Dense Plasma Sources for Conventional and $PI_3$ Implanters
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- 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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- 한국조명전기설비학회 1999년도 학술대회논문집-국제 전기방전 및 플라즈마 심포지엄 Proceedings of 1999 KIIEE Annual Conference-International Symposium of Electrical Discharge and Plasma
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- pp.29-39
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- 1999