• 제목/요약/키워드: High vacuum standard

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스피닝 로터 게이지 교정 불확도 (Calibration uncertainty of a spinning rotor gauge)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.7-15
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    • 2003
  • 스피닝 로터 게이지는 표준기관의 고진공 국제비교에 전달표준기로 상용되고 있으며, 고진공 국가표준기인 동적교정장치를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 교정하였다. 교정 결과의 불확도를 국제표준화기구에서 권고한 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하는 방법을 제시하였다. 이 방법에 따라 평가한 스피닝 로터 게이지의 합성표준불확도는 $1.8007\times10^{-5}$ Pa ~$4.8422\times10^{-5}$ Pa 이었다.

정적법 고진공표준기에 의해 교정한 스피닝 로터 게이지 불확도 평가 (Uncertainty Analysis of Spinning Rotor Gauge Calibrated by High Vacuum Standard of Static Expansion Method)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.186-194
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    • 2005
  • 정적법 고진공 표준기를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 $4.04\times10^{-3}$ $Pa\~1.11\times10^{-2}$Pa에서 교정하였으며, 그 결과를 국제표준화기구에서 권고한 측정불확도 표현지침에 따라 불확도를 계산 및 평가하였다. 평가 결과 기준압력 $7.5488\times10^{-3}$ Pa에서 교정된 SRG의 합성표준불확도는 $95\%$ 신뢰수준, 포함인자 k = 1에서 $3.0035\times10^{-5}$ Pa로 나타났다.

헬륨 투과형 표준리크 교정장치 개발 (Development of Calibration System of Helium Permeation Type Standard Leaks)

  • 홍승수;임인태;신용현
    • 한국진공학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.347-353
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    • 2006
  • 국제도량형위원회의 질량 및 관련량 자문위원회 (CCM)가 주관하는 헬륨 투과형 표준리크(standard leak) 핵심측정표준 국제비교 (key comparison, KC)에 참여하기 위하여 기존의 정압형 리크표준기에 porous plug를 추가하여 측정범위를 $10^{-6}$ Pa L/s 까지 확장한 헬륨 미세리크 표준기를 개발하였다. 이를 위해 헬륨 기체에 대한 고진공 및 초고진공 표준기의 압력비와 porous plug의 콘덕턴스를 새롭게 측정하였으며, 개발된 장치를 이용하여 명목 값이 $5.6{\times}10^{-4}$ Pa L/s 인 투과형 표준리크를 직접 교정한 결과 표준기와 차이가 11.1 % 임을 알 수 있었다.

저진공에서 초고진공까지의 국가 진공표준 (National Vacuum Standards from Low to Ultra-high Vacuum)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.1-13
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    • 2006
  • 한국표준과학연구원 진공연구실은 1983년 설립된 이후 초음파간섭 수은주압력계, 정적형 표준기 및 동적교정장치 등을 개발하여 저진공에서 초고진공까지 국가 진공표준의 확립 및 보급을 하고 있다. 본 연구에서는 각각의 진공표준기, 국제표준화기구의 권고에 의한 불확도 분석방법, 그리고 핵심측정표준 국제비교 및 국가간 상호비교 결과를 소개한다.

Measurement Uncertainties for Vacuum Standards from a Low to an Ultra-high Vacuum

  • Hong, S.S.;Shin, Y.H.;Lim, J.Y.
    • Applied Science and Convergence Technology
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    • 제23권3호
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    • pp.103-112
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    • 2014
  • The Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) has three major vacuum systems: an ultrasonic interferometer manometer (UIM; Section II, Figs. 1 and 2) for a low vacuum, a static expansion system (SES; Section III, Figs. 3 and 4) for a medium vacuum, and an orifice-type dynamic expansion system (DES, Section IV, Figs. 5 and 6) for high and ultra-high vacuum systems. For each system, explicit measurement model equations with multiple variables are given. According to ISO standards, all of these system variable errors were used to calculate the expanded uncertainty (U). For each system, the expanded uncertainties (k = 1, confidence level = 95%) and relative expanded uncertainty (expanded uncertainty/generated pressure) levels are summarized in Table 4. Within the uncertainty limits, our bilateral and key comparisons [CCM.P-K4 (10 Pa to 1 kPa)] are extensive and in good agreement with those of other nations (Fig. 8 and Table 5).

한국 KRISS와 이태리 IMGC간의 고진공 국가표준의 국제비교 (Intercomparison of National High Vacuum Standards Between Korea and Italy)

  • 홍승수;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.135-141
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    • 1995
  • Spinning Rotor Gauge(SRG)를 전달표준기(transfer standard gauge)로 사용하여 한국표준과학연구원(KRISS)의 고진공표준과 이태리 표준연구소인 IMGC(Istituto 야 Metrologia Gustavo Colonnetti)고진공표준의 국제비교를 실시하였다. 그 방법은 SRG의 accommodation coefficient(s)를 각 연구실의 고진공표준기로 측정하여 그 결과를 비교하였다. 이 결과 두 기관에서 교정한 SRG 볼의 $\sigma$값의 평균차이는 0.696%로서 양국의 고진공표준은 오차범위내에서 일치하는 것으로 나타났다.

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Results of the key comparison in absolute pressure from 1 Pa to 1000 Pa

  • Hong, Seung-Soo;Shin, Yong-Hyeon;Chung, Kwang-Hwa;A. P. Miiller
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제6권3호
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    • pp.109-115
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    • 2002
  • This paper describes a CCM key comparison of low absolute-pressure standards at seven National Measurement Institutes that was carried out during the period March 1998 to September 1999 in order to determine their degrees of equivalence at pressures in the range 1 Pa to 1000 Pa. The Korea Research Institutes of Standards and Science(KRISS) participated from 10 Pa to 1000 Pa pressure range in 1999. The primary standards, which represent two principal measurement methods, included five liquid-column manometers and four static expansion systems. The transfer standard package consisted of four high-precision pressure transducers, two capacitance diaphragm gauges to provide high resolution at low pressures, and two resonant silicon gauges to provide the required calibration stability.

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Improvments in Cost Reduction for Vacuum Sintering and Vacuum and Overpressure Sintering for Tungsten Carbides

  • Ermel, Dieter
    • 한국분말재료학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.293-298
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    • 1998
  • In all larger hardmetal workshops furnaces for dewaxing, vacuum sintering or vacuum and overpressure sintering are today's standard. The furnace technology is well established. Equipment specifications such as operating overpressure, determine sintering cost, product quality, safety and reliability of the furnace and ultimately influence the competitiveness of the hard metal procucer in the global market. Essential furnace requirements are an efficient utilization of the furnace, an environmental friendly dewaxing system, high temperature uniformity, metallurgical treatment with process gases, as well as reduced cooling time by means of rapid cooling. Examples of reduced sintering costs are described achieved using a new design of vacuum sintering furnace with an improved rapid cooling device, cooling times are reduced by up to 45%. Additionally, a cost comparison of two different designs of vacuum overpressure sintering furnaces are included.

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커튼월 스팬드럴용 진공유리의 열파손에 대한 비교실험 (A Comparative Experiment on Thermal Stress Failure of Vacuum Glazing applied in Curtain Wall at Spandrel area)

  • 김승철;윤종호;신우철;안정혁
    • KIEAE Journal
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    • 제16권3호
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    • pp.121-128
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    • 2016
  • Purpose: The vacuum glazing should constantly retain the gap in vacuum state to maintain high thermal performance. To do so, pillars are used to prevent the glazing from clinging to each other by the atmospheric pressure and therefore surface of the vacuum glazing is consistently affected by residual stress. The vacuum glazing could be applied to curtain wall systems at spandrel area to fulfill a rigorous domestic standard on U-value of the external wall. However, this can lead to high glazing temperature increase by heat concentration at a back panel and finally thermal stress breakage. This study experimentally determined weakness of the vacuum glazing systems on the thermal stress breakage and investigated effect of the residual stress. Method: The experiment first built two scale-down mock-up facilities that replicate the spandrel area in curtain wall, and then installed single low-e glass and vacuum glazing respectively. The two mock-up facilities were exposed to outside to induce the thermal stress breakage. Result: The experiment showed that the temperature occurred the thermal stress breakage was $114.4^{\circ}C$ for the single low-e glass and $118.9^{\circ}C$ for the vacuum glazing respectively. The result also showed the vacuum glazing reached the critical point earlier than the single low-e glass, which means that the vacuum glazing has high potential to occur the thermal shock breakage. In addition, the small temperature difference between two glazing indicates that the residual stress scarcely affects breakage of the vacuum glazing.

전자회절도형을 이용한 무기시료의 격자상수 측정법 연구 (An Investigation of Lattice Parameter Measurement of Inorganic Crystals by Electron Diffraction Patterns)

  • 이영부;김윤중
    • Applied Microscopy
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    • 제29권1호
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    • pp.75-81
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    • 1999
  • 본 실험에서 얻어진 결론을 요약하면 아래와 같다. (1) 저진공도의 sputter coater를 이용하여 Au 내부 표준시편을 제작하는 최적 조건은 9mA의 전류로 100 초간 coating하는 것이다. (2) 고진공도의 evaporation coater를 이용하여 Al 내부 표준시편을 제작하는 최적 조건은 7kV의 전압으로 10분간 coating하는 것이다. (3) Au 내부 표준시편을 이용하여 측정한 홍주석 격자상수 값의 측정오차는 정밀도가 1.2% 이하이고, 정확도는 0.3% 이하이다. (4) Au 내부 표준시편을 이용하여 측정한 알바이트 장석 격자상수 값의 측정오차는 정밀도가 0.5% 이하이고, 정확도는 1.1% 이하이다. (5) 내부 표준시편을 사용하여 격자상수를 측정할 때 가장 심각한 오차는 전자회절도형의 거리 및 각도 측정시 발생한다. 체계적인 측정 방법과 정밀도 높은 측정 도구의 사용이 필요하다. (6) 시료나 TEM 조건 때문에 분말 XRD 방법이나 수렴성빔 전자회절법으로 격자상수를 구할 수 없는 경우에는 내부 표준시편을 이용한 TEM 격자상수 측정법이 좋은 대안이 된다.

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