선형열처리를 이용한 $Si(100)/Si_3N_4{\parallel}Si(100)$ 기판쌍의 직접접합
(Direct bonding of $Si(100)/Si_3N_4{\parallel}Si(100)$ wafers using fast linear annealing method)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2000년도 추계학술발표회 초록집
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- pp.43-44
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- 2000