• Title/Summary/Keyword: 조명조건

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태양전지 실리콘 웨이퍼의 표면결함 검출을 위한 구조적 하이브리드 조명시스템의 개발 및 최적 조건 선정 (Development of Structured Hybrid Illumination System and Optimum Illumination Condition Selection for Detection of Surface Defects on Silicon Wafer in Solar Cell)

  • 안병인;김경범
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제36권5호
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    • pp.505-512
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    • 2012
  • 본 논문에서 태양전지 실리콘 웨이퍼 검사를 위해 광학스캐닝 메커니즘 기반 검사장비를 개발하였다. 그 중에서 다양한 결함검사 요구와 적절한 조명조건을 만족하는 구조적 하이브리드 조명시스템을 설계하였다. 그 다음으로 실험계획법을 이용하여 구조적 하이브리드 조명시스템의 최적 조명조건을 마스터 유리와 실리콘 웨이퍼에서 선정하였다. 마스터 유리에서 최적 조명조건은 B-강, BG-강, BR-강, BGR-강 이며, 실리콘 웨이퍼에서 최적조건은 R-중-B-중 이다. 이 최적조명조건을 적용하여 실리콘 웨이퍼 표면을 검사한 결과, 핀홀, 스크래치, 치핑 등 다수의 표면결함을 정확하게 검출하였다. 구조적 하이브리드 조명시스템은 태양전지 실리콘 웨이퍼 표면결함 검사에 유용하게 사용될 수 있다.

조명의 양과 방향성에 따른 모델링 와 교과에 쾌적성 평가에 관한 연구 (A Study on the Modeling Effects and Amenity Evaluation by the Quantity and the Flow of Lighting)

  • 이진숙;정지현;송미옥
    • 한국조명전기설비학회지:조명전기설비
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    • 제10권1호
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    • pp.31-39
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    • 1996
  • 본 연구는 2회의 실험으로 나누어 실시하였는데, 실험 1에서는 광원의 고도, 수평바위각, 벡터/스칼라 조도비 등의 조명조건에 따른 모델링의 효과에 대한 실험을 실시하였고, 실험 2에서는 상기의 조명 조건들에 대하여 조명을 받는 대상체의 쾌적성에 관한 실험을 실시하였다. 본 연구에서의 분석은 인자분석, 회귀분석을 통하여 실시하였다. 그 결과는 다음과 같다 1)전체적으로 심리적 효과는 조명조건중 고도의 영향이 가장 크게 나타났다. 2) 대상체의 쾌적성에 관해서는 조명조건중 수평방위각의 영향이 가장 큰 것으로 나타났다.

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생활행위로 본 조명환경 평가에 관한 한.일 비교 (The comparison of the evaluations for the luminous environment as seen in the living behaviors between Korean and Japanese)

  • 안옥희
    • 한국조명전기설비학회지:조명전기설비
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    • 제3권3호
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    • pp.51-59
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    • 1989
  • 본연구는 동일실험조건에 의한 한국인과 일본인의 심리적평가, 특히 생활행위로 본 조명환경을 비교한 것이다. 그 결과, 조명환경 평가의 인자구조에는 양국인간의 차이가 없으나, 동일조건에 있어서의 밝기에 대한 감수성은 한국인이 보다 강하다는 사실이 밝혀졌다.

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국부조명이 전시효과에 미치는 영양에 관한 실험연구 (A Experimental Study on the Influence of the Display Effect by Local Light)

  • 김현지;안옥희
    • 한국조명전기설비학회지:조명전기설비
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    • 제8권5호
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    • pp.24-33
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    • 1994
  • 본 연구는 의류매장 쇼윈도를 연구대상으로 하여 바람직한 의류매장 쇼윈도의 조명환경을 제시하고자 한다. 이에 실제 쇼윈도 크기 모형내에서 조명조건의 질적인 측면에 주목하여 조명이 전시효과에 미치는 영향을 파악하였다. 그 결과 평균크기 쇼위도내에서 본 실험조건 중에서"변화성"을 중시하는 경우에는 위치 45[cm], 각도 $0^{\circ}$, 광원용량 500[W], 전반조명을 사용했을 때, "명시성"을 중시할 경우에는 위치 180[cm], 각도 $45^{\circ}$, 광원용량 500[W], 전반조명을 사용했을 때, "정서성"을 중시할 경우에는 위치 180[cm], 각도 $-45^{\circ}$, 광원용량 500[W], 전반조명을 사용했을 때의 조명환경을 만들어 주면 가장 평가가 높다는 사실을 밝혔다.경을 만들어 주면 가장 평가가 높다는 사실을 밝혔다.

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한강대교아아치 및 교각조명과 잠실대교수중보 조명계획 (Lighting the Archs of the Hangang Grand Bridge and the water-flow under the Chamshil Grand Bridge)

  • 지철근;장우진;권영혜
    • 한국조명전기설비학회지:조명전기설비
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    • 제4권1호
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    • pp.41-45
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    • 1990
  • 교량 부각 조명 및 교각 조명 계획의 과정과 요소를 고찰함으로써 교량 조형물 외부 조명 계획의 주요 문제를 추론하고 그 해결 방안 및 체계적인 접근을 위한 설계의 기초 방안을 제시하고자 한다. 본 연구에서 한강대교의 아아치와 교각부각조명과 잠실대교의 수중보 부각조명을 통하여 각 계획의 제한 조건하에서의 설계목적의 부합성, 유지보수의 용이성, 설계효과의 극대화를 달성하기 위한 설계제한조건의 해결 방법을 모색하였다.

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$0.1{\mu}m$급 dense 패턴 형성을 위한 사입사 조명 조건과 OPC 보조 패턴 크기의 최적 조건에 관한 연구 (Research on the optimization of off-axis illumination condition and sub-resolution pattern size for the $0.1{\mu}m$ rule dense pattern formation)

  • 박정보;이재봉;이성묵
    • 한국광학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.190-199
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    • 2001
  • 본 연구에서는 193nm의 ArF excimer laser 광원과 0.65의 NA를 갖는 광학계에서 기본 선폭이 $0.1{\mu}m$이고 duty ratio 가 1:1인 dense line & space(LS) 패턴에 대하여 여러사입사 조명 조건에 따른 초점심도(Depth of Focus; DOF)와 cutoff intensity를 확인하고 기본 capacitor 패턴에서 광학적 근접효과 보정을 위한 hammer head형 보조 패턴의 크기와 여러사입사 조건에 다른 DOF와 cutoff intensity의 변화에 대하여 알아보았다. 그결과 0.1$\mu$m급의 dense 패턴 구현을 위해서는 전형적인 X자형 사구 조명보다는 십자(+)형 사구 조명이나 환형조명이 보다 효과적인 것을 알수 있었다. 이와 더불어 보조 패턴의 크기가 약간 변한다 하더라도 일정한 초점심도와 cutoff intensity를 유지하는 경향을 보이는 특정한 조명 조건이 존재함을 밝히고 그에 따라 최적의 조명 조건과 보조 패턴의 크기에 대하여 알아보았다.

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신 국립중앙박물관의 조명환경 측정 (Measurement for the Lighting Environment of National Museum of Korea)

  • 한종성;김기훈;이창모;김훈;김홍범
    • 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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    • 한국조명전기설비학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.97-100
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    • 2005
  • 조명기술의 발전에 따라 현대의 박물관에서는 조명에 의한 다양한 연출 효과를 얻기 위해 같은 전시공간 내에서도 여러 종류의 광원들을 사용한다. 이는 역으로 각각의 유물들이 다양한 환경의 빛에 노출되어 전시되고 있다는 것을 말해준다. 유물의 전시를 위한 최적의 조명환경 조건과 보존을 위한 최적의 조명환경 조건이 서로 다른 측면이 있다. 본 연구에서는 신 국립중앙박물관의 전시실 및 진열장에 조사되는 광복사량, 복사분포 등을 측정하였으며, 측정 데이터를 바탕으로 국립중앙박물관의 조명환경을 비교, 분석하여 보았다.

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테니스장 조명 실태조사 (Investigation of the Tennis Court Lighting Environment)

  • 김기덕;김훈
    • 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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    • 한국조명전기설비학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.235-242
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    • 2004
  • 테니스장 조명 설치 시 검토 되어야할 여러 가지 조건을 제시하였으며 기존의 옥외, 옥내 테니스장에 설치되어 있는 조명의 수평면조도, 수직면조도, 휘도 등을 측정하여 KS 기준에 명시된 값에 적정한지 비교하고 문제점을 도출하였다.

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