Finite Element Analysis on the Motion Accuracy of Hydrostatic Table(1.st. Analysis and Experimental Verification on Single-side Table) (FEM을 이용한 유정압테이블의 운동정밀도 해서(1. 단면지지형 테이블의 해석 및 실험적 검증))
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.17 no.12
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- pp.137-144
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- 2000