• 제목/요약/키워드: Al target

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Bayesian Estimation of State-Space Model Using the Hybrid Monte Carlo within Gibbs Sampler

  • Park, Ilsu
    • Communications for Statistical Applications and Methods
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    • 제10권1호
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    • pp.203-210
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    • 2003
  • In a standard Metropolis-type Monte Carlo simulation, the proposal distribution cannot be easily adapted to "local dynamics" of the target distribution. To overcome some of these difficulties, Duane et al. (1987) introduced the method of hybrid Monte Carlo(HMC) which combines the basic idea of molecular dynamics and the Metropolis acceptance-rejection rule to produce Monte Carlo samples from a given target distribution. In this paper, using the HMC within Gibbs sampler, an asymptotical estimate of the smoothing mean and a general solution to state space modeling in Bayesian framework is obtaineds obtained.

RF sputter로 증착된 ZnO:Al 박막의 Rapid Thermal Annealing 처리에 따른 구조개선 및 전기적 특성 (Structural evolution and electrical property of RF sputter-deposited ZnO:Al film by rapid thermal annealing process)

  • 박경석;이규석;이성욱;박민우;곽동주;임동건
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.466-467
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    • 2005
  • Al doped zinc oxide films (ZnO:Al) were deposited on glass substrate by RF magnetron sputtering from a ZnO target mixed with 2 wt% $Al_2O_3$. The as-deposited ZnO:Al films were rapid-thermal annealed. Electrical properties and structural evolution of the films, as annealed by rapid thermal process (RTP), were studied and compared with the films annealed by conventional annealing process. RTP, the (002) peak intensity increases and the electrical resistivity decreases by 20%, after RT annealing. The effects of RT annealing on the structural evolution and electrical properties of RF sputtered films were further discussed and compared also with the films deposited by DC magnetron sputtering.

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잡음 부공간에서 추출된 방위 변위를 이용한 다중 표적 방위 추적 (Multiple Target Angle-tracking Using Angular Innovations Extracted from Noise Subspace)

  • Hwang Soo Bok;Kim Jin Seok;Kim Hyun Sik;Nam Ki Gon
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • 제24권1E호
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    • pp.34-37
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    • 2005
  • Ryu et al. proposed a multiple target angle-tracking algorithm without a data association problem using angular innovations. This algorithm, however, needs the computational loads in proportion to the square number of sensors regardless of the number of targets, because it uses a nonlinear equation between the signal subspace and angular innovation. In this Paper, we proposed an efficient algorithm for the multiple target angle-tracking using angular innovations. The proposed algorithm extracts the angular innovations from noise subspace. Also, it is demonstrated by computer simulations dealing with the tracking of crossing targets. The simulation results show that the computational loads of the proposed algorithm are $80\%$ and $60\%$ of those of Ryu's algorithm for 3 targets and 6 targets without degrading the performance of the target tracking.

DEVELOPMENT OF HIGH-DENSITY U/AL DISPERSION PLATES FOR MO-99 PRODUCTION USING ATOMIZED URANIUM POWDER

  • Ryu, Ho Jin;Kim, Chang Kyu;Sim, Moonsoo;Park, Jong Man;Lee, Jong Hyun
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제45권7호
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    • pp.979-986
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    • 2013
  • Uranium metal particle dispersion plates have been proposed as targets for Molybdenum-99 (Mo-99) production to improve the radioisotope production efficiency of conventional low enriched uranium targets. In this study, uranium powder was produced by centrifugal atomization, and miniature target plates containing uranium particles in an aluminum matrix with uranium densities up to 9 $g-U/cm^3$ were fabricated. Additional heat treatment was applied to convert the uranium particles into UAlx compounds by a chemical reaction of the uranium particles and aluminum matrix. Thus, these target plates can be treated with the same alkaline dissolution process that is used for conventional $UAl_x$ dispersion targets, while increasing the uranium density in the target plates.

견실한$H_\infty$FIR 필터를 이용한 불확실성 기동표적의 추적 (Maneuvering Target Tracking in Uncertain Parameter Systems Using RoubustH_\inftyFIR Filters)

  • 유경상;김대우;권오규
    • 대한전기학회논문지:전력기술부문A
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    • 제48권3호
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    • pp.270-277
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    • 1999
  • This paper deals with the maneuver detection and target tracking problem in uncertain parameter systems using a robust{{{{ { H}_{ } }}}} FIR filter to improve the unacceptable tracking performance due to the parametr uncertainty. The tracking filter used in the current paper is based on the robust{{{{ { H}_{ } }}}} FIR filter proposed by Kwon et al. [1,2] to estimate the state signal in uncertain systems with parameter uncertainty, and the basic scheme of the proposed method is the input estimation approach. Tracking performance of the maneuver detection and target tracking method proposed is compared with other techniques, Bogler allgorithm [4] and FIR tracking filter [2], via some simulations to examplify the good tracking performance of the proposed method over other techniques.

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고효율 마그네트론 스퍼트링 캐소드의 설계 및 박막 제작 특성 (Thin films made by magnetron sputtering cathode with wide target erosion)

  • 박장식;이원건;정민기;박이순;안창규
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.365-366
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    • 2007
  • High quality cathode with high deposition rate of thin films and long target life time is required for manufacturing TFT-LCD and semiconductor. We developed WV(wide view) sputtering cathode with wide erosion area and high deposition rate. Ti thin film thickness variation in WV cathode is below 5% for 380 kWh target life time. Al thin film thickness using normal cathode is decreased about 20%. By using WV cathode, target using efficiency was improved 40%. in comparison with normal cathode.

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Effects of Mg content ratio on the structure and corrosion properties of Al-Mg films

  • 정재훈;양지훈;송민아;김성환;정재인
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.165.1-165.1
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    • 2016
  • Zn의 수요는 매년 증가하지만 매장량의 한계로 대체용 물질계가 개발이 필요한 시점이다. Zn보다 상대적으로 풍부하고 동일 두께의 Zn 코팅층과 비교하여 우수한 내식성을 보이는 Al과 Mg의 코팅층을 제작하여 Al-Mg 코팅 강판의 특성 분석 및 평가를 실시하였다. Al-Mg 코팅층은 99.99%의 Al, 99.9%의 Mg target을 사용하여 스퍼터링을 이용하여 냉연강판 위에 코팅하였다. 증발물질과 기판과의 거리는 7cm 이며, 기판은 세척을 실시한 후 클리닝 챔버에 장착하고 ~10-5 Torr 까지 진공배기를 실시하였다. 클리닝 챔버가 기본 압력까지 배기되면 아르곤 가스를 주입하고 기판 홀더에 -800 V의 직류 전압을 인가하여 약 30분간 글로우 방전 청정을 실시하였다. 기판의 청정이 끝나면 아르곤 가스를 차단하고 코팅 챔버로 시편을 이송 후 코팅층 성분의 구성형태에 따라 Al과 Mg을 코팅하였다. Al-Mg 코팅층은 $3{\mu}m$의 두께를 기준으로 Mg wt.%의 비율을 5% ~ 90%까지 변화시키며 코팅하였다. 그리고 후속 공정으로 질소 분위기 $400^{\circ}C$에서 10분간 열처리를 하였다. Al-Mg 코팅층을 주사전자현미경으로 관찰한 결과, 표면에서는 Al-Mg 코팅층에 존재하는 Mg 함량이 높아질수록 grain의 크기가 증가하였고 단면에서는 열처리 전의 치밀한 구조에서 열처리 후에는 주상구조 혹은 grain 구조가 선명해지는 것을 볼 수 있었으며 글로우방전분광기로 Al과 Mg의 성분 비율변화를 확인할 수 있었다. 또한 Al-Mg가 코팅된 강판을 염수분무시험을 통해서 내부식 특성을 확인하였다. Al-Mg 코팅 강판의 염수분무시험 결과, Mg 함량이 낮은 Al-Mg 코팅층은 열처리 후 뚜렷한 내식성 향상을 보였으며 Mg 조성 변화에 따라 일정한 경향성을 보였다. 하지만 Mg 함량이 높은 Al-Mg 코팅층은 열처리 후 급격한 내식성 저하와 함께 시편간의 편자가 커지는 것을 확인 할 수 있었다. 최적의 내식성을 보이는 Mg의 조성을 확인하기 위해서는 향후 보다 변별력이 높은 평가가 결과가 필요하다고 판단되어진다.

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Spark plasma sintering 소결법에 의해 제작 된 Ti-Al-Si 합금타겟의 물성과 합금타겟을 이용하여 제작한 박막에 관한 연구

  • 이한찬;정덕형;문경일;이붕주;신백균
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.237.1-237.1
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    • 2013
  • Ti 와 Al 은 금속간의 화합물이 내산화성에 우수한 성질을 가지고 있으며 낮은 밀도와 고온에도 큰 변화가 없는 성질을 가지고 있다. 그리하여 내식 및 부식 관련 연구나 고온재료를 필요로 하는 우주, 엔진 제품 등에 많은 연구가 진행되고 있다. 또한 Ti-Al-N 박막은 경도가 우수하여 고속 공구 부품에 널리 사용되고 있으며 최근 Ti-Al-N 에 Si 첨가로 인하여 40 GPa 이상의 고경도와 1,000도 이상의 산화온도를 지닌 나노 혼합물 코팅을 형성 시키는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 Ti, Al, Si 원분말을 PBM (Planetary Ball Milling) 방법을 사용하여 Ti-Al-Si 혼합분말로 제조하고, 제조된 분말들은 SPS (Spark Plasma Sintering) 공정을 통하여 Ti-Al-Si 합금타겟을 제작하였다. 제작된 Ti-Al-Si 합급타겟을 사용한 Sputtering 공정을 수행하여 Ti-Al-Si 3원계 박막을 증착하였다. 그 결과 기존 Ti (82 ${\mu}m$), Al (32 ${\mu}m$), Si (16 ${\mu}m$) 크기의 원분말들이 PBM (Planetary Ball Milling) 공정 후 Ti-Al-Si (18 ${\mu}m$) 로 입도가 작아진 것을 확인 할 수 있었고, 소결 후 타겟이 99% 이상의 높은 밀도를 가졌으며 원분말의 조성과 동일한 조성을 가진 타겟이 제작되었음을 확인하였다. Ti-Al-Si 타겟의 경도는 약 1,000 Hv 이상의 값을 보였으며, Ti-Al-Si-N 박막의 경우 타겟의 조성과 동일하였고 경도는 약 35 GPa 로 높은 경도 값을 가지는 것을 확인하였다. 내산화 테스트 결과 Ti-Al-Si-N 박막은 1,000도 에서도 박막의 손상이 가지 않았다.

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CrN/AlSiN multilayer coatings의 고온안정성 및 특성에 관한 연구

  • 김영수;김광석;김성민;허용강;이상율
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.47-47
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    • 2008
  • Cr and AlSi (Si=20 and 66 at.%) target들을 이용하여 Closed-field unbalanced magnetron sputtering (CFUBMS)으로 증착된 주기($\Lambda$)가 2.3 nm에서 8.0nm인 CrN/AlSiN multilayer coatings의 crystal structure, 화학적 조성, 및 기계적 특성을 glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES), X-ray diffractometry (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and nano-indenter 등의 분석장비를 이용하여 분석하였다. 고온안정성을 시험하기 위하여 $800^{\circ}C$$1000^{\circ}C$ 공기중 에서 30분 열처리하였다. CrN/AlSiN multilayer coatings의 고온안정성은 Si조성이 증가함에 따라 향상되었다. Si이 18.2 at.%함유된 coating이 가장 우수한 고온안정성을 갖고 있다.

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