Analysis on Bowing and Formation of Al Doped P+ Layer by Changes of Thickness of N-type Wafer and Amount of Al Paste (N타입 결정질 실리콘 웨이퍼 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량 변화에 따른 Bowing 및 Al doped p+ layer 형성 분석)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.25 no.1
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- pp.16-20
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- 2015