• 제목/요약/키워드: Cu/Low-k

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$KNO_3$ 전해액을 이용한 Cu 전극의 전기 화학적 반응 특성 고찰 (A study on the Electrochemical Reaction Characteristic of Cu electrode According to the $KNO_3$ electrolyte)

  • 한상준;박성우;이성일;이영균;전영길;최권우;서용진;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.49-49
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    • 2007
  • 최근 반도체 소자의 고집적화와 나노 (nano) 크기의 회로 선폭으로 인해 기존에 사용되었던 텅스텐이나 알루미늄 금속배선보다, 낮은 전기저항과 높은 electro-migration resistance가 필요한 Cu 금속배선이 주목받게 되었다. 하지만, Cu CMP 공정 시 높은 압력으로 인하여 low-k 유전체막의 손상과 디싱과 에로젼 현상으로 인한 문제점이 발생하게 되었다. 본 논문에서는, $KNO_3$ 전해액의 농도가 Cu 표면에 미치는 영향을 알아보기 위해 Tafel Curve와 CV (cyclic voltammograms)법을 사용하여 전기화학적 특징을 알아보았고 scanning electron microscopy (SEM), energy dispersive spectroscopy (EDS), X-ray Diffraction (XRD) 분석을 통해 금속표면을 비교 분석하였다.

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CuCl 농도에 따른 SrS:CuCl 박막 전계발광소자의 발광특성 (Luminescent Characteristics of SrS:CuCl Thin-Film Electroluminescent(TFEL) Devices on CuCl Concentrations)

  • 이순석;임성규
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권8호
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    • pp.17-23
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    • 2002
  • 전자빔 증착 장비를 이용하여 SrS:CuCl TFEL 소자를 제작한 후, 발광특성을 조사하였다. 형광체 모체는 SrS 분말을 사용하였고, 발광중심체로는 CuCl 분말을 0.05 ~ 0.6 at% 범위에서 첨가하였다. 증착 온도 500℃, 전자빔 전류 20 ~ 40 mA 및 증착율 5 ~ 10 /sec의 조건에서 형광층 두께를 6000 으로 증착시켰다. CuCl 농도가 낮을 때에는 monomer, dimer, trimer 및 tetramer 발광센터에 의한 청색 발광을 확인할 수 있었으나 휘도가 낮았다. CuCl 농도가 높을 때에는 dimer와 trimer 발광센터에 의한 밝은 녹청색 빛을 방출하였다. 최적의 발광특성은 CuCl 농도를 0.2 at% 첨가한 SrS:CuCl TFEL 소자에서 관찰되었으며, 문턱전압, 휘도(L/sub 40/), 효율(η/sub 20/) 및 CIE 색좌표는 각각 55 V, 728 cd/㎡, 0.49 lm/W 및 (0.21, 0.33)을 나타내었다.

커피 슬러지 바이오차의 Cu와 Cd 흡착제거 특성 연구 (Cu and Cd Sorption of the Biochar Derived from Coffee Sludge)

  • 김병문;강창환;양재규;나정균;정종암;정형진;임진환;고경민;김완희;장윤영
    • 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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    • 제17권2호
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    • pp.47-53
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    • 2012
  • In this study, the adsorption of $Cu^{2+}$ and $Cd^{2+}$ from aqueous solution on the biochar derived from used coffee grounds at different pyrolysis temperatures has been investigated as a potential low-cost treatment method for heavy metal-containing waters. Three biochar samples prepared by heating coffee sludge at temperature of $300^{\circ}C$ (B300), $500^{\circ}C$ (B500), and $700^{\circ}C$ (B700) were tested for the adsorption capacity and kinetics of Cd and Cu. Also the influencing factor of heavy metal removal by ion exchange in terms of cation exchange capacity (CEC) of each biochar was measured. Adsorption of Ca and Cu by biochar produced at higher pyrolysis temperature showed higher adsorption capacity but the optimal pyrolysis temperature based on performance and economy was known as $500^{\circ}C$. Sorption of Cu and Cd by biochar followed a Langmuir model at pH 6~6.5, attributing mainly to surface sorption. The biochar was more effective in Cu and Cd sorption than activated carbon (AC), with BC 500 being the most effective, which indicates that sorption of Cd and Cu by coffee sludge biochar is partly influenced by chemical sorption on surface functional group as well as physical sorption.

Al-Cu-Mn 주조합금의 피로성질에 미치는 Cd 첨가의 영향 (Effect of Cd addition on the Fatigue Properties of Al-Cu-Mn cast alloy)

  • 김경현;이병훈;김인배
    • 한국재료학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.300-304
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    • 2001
  • Al-Cu-Mn 주조합금의 피로성질에 미치는 Cd 첨가의 영향을 저주기 및 고주기 피로시험을 통하여 조사하였다. Cd 첨가량이 증가함에 따라 피로수명이 증가하였으며, 인장강도도 증가하였다. 고주기 피로시험결과 피로강도는 115MPa이었으며 피로비는 0.31이었다. 피로시험 결과 균열이 표면에서 발생하여 입계를 따라 전파되었는데 이러한 입계파괴는 입계를 따라 존재하는 무석출대의 영향으로 생각된다. 인장강도값은 Cd이 첨가되지 않았을 경우 330MPa이었으나 0.15%의 Cd이 첨가됨으로써 401MPa 까지 증가되었다.

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Al-Cu-Mu 주조합금의 피로성질에 미치는 Sn 첨가의 영향 (Effect of Sn Addition on the Fatigue Properties of Al-Cu-Mn Cast Alloy)

  • 김경현;김정대;김인배
    • 한국재료학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.248-253
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    • 2002
  • Effect of Sn addition on the fatigue properties of Al-Cu-Mn cast alloy was investigated by low and high cycle fatigue tests. Fatigue life showed the maximum value of 5450cycles in the Al-Cu-Mn alloy containing 0.10%Sn, but decreased rapidly beyond 0.20% of Sn additions. It was found that the fatigue strength was 132MPa and fatigue ratio was 0.31 in the alloy containing 0.10%Sn. Metallographic observation revealed that the fatigue crack initiated at the surface and propagated along the grain boundary. This propagation path was attributed to the presence of PFZ along the grain boundary. The tensile strength increased from 330MPa in 7he Sn-free Al-Cu-Mn cast alloy to 429MPa in the alloy containing 0.10%Sn. But above 0.20%Sn additions, tensile strength was decreased by the segregation of Sn.

Al-Zn-Mg-Cu-(Sc) 합금의 석출특성 (Precipitation Behavior of Al-Zn-Mg-Cu-(Sc) Alloy)

  • 최갑송;문호정;우기도
    • 열처리공학회지
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    • 제19권5호
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    • pp.257-261
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    • 2006
  • Scandium(Sc) in Al-Zn-Mg-Cu based Al alloy on precipitation phenomenon was compared to a 7001(Al-7.2%Zn-3.2%Mg-1.8%Cu) Al alloy. GP zone and ${\eta}^{\prime}$ phases were the main strengthening phases at low aging temperature under $100^{\circ}C$, but ${\eta}^{\prime}$ and $Al_3Sc$ phases were the main strengthening phases at high aging temperature above $1600^{\circ}C$ in Sc added 7000(Al-7.7%Zn-2.0%Mg-1.9%Cu-0.1%Zr) Al alloy. With the addition of 0.1%Sc in 7000 Al alloy, the activation energy for the GP zone, ${\eta}^{\prime}$ and ${\eta}$ phase decreased compared to the 7001 Al alloy. This result indicates that the Sc accelerated the precipitation for the GP zone, ${\eta}^{\prime}$ and ${\eta}$ phases in 7000 Al alloy. Al-7.7%Zn-2.0%Mg-1.9%Cu-0.1%Zr-0.1 Sc alloy has higher strength than 7001 Al alloy, which has high strength.

Sn-3.0Ag-0.5Cu, Sn-0.7Cu 및 Sn-0.3Ag-0.5Cu 합금의 제조 및 특성평가 (Fabrication and characterization of Sn-3.0Ag-0.5Cu, Sn-0.7Cu and Sn-0.3Ag-0.5Cu alloys)

  • 이정일;팽종민;조현수;양수민;류정호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.130-134
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    • 2018
  • 솔더(solder) 재료는 수 천년 이상 인류 문명과 함께해온 대표적인 금속 합금으로서 현재까지도 전자 패키징(electronic packaging) 및 표면 실장(SMT, surface mount technology) 분야의 핵심 소재로 사용되고 있다 그러나 최근 Ag 가격의 급격한 상승과 전자산업의 저가격화 전략으로 인해 솔더 재료에서의 Ag 함량의 감소가 지속적으로 요구되고 있다. 본 연구에서는 Sn-3.0Ag-0.5Cu, Sn-0.7Cu 및 Sn-0.3Ag-0.5Cu(weight%) 조성의 무연납 솔더바 샘플을 주조법으로 합금화 하였다. 제조한 Sn-3.0Ag-0.5Cu, Sn-0.7Cu 및 Sn-0.3Ag-0.5Cu 샘플에 대한 결정구조, 화학조성 및 미세구조를 XRD, XRF, 광학현미경, FE-SEM 및 EDS 분석을 이용하여 조사하였다. 분석결과, 제조된 샘플은 ${\beta}-Sn$, ${\varepsilon}-Ag_3Sn$${\eta}-Cu_6Sn_5$ 결정으로 구성되어 있었을 확인할 수 있었다.

반도체 배선용 저 유전 물질에서의 구리 확산에 대한 전기적 신뢰성 평가 (Characterization of Electrical Properties on Cu Diffusion in Low-k Dielectric Materials for ULSI Interconnect)

  • 이희찬;주영창;노현욱;윤도영;이진규;차국헌
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.9-15
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    • 2004
  • PMSSQ (Poly Methyl Silsesquioxane)-based matrix에 BTMSE (Bis Tri Methoxy Silyl Ethane) 를 첨가한 low-k물질의 전기적 특성을 조사하였다. 우리는 절연체로 copolymer를 사용하여 금속-절연체 -실리콘 구조를 만들고 BTS 실험을 통하여 누설 전류와 파괴 시간을 측정하였다. 코 폴리머의 기공이 $30\%$ 이상이 되었을 때, 파괴 시간이 급속하게 감소되어 진다. 온도에 관하여 파괴 시간으로부터 코 폴리머를 통한 구리 확산의 활성화 에너지는 1.51eV가 측정되었다.

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중형 기공성 실리카 담체에 담지된 Pd-Cu 촉매를 활용한 수중 질산성 질소 저감 반응 (Catalytic Nitrate Reduction in Water over Mesoporous Silica Supported Pd-Cu Catalysts)

  • 김민성;정상호;이명석;이대원;이관영
    • 청정기술
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    • 제19권1호
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    • pp.65-72
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    • 2013
  • 본 연구에서는 중형 기공성 실리카 담체인 MCM-41과 SBA-15를 활용하여 팔라듐과 구리를 담지한 후, 제조 촉매의 수중 질산성 질소 저감 반응 활성을 평가하였다. 순수 수소 공급 반응 조건에서, 질산성 질소의 농도는 반응 시간에 따라 점차 저감되었지만, 반응기 내부에 높게 형성된 pH로 인해 질소의 선택도가 매우 낮은 문제점이 발견되었다. 이를 해결하기 위해 이산화탄소를 수소와 함께 공급하여 pH의 안정화를 도모하였고, 질소 선택도를 40% 가량 증가시켰다. 상기 두 반응 조건에서 모두 Pd-Cu/MCM-41가 Pd-Cu/SBA-15보다 높은 활성을 나타냈다. 이와 같이 수중 질산성 질소 저감 반응의 활성에 차이를 보이는 두 촉매에 대하여, 질소 흡-탈착, XRD, $H_2$-TPR, XPS 등과 같은 특성 분석을 수행하여 제조 촉매의 구조와 물성이 반응활성에 미치는 영향을 검토해보았다.

유천분지내 화강암류와 광상구의 관계에 대한 지화학적 연구 (A Geochemical Study on Relationship between Granites and Metallogenic Provinces in the Yucheon Basin)

  • 이재영;김상욱;김영기;고인석;장태우
    • 자원환경지질
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    • 제23권2호
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    • pp.143-159
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    • 1990
  • There is clear difference in content of the major and trace elements between Masan granites of Cu province and Yucheon-Eonyang granites of Pb-Zn province in the Yucheon Basin: the former has low content in K(2.08%), Na(2.42%) and Rb (127ppm), and high content in Ca(3.75%), Mg(1.42%) and Sr(304ppm) whereas the latter has high content in K(3.56-3.60%), Na(3.05-3.06%) and Rb(144-161ppm), and low content in Ca(0.62-0.96), Mg(0.21-0.26%) and Sr(136-157ppm). Ore metals in granites also show slight difference between two areas: Masan granites have slightly higher Cu content(18ppm) than Yucheon-Eonyang granites(13, 14ppm), whereas Yucheon granite(29ppm) has slightly higher Pb content than Masan granites(25ppm). Thus, it may be possible to apply geochemical difference of the granites to distinguish whether a Cretaceous granite mass is related to copper or lead-zinc mineralization, and whether it belongs Cu-province or Pb-Zn province in the Yucheon Basin.

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