Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

National Vacuum Standards from Low to Ultra-high Vacuum

저진공에서 초고진공까지의 국가 진공표준

  • Hong S. S. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim I. T. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Shin Y. H. (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Chung K. H. (Korea Research Institute of Standards and Science)
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩)
  • Published : 2006.01.01
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Abstract

Vacuum laboratory in Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) was opened in 1983 for establishing and disseminating vacuum standard in Korea. The major three systems such as the ultrasonic interferometer manometer (UIM), the static expansion system (SES) and the dynamic expansion system (DES) with orifice and porous plug conductance are developed. In this study, the standard systems from low to ultra-high vacuum, uncertainty analysis by ISO regulation, and key and bilateral comparison results will be described.

한국표준과학연구원 진공연구실은 1983년 설립된 이후 초음파간섭 수은주압력계, 정적형 표준기 및 동적교정장치 등을 개발하여 저진공에서 초고진공까지 국가 진공표준의 확립 및 보급을 하고 있다. 본 연구에서는 각각의 진공표준기, 국제표준화기구의 권고에 의한 불확도 분석방법, 그리고 핵심측정표준 국제비교 및 국가간 상호비교 결과를 소개한다.

Keywords

References

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