 우수한 반응성 때문에 광물탄산화에 가장 적절한 출발물질로 인식되어 있다. 따라서 본 연구는 사문석을 출발물질로 사용하여 산성 용액 내에서 이산화탄소의 압력이 탄산화 효율에 미치는 영향력을 확인하고자 하였다. 탄산화 실험 조건은 황산용액 0.3~1 M, 반응온도 100℃ 및 150℃ 그리고 이산화탄소의 부분압력 0~3 MPa이며, 탄산화법은 수정된 직접탄산화법(modified direct method)으로 실시하였다. 또한 탄산화 효율을 높이고자 liquid pump로 NaOH 용액을 주입하여 pH를 13으로 조절하였다. 탄산화율은 황산의 농도 및 반응온도에 비례하여 증가하였으며, 3 MPa의 이화탄소를 주입한 조건에서의 탄산화율이 이산화탄소를 첨가하지 않은 조건의 탄산화율보다 높았다. 반응결과 황산용액 1 M과 이산화탄소 부분압 3 MPa, 반응온도 150℃에서 용출 및 탄산화 실험 후 약 85%의 상당히 높은 탄산화율이 분석되었다. 따라서 산성용액에서 이산화탄소의 압력이 사문석 내의 Mg 용출에 영향을 미치는 것으로 확인되었다. Mg의 용해속도는 Si의 용해속도보다 높아 반응 후 사문석의 Mg : Si의 비가 약 1.5에서 0.1미만으로 급속하게 감소하여, 사문석의 구조 내에 불완전한 Si 사면체 층 골격구조(Mg-depleted skeletal phase)가 분석되었다.

• 한국약용작물학회지
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• 제1권1호
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• pp.43-48
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• 1993

황금(黃芩)(Scutellaria baicalensis)의 엽조직(葉組織)을 배양(培養)하여 기내(器內) 종묘(種苗)를 대양증식(大量增殖)시키고 유기(誘起)된 Callus 내(內)의 약효성분(藥效成分)을 검정(檢定)하여 2차(次) 산물(産物)의 효율적(效率的)인 이용(利用)을 도모하기 위하여 식물생장조절제(植物生長調節劑)가 캘러스유기 및 기관분화에 미치는 영향을 조사(調査)하였다. 엽(葉)으로부터 캘러스 유기(誘起)는 NAA $0.5mg\;/\;{\ell}$ 의 단독처리(單獨處理)에서 양호(良好)했으며, 혼합처리(混合處理)에서는 NAA $0.5mg\;/\;{\ell}\;와\; zeatin\;0.5mg\;/{\ell}$ 의 처리구(處理區)에서 양호(良好)하였다. 캘러스로부터 식물체(植物體) 재분화(再分化)를 위해서는 BAP $1.0mg\;/\;{\ell}\;+\;NAA\;0.5mg\;/\;{\ell}\;와\;zeatin\;1.0mg\;/\;{\ell}\;+\;NAA\;0.5,\;1.0mg\;/\;L$ 혼합처리구(混合處理區)에서 가장 효과적(效果的)이었다. 2차(次) 산물(産物)의 이용(利用)을 위해 캘러스를 TLC법(法)에 의해 성분분석(成分分析)한 결과(結果) baicalin의 존재(存在)를 확인하였다.

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2011년도 임시총회 및 하계학술연구발표회
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• pp.41-41
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• 2011

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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• pp.1491-1494
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• 2006

We report a method for reducing the address discharge delay. The address discharge delay was reduced when the MgO protective layer was made on the dielectric area which was made rough intentionally. The delay reduction was more pronounced in the formative delay.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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• pp.142-142
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• 2006

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2011년도 자성 및 자성재료 국제학술대회
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• pp.82-83
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• 2011