솔-젤법 및 급속열처리에 의한 $Sr_{0.9}4 $Bi_{2.1}$ $Ta_2$ $O_9$ 박막의 저온형성에 관한 연구
(Study on Low Temperature Formation of Ferroelectric $Sr_{0.9}4 $Bi_{2.1}$ $Ta_2$ $O_9$ Thin Films by Sol-Gel Process and Rapid Thermal Annealing)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권4호
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- pp.312-317
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- 2000