This paper provides an evaluation of an optimization-based, multiple-input double-output (MIDO) run-to-run (R2R) control scheme for general semiconductor manufacturing processes. The controller in this research, termed adaptive dual response optimizing controller (ADROC), can serve as a process optimizer as well as a recipe regulator between consecutive runs of wafer fabrication. In evaluation, it is assumed that the equipment model could be appropriately described by a pair of second-order polynomial functions in terms of a set of controllable variables. Of practical relevance is to consider a drifting effect in the equipment model since in common semiconductor practice the process tends to drift due to machine aging and tool wearing. We select a typical application of R2R control to chemical mechanical planarization (CMP) in semiconductor manufacturing in this evaluation, and there are five different CMP process scenarios demonstrated, including mean shift, variance increase, and IMA disturbances. For the controller, ADROC, an on-line estimation technique is implemented in a self-tuning (ST) control manner for the adaptation purpose. Subsequently, an ad hoc global optimization algorithm based on the dual response approach, arising from the response surface methodology (RSM) literature, is used to seek the optimum recipe within the acceptability region for the execution of next run. The main components of ADROC are described and its control performance is assessed. It reveals from the evaluation that ADROC can provide excellent control actions for the MIDO R2R situations even though the process exhibits complicated, nonlinear interaction effects between control variables, and the drifting disturbances.
One of main aspects of time series analysis is to forecast future values of series based on values up to a given time. The prediction interval for future values is usually obtained under the normality assumption. When the assumption is seriously violated, a transformation of data may permit the valid use of the normal theory. We investigate the prediction problem for future values in the original scale when transformations are applied in ARMA models. In this paper, we introduce the methodology based on Yeo-Johnson transformation to solve the problem of skewed data whose modelling is relatively difficult in the analysis of time series. Simulation studies show that the coverage probabilities of proposed intervals are closer to the nominal level than those of usual intervals.
Improved methodology of Synthetic Unit Hydrograph (SUH) utilized generally in hydrologic design work was suggested. In this study, regression analysis between peak hydrological data and geospatial data was applied to estimate specific peak flow and peak time for determining shape of SUH. Regression formulas for specific peak flow with respect to shape factors show higher coefficient of determination (0.73~0.81) than the ones with geospatial components only (0.52~0.69). The areal limitation of unit hydrograph application is regarded as 500~700 $km^2$. The validation through rainfall-runoff simulation shows encouraging results that relative error is 1.7~29.0%(Avg. 11.6%) for the case of using SUH developed in this study and 35.0~ 64.9% (Avg. 46.7%) for the SUH in the previous study except for the extraordinary cases.
Kim, Ung-Tae;Yun, Yong-Nam;Park, Mu-Jong;Yu, Cheol-Sang
Journal of Korea Water Resources Association
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v.34
no.2
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pp.131-140
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2001
The present study is focused on improving the methodology for the determination of parameters involved in USLE(Universal Soil Loss Equation) based on distributed system concept and investigation of sediment delivery ratio. Generally the distributed system concept consists of grid networks throughout the watershed and sediment can be traced from grid to rid in the direction of the steepest descent. The sediment yield data together with physical data of 10 small irrigation reservoirs in Kyounggi-Do are collected. After the sediment delivery ratio of a grid is defined to be related tothe fraction of forested or covered with delivery proofing area of the grid, the preportionality coefficient(C$_1$) is introduced. The distributed system model is calibrated using the available data for 8 reservoirs and is verified with the data for the ramaining 2 reservoirs, and regression analysis is made to express the proportionality coefficient $C_1$ in terms of watershed physical characteristics. By applying this results the verification of the distributed system model for 2 reservoirs showed a fair result, which justifies the applicability of the proposed method in the present study.
In this study, a 2-D flood inundation model was developed to evaluate the impact of levee failure in a natural basin for flood analysis. The model was applied to analyze the inundation flow from the levee break of Gamcheon river during the typhoon Rusa on October 31 through September 1, 2002. To verify the simulated results, wide range field surveys have been performed including the collection of NGIS database, land use condition, flooded area, and flow depths. Velocity distributions and inundation depths were presented to demonstrate the robustness of the model. Model results have good agreements with the observed data in terms of flood level and flooded area. The model is able to compute maximum stage and peak discharge efficiently in channel and protected lowland. Methodology considering radar-rainfall estimation using cokriging scheme, flood-runoff and inundation analysis in this study will contribute to the establishment of the national integrated flood disaster prevention system and the river or protect lowland management system.
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.11
no.2
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pp.69-78
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2006
This paper is concerned with analyzing the images of Korean automobiles using, so called, sensory engineering, which adapts the sensory and subjective assessment of human beings in evaluating the quality of product. The methodology of analysis is suggested in this paper according to the following steps. First, 14 pairs of adjectives, which describe the image of object cars in view of the semantic differential method, are derived from consulting with several expert panels. Nextly, factor analysis is performed in order to obtain the axises, by which the images space of the object automobiles are specified, and then the images of the object automobiles are measured by the coordinate of all the object automobiles in the image space. In this paper, a sensory estimation experiment is performed to a panel consisting with In undergraduate students residing in the region of Daegu. From the result of analysis of this paper, target images, which the automobile manufacturers are intended, are achieved by and large except one company.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.11
no.11
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pp.4087-4094
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2010
The sensor data which is measured by Quadruped robot is utilized to recognize the physical environment or other information and to control the posture and walking of robot system. In order to control the robot precisely, high accuracy of sensor data is required, most of these sensors however, belongs to expensive and low-durable products. Moreover, these are exposed excessive load operation in a field condition if it is applied to field robot system. This issue becomes more serious one when the robot system is manufactured as a mass product. As in this context, this study suggests a virtual sensor technology to alternate or assist the main sensor system. This scheme is realized by using back-propagation algorithm of neural network theory, and the quality of estimated sensor data could be improved through the algorithmic and hardware based treatments. This study performs the various trial to identify the effective parameters which effect to the quality and reliability of estimated sensor data and tries to show the possibility of proposed methodology.
Park, Byoung-Sun;Kim, Eun-Ha;Lee, Sun-A;Lee, Byung-Wook
Journal of Korean Medical classics
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v.21
no.1
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pp.79-92
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2008
Objective The analysis method based on the herbal formula's effects is a general tool, in traditional medicine. In effective applications of herbal formula, Korean herbal medicines traditionally used the classification methods based on the curative effects through the various compositions of herbal formulas. However' the effects of herbal formulas were not filed systemically in ancient literatures, and the standards to confirm their effects are not clear. Thus, it is not easy to classify herbal formulas according to the curative effects. Furthermore, there are no standards to estimate the effects of prescriptions frequently directed in clinic. In this study, we aimed to provide the methodology of classifying the curative effects of herbal formulas by calculating the combination of the effect of each compositional herb through the DB systems. Results : By comparing effects of herbal formula with those of compositional herbs, we found that about 25-50% of the herbal effects were included in herbal formula's effects. These results showed that the prospective estimation of herbal formula's effects may be possible through the DB systems filing herbal effects. To enhance the accuracy in explaining the herbal formula's effect, more studies are needed by giving prominence to major effects and by subtracting minor effects.
Seo, Young-Ho;Park, Sung-Ho;Choi, Hyun-Joon;Kim, Dong-Wook
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.12
no.3
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pp.555-562
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2008
In this paper we proposed a practical low-power design technique using clock-gating in RTL. An efficient low-power methodology is that a high-level designer analyzes a generic system and designs a controller for clock-gating. Also the desirable flow is to derive clock-gating in normal synthesis process by synthesis tool than to insert directly gate to clock line. If low-power is considered in coding process, clock is gated in coding process. If not considered, after analyzing entire operation. clock is Bated in periods of holding data. After analyzing operation for clock-gating, a controller was designed for it, and then a low-power circuit was generated by synthesis tool. From result, we identified that the consumed power of register decreased from 922mW to 543mW, that is the decrease rate is 42%. In case of synthesizing the test circuit using synthesizer of Power Theater, it decreased from 322mW to 208mW (36.5% decrease).
This study attempted to simulate the flood discharge in the Duman River basin containing Hoeryong City and Musan County of North Korea where were damaged from Typhoon Lionrock on August, 2016. For hydrological modelling remotely sensed datasets were used to estimate watershed properties and hydrologic factors because the basin is ungauged where hydrological observation is not exist or sparse. For validation we applied our methodology and datasets to the Soyanggang Dam basin. It has not only similar shape factor and compactness ratio to those of the target basin but also accurate, adequate, and abundant measurements. The results showed that the flood discharge from Typhoon Lionrock corresponded to three to five years design floods in the Duman River basin. This indicate that the Duman River basin has a high risk of flood in the near future. Finally this study demonstrated that remotely sensed data and geographic information could be utilized to simulate flood discharge in an ungauged watershed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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