Yang, Mi-Hyun;Manoj, Sharma;Ihm, Kyuwook;Ahn, Joung Real
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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pp.115-115
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2015
Many efforts have been devoted on chemical modification of graphene layer to modulate its electrical properties. In the previous report, laser irradiation on the CYTOP (Amorphous Fluoropolymer) covered graphene layer induces chemical modification wherein carbon fluoride is formed on the graphene surface. This results in the insulating I-V characteristics, which have been attracting much research interests on it. However, the direct analytical evidence of the fluoride formation on graphene surface is not yet studied. In this work we investigated what happened on the CYTOP/graphene interface during photon irradiation using spatially resolved photoemission spectroscopy method. It is found that the soft x-ray (614 eV) induces desorption of fluoride atoms from the CYTOP and change di-fluoride form to mono-fluoride. As the photo-induced fluorine desorption is continue strong dipole field generated by initial di-fluoride forms is gradually decreased, resulting in the overall binding energy shift of the C 1s core levels. Both photo-modified CYTOP and CYTOP starts to desorb above $286^{\circ}C$ (~ 0.047 eV), which means that no strong chemical interaction between CYTOP and graphene is established.
불소계 고분자 물질인 $Cytop^{TM}$ 박막을 간단하고 경제적인 스핀코팅 방법을 이용하여 반도체 표면에 선택적으로 형성시킨 후, AlGaN/GaN HEMT 소자의 반도체 보호막(passivation layer)으로써 활용가능성을 고찰하기 위하여 전기적 특성이 분석되었다. $Cytop^{TM}$ 보호막이 적용된 AlGaN/GaN HEMT 소자와 적용되지 않은 소자의 게이트 래그 특성이 비교되었다. 보호막이 적용된 소자는 dc 대비 65%의 향상된 펄스 드레인 전류를 보였다. HEMT 소자의 rf 특성이 측정되었으며, $Cytop^{TM}$ 박막이 적용된 소자는 PECVE $Si_3N_4$ 보호막이 적용된 소자와 유사한 소자 특성을 나타냈다. 이는 게이트와 드레인 사이에 존재하는 표면상태 트랩의 보호막에 의한 감소에 의한 것으로 판단된다.
Many efforts have been devoted on chemical modification of graphene layer to modulate its electrical properties. In the previous report, laser irradiation on the CYTOP(perfluoropolymer) doped graphene layer induces chemical modification of it, resulting in the insulating I-V characteristics. While the results strongly denoted C-F bond formation after irradiation, the detailed process of photo-induced chemical change is not known yet. To probe this, we utilized synchrotron based SPEM (scanning photoelectron emission spectroscopy) in NSRRC, Taiwan. We irradiate the sample by photon of 614 eV in a stepwise manner as a function of time. As photon irradiation increased, difluoride moieties in the CYTOP was broken, and then formed mono-fluoride with carbon atoms consisting graphene layer.
The patterning and doping technique enables graphene to replace the metal electrode as a charge injection layer in the pentacene based thin film transistor. However, it is known that pentacene molecules form lying-down coordination on the graphene surface. Pentacene thin film showed that the highly occupied molecular orbital is 0.2~0.4 eV lower in the standing up coordination than in the lying down coordination. Here, we report the formation of standing-up coordination and lowered HOMO level of the pentacene layer grown on the graphene layer doped with CYTOP.
유기 박막 트랜지스터(Organic Thin Film Transistor, OTFT)기반의 바이오센서는 저비용 제작 및 플렉서블 소자 제작이 가능하여 많은 주목을 받아오고 있다. 본 연구에서는, hexamethyldisilazane (HMDS) 표면 처리된 $Si/SiO_2$ 기판 위에 진공 증착 공정을 이용하여 pentacene 기반의 OTFT를 제작한 후, 수용성 매체에 대한 안정성을 향상시키기 위하여 저분자 물질인 tetratetracontane (TTC)를 진공 증착 공정을 이용하여 증착하였으며, cyclized perfluoropolymer (CYTOP)을 용액 공정으로 코팅하여 bilayer의 passivation 층을 형성하였다. 실제 제작된 OTFT의 수용성 매체에 대한 안정성을 테스트하기 위하여 소자에 수용성 phosphate buffered saline (PBS)용액을 투하하여 10분에 걸쳐 1분 간격으로 transistor의 transfer 특성을 측정하였다. 또한 측정된 $I_d-V_g$ 곡선 데이터를 이용하여 시간에 따른 드레인 전류, 이동도, 문턱 전압, 점멸비 등의 수치를 산출하였다. 그리고, 그 $I_d-V_g$ 곡선 데이터와 산출된 데이터들을 증류수가 투하된 OTFT 소자의 $I_d-V_g$ 곡선 데이터와 산출된 데이터들과 비교하였다. 결론적으로, TTC/Cytop bilayer passivation 층이 형성된 OTFT 소자는 인체 내 혈액의 pH와 유사한 PBS 용액 하에서도 안정적인 구동 성능을 보여 바이오센서로 응용될 수 있는 가능성이 있다는 결론을 얻었다.
Thin film transistors (TFTs) with large-area, high mobility, and high reliability are important factors for next-generation displays. In particular, thin transistors based on IGZO oxide semiconductors are being actively researched for this application. In this study, several methods for improving the reliability of a-IGZO TFTs by applying various materials on a passivation layer are investigated. In the literature, inorganic SiO2, TiO2, Al2O3, ZTSO, and organic CYTOP have been used for passivation. In the case of Al2O3, excellent stability is exhibited compared to the non-passivation TFT under the conditions of negative bias illumination stress (NBIS) for 3 wavelengths (R, G, B). When CYTOP passivation, SiO2 passivation, and non-passivation devices were compared under the same positive bias temperature stress (PBTS), the Vth shifts were 2.8 V, 3.3 V, and 4.5 V, respectively. The Vth shifts of TiO2 passivation and non-passivation devices under the same NBTS were -2.2 V and -3.8 V, respectively. It is expected that the presented results will form the basis for further research to improve the reliability of a-IGZO TFT.
주위 매질의 움직임에 반응하는 섬유상 감각모는 대부분의 생물체에 존재하여 먹이, 침입자, 또는 동족 여부를 감지하는 역할을 한다. 이 기능을 모방한 인공 감각모를 설계 제작하기 위하여 유연 감각모를 기초로 한 수학모델을 제안하고, 작동영역에서의 응답특성을 파악하기 위하여 매개변수 해석을 수행하고 각 인자들의 영향을 고찰하였다. 유동 감각모의 변위를 일반화 좌표 및 고유 진동모드로 나타낸 결과, 탄성계수가 비교적 큰 Cytop 감각모의 경우 고유진동의 기본모드가 지배적인 것으로 나타났다. 주어진 유동 중에 있는 감각모의 동적거동은 형상에 크게 의존하였다. 또한 탄성계수가 큰 인공 감각모에서는 생물학적으로 중요한 주파수 범위 내에서 공진현상은 나타나지 않았다.
발암물질인 NDMA 17m/kg을 경구 투여했을 때 흰쥐설 von Ebner선과 설 점액선의 glycoconjugates에 미치는 영향을 prelectin 조직화학법인 PAS반응, AB pH 2.5 염색법, AB pH 0.4 염색법, AB pH 2.5 -PAS 염색법, AF pH 1.7-AB pH 2.5 염색법 및 HID-AB pH 2.5 염색법으로 연구하였다. NDMA 투여군의 설 von Ebner선의 형태적인 주된 변화는 장액선포의 위축 및 파괴, 장액세포의 세포질 과립의 감소 및 소실, 세포질의 공포변성 그리고 도관상피세포의 점액화였으며 NDMA 투여후 12시간군부터 72시간군까지 현저하였다. NDMA 투여군의 설점액선의 주된 형태적 변화는 점액선포의 확장, 융합, 파괴 및 점액세포의 세포질의 과립 소실 및 공포변성, 도관상피의 점액화 등이었으며 NDMA 투여후 12시간군부터 72시간군까지 현저하였다. 설 von Ebner선의 neutral glycoconjugates가 대조군에 비해 NDMA 투여후 12시간군과 72시간군에서 현저히 감소되었으며 NDMA 투여후 96시간군후에 회복되는 경향을 나타내었다. 대조군에서 나타나지 않던 acidic glycoconju-gates가 NDMA 투여후 6시간군부터 48시간군, 그리고 120시간군에서 약간의 장액세포들에서 나타났다. 설 점액선의 neutral glycoconjugates와 acidic glycocon-jugates가 대조군에 비해 NDMA 투여후 3시간군, 24시간군, 48시간군에서 다같이 현저히 감소되었으며, 후자는 NDMA 투여후 72시간군에 아주 현저히 감소하였다. Aci-dic glycoconjugates중 sulfated glycoconjugates는 대조군에 비해 NDMA 투여후 감소하는 경향을 나타내며 NDMA 투여후 72시간군에 가장 현저한 감소를 나타내는데 비해 sialic glycoconjugates는 NDMA 투여후 3시간군, 12시간 군 및 48시간군에서 증가하는 경향을 나타내었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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