금속 박막위에 ALD법으로 형성된 $Al_{2}O_{3}$ 박막의 계면 특성과 MIM capacitor의 제조
(Interface properties of $Al_{2}O_{3}$ thin film using ALD method on metal film and Fabrication of MIM capacitor)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 II
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- pp.1061-1064
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- 2003