• 대한화학회지
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• 제37권1호
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• pp.36-42
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• 1993

$Ca^{2+}$ 이온 존재하에서 비이온성 계면활성제, $nonylphenol-(ethylene oxide)_n\;[NP-(EO)_n; n = 11, 40, 100]$와 요오드간의 charge transfer (CT) 상호작용을 UV-Visible spectrophotometer를 이용하여 수용액중에서 조사하였다. Spectra의 특성은 $Ca^{2+}$ 이온 농도와 EO 갯수에 의존하였다. CMC 이상에서 $NP-(EO)_{11}$과 $NP-(EO)_{40}$에 대한 $Ca^{2+}$이온 첨가에 따른 CT band는 증가하다가 다시 감소하였으며, $NP-(EO)_{100}$에 대해서는 계속적인 증가를 보였다. CT band의 강도가 증가하는 것은 $Ca^{2+}$이온 존재하에서 미셀 구조가 더욱 조밀해진데 따른 요오드와의 donor-acceptor overlap 증가로 볼 수 있다. 이러한 현상들은 수용액 중에서 상태적으로 자유로이 여러가지 배향을 가질 수 잇는 선형 ethylene oxide(EO) 사슬이 유사 크라운 에테르 구조를 형성하여 $Ca^{2+}$ 이온과 착물을 형성할 수 있는 가능성을 보여준다.

• 한국진공학회지
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• 제6권4호
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• pp.326-336
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• 1997

트랜지스터의 소오스/드레인 접합 특성에 가장 큰 영향을 미치는 인자는 이온 주입 시 발생한 실리콘 내에 발생한 결합이라는 사실에 착안하여, 기존 소오스/드레인 접합 형성 공정과 다른 새로운 방식을 도입하여 이온 주입에 의해 생긴 결함의 제어를 통해 고품질 초 저접합 $p^+$-n접합을 형성하였다. 기존의 $p^+$소오스/드레인 접합 형성 공정은 $^{49}BF_2^+$ 이온 주입 후 층간 절연막들인 TEOS(Tetra-Ethyl-Ortho-Silicate)막과 BPSG(Boro-Phospho-Silicate-Glass)막을 증착 후 BPSG막 평탄화를 위한 furnace annealing 공정으로 진행된다. 본 연구에서는 이러한 기존 공정과는 달리 층간 절연막 증착 전 저온 RTA첨가 방법, $^{49}BF_2^+$와 $^{11}B^+$ 을 혼합하여 이온 주입하는 방법, 그리고 이온 주입 후 잔류 산화막을 제거하고 MTO(Medium temperature CVD oxide)를 증착하는 방법을 제시하 였으며, 각각의 방법은 모두 이온 주입에 의한 실리콘 내 결합 농도를 줄여 기존의 방법보 다 더 우수한 양질의 초 저접합을 형성할 수 있었다.

• 한국재료학회지
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• 제31권2호
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• pp.68-74
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• 2021

Zinc-ion Batteris (ZIBs) are recently being considered as energy storage devices due to their high specific capacity and high safety, and the abundance of zinc sources. Especially, ZIBs can overcome the drawbacks of conventional lithium ion batteris (LIBs), such as cost and safety issues. However, in spite of their advantages, the cathode materials under development are required to improve performance of ZIBs, because the capacity and cycling stability of ZIBs are mainly influenced by the cathode materials. To design optimized cathode materials for high performance ZIBs, a novel manganese oxide (MnO2) coated graphite sheet is suggested herein with improved zinc-ion diffusion capability thanks to the uniformly decorated MnO2 on the graphite sheet surface. Especially, to optimize MnO2 on the graphite sheet surface, amounts of percursors are regulated. The optimized MnO2 coated graphite sheet shows a superior zinc-ion diffusion ability and good electrochemical performance, including high specific capacity of 330.8 mAh g-1 at current density of 0.1 A g-1, high-rate performance with 109.4 mAh g-1 at a current density of 2.0 A g-1, and remarkable cycling stability (82.2 % after 200 cycles at a current density of 1.0 A g-1). The excellent electrochemical performance is due to the uniformly decorated MnO2 on the graphite sheet surface, which leads to excellent zinc-ion diffusion ability. Thus, our study can provide a promising strategy for high performance next-generation ZIBs in the near future.

• 한국진공학회지
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• 제10권2호
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• pp.225-233
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• 2001

Oxygen flooding을 이용한 Secondary ion Mass Spectrometry(SIMS) 분석에 있어서 표면에 산화막이 있을 때 발생하는 SIMS depth profile의 왜곡현상에 대한 원인을 분석하고 이를 보정하였다. 이러한 왜곡현상은 표면 산화막에서와 Si 매질에서의 sputter rate이 다른 데서 발생하는 깊이 보정 오류와 상대감도인자(relative sensitivity factor, RSF)가 다른 데서 발생하는 농도보정 오류로부터 발생됨이 밝혀졌다. 깊이보정 오류를 바로잡기 위하여 $N^a+$ 이온을 산화막과 Si 매질의 계면에 대한 marker로 사용하였으며 산화막 두께는 SEM 및 XPS로 측정하였다. 산화막과 Si 매질에서의 sputter rate 및 RSF의 차이는 주로 oxygen flooding이 유발한 산화막 형성시의 부피팽창에 의한 것으로 해석되었으며 이를 보정한 depth profile은 oxygen flooding없이 분석한 경우와 거의 동일한 결과를 보여주었다.

• 한국진공학회지
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• 제22권1호
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• pp.26-30
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• 2013

고유전율 절연체의 한 종류인 산화알루미늄 박막을 전자빔 증착법으로 형성하는 과정에서 산소 이온 빔의 조사를 이용, 산소 이온 빔 보조 증착 효과를 기대하였다. 산소 이온 보조 증착법으로 형성된 산화 알루미늄 박막의 두께 측정 결과, 높은 에너지에서의 이온 빔에 의한 식각 효과를 확인할 수 있었으며, 산소 이온 보조 증착 결과보다 높은 커패시턴스 값도 관찰할 수 있었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.539-542
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• 2001

In SiC semiconductor device processing, it needs high temperature anneal for activation of ion implanted dopants. The macrosteps, 7~8nm in height, are formed on the surface of SiC substrates during activation anneal. We have investigated the effect of thermally-grown SiO$_2$layer on the suppression of macrostep formation during high temperature anneal. The cap oxide layer was found to be efficient for suppression of macrostep formation even though the annealing temperature is as high as the melting point of SiO$_2$. The thin cap oxide layer (10nm) was evaporated during anneal then the macrosteps were formed on SiC substrate. On the other hand the thicker cap oxide layer (50nm) remains until the anneal process ends. In that case, the surface was smoother and the macrosteps were rarely formed. The thermally-grown oxide layer is found to be a good material for the suppression of macrostep formation because of its feasibility of growing and processing. Moreover, we can choose a proper oxide thickness considering the evaporate rate of SiO$_2$at the given temperature.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제30권11호
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• pp.2577-2583
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• 2009

Presented are the formation of iron oxide layers on evaporator tubes in an actual fossil power plant operated under all volatile treatment (AVT) condition and an experimental simulation of iron oxide formation in the presence of ferrous and ferric ions. After actual operations for 12781 and 36326 hr in the power plant, two iron oxide layers of magnetite on the evaporator tubes were found: a continuous inner layer and a porous outer layer. The experimental simulation (i.e., artificial corrosion in the presence of ferrous and ferric ions at 100 ppm level for 100 hr) reveals that ferrous ions turn the continuous inner oxide layer on tube metal to cracks and pores, while ferric ions facilitate the production of porous outer oxide layer consisting of large crystallites. Based on a comparison of the oxide layers produced in the experimental simulation with those observed on the actually used tubes, we propose possible routes for oxid layer formation schematically. In addition, the limits of the proposed corrosion routes are discussed in detail.

• 한국물환경학회지
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• 제27권4호
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• pp.486-490
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• 2011

As(V) adsorption on aluminum oxide powder which was recycled from industrial wastes containing aluminum hydroxide was evaluated. Aluminum oxide powder in this study was prepared by calcinating aluminum hydroxide wastes at$550^{\circ}C$. Spectroscopic analysis indicated that the aluminum hydroxide wastes were changed to aluminum oxide by calcination. Arsenic adsorption isotherm was conducted with variation of ionic strength and multiple-ion systems using Ca(II) and Cu(II). As(V) removal showed typical anionic adsorption characteristics that the removal efficiency decreased with increasing pH in single As(V) system as well as in binary and ternary system. More than 80% of As(V) at an initial concentration of $5{\times}10^{-5}$ M was removed from aluminum oxide powder in As(V) single system. The effect of ionic strength on As(V) adsorption was negligible, which indicated the strong bonding between aluminum oxide powder and As(V). The removal efficiency of As(V) was higher in a binary system with Cu(II) than in a binary system with Ca(II).

• 한국진공학회지
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• 제1권1호
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• pp.168-175
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• 1992

Ion beam mixing과 질소분위기에서 Rapid Thermal Annealing을 이용하여 형성된 TiSi2 박막의 표면과 계면의 물리적, 전기적 특성이 크게 개선되었으며, 기존 Ti-SALICIDE 의 신뢰도 측면에서 문제가 될 수 있는 Oxide Spacer 상에서의 Lateral Silicide 형성이 최 대한 억제된 수 있었다. 또한 Ti-SALICIDE 공정에서의 Ti/Si와 Ti/SiO2의 Interaction을 반응 조건별로 연구하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.430-433
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• 1999

MPPO(Modified-Polyphenylene Oxide) was irradiated with helium, nitrogen, and argon ions at the ion energy of 50 keV and 70 keV from the dose region of 5$\times$10$^{15}$ to 5$\times$10$^{16}$ ions/$\textrm{cm}^2$. The resistance of the irradiated MPPO surface could be decresed about 10$^{10}$ to 10$^{7}$ $\Omega$/sq with increasing the total ion dose and ion energy. Chemical characteristics of the irradiated surface were analyzed by XPS(X-ray photoelectron spectroscopy).