• Title/Summary/Keyword: 제조 결함

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Implementation of Automated Defect Detection and Classification System for Semiconductor Wafers (반도체 웨이퍼 자동 결함 검출 및 분석 시스템 구현)

  • 남상진;한광수
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2001.10b
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    • pp.334-336
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    • 2001
  • 반도체 제조와 같은 대량 생산 시스템에서 제품 검사는 매우 중요란 단계 중의 하나이다. 반도체 제조 공정 내에서의 시각 검사는 현재 사람의 육안에 주로 의존하고 있으나, 회로가 점점 복잡해지고 작아지는 추세에 비추어 볼 때 사람에 의한 시각 검사는 한계에 이를 것으로 보인다. 본 연구에서는 웨이퍼상의 결함을 자동으로 검출하고 검출된 길함을 분류하는 자동시각검사 시스템을 설계 구현하였다.

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완전결정 소자의 제조기술

  • 곽태균
    • 전기의세계
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    • v.28 no.9
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    • pp.10-15
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    • 1979
  • Si의 결정결함, 특히 dislocation 같은 것은 능동소자의 전기적특성에 큰영향을 끼친다. 그 중에서도 고온의 반도체 제조과정에서 결정결함이 발생하기 쉽다. 특히 에미터 확산시 고농도 불순물 또는 확산과정에서 종종 나타나는 dislocation 같은 결정결함이 가장 문제이다. Si보다 원자반경이 작은 P(인), B(붕소) 같은 불순물을 확산시킬때 원자반경의 차이에 의하여 확산층에 나타나는 strain은 확산으로 인한 dislocation에 의해 이완된다. 여기서 첫째, 확산으로 기인된 dislocation의 발생을 살펴보고 둘째, dislocation이 없는 고농도 확산에 대한 새로운 mechanism을 알아보고 마지막으로 전기적 특성에 대한 확산으로 생성된 결정결함의 영향을 논해 보기로 한다.

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Fabrication and characterization of nano phosphor using ultrafine $Y_2O_3:EU^{3+}$ particles (초미세 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 분말을 이용한 나노 형광체의 제조 및 특성 평가)

  • Hong, Sung-Jei;Kwak, Min-Gi;Cho, Kyoon-Woo;Kim, Won-Geun;Moon, Dae-Gyu;Han, Jeong-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2003.07b
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    • pp.1062-1065
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    • 2003
  • 본 연구에서는 초미세 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 분말을 이용하여 나노 형광체를 제조하였다. 나노 형광체는 소량의 Eu가 도핑된 $Y_2O_3$ 재질로 구성되어 있다. 형광체 분말의 결정화를 위해 $500{\sim}900^{\circ}C$의 온도로 열처리하였다. 제조된 나노 형광체를 HRTEM으로 관찰한 결과 입자 크기가 열처리 온도에 따라 약 $4{\sim}30nm$의 분포를 나타내었다. 또한 XRD로 결정상을 분석한 결과 주로 입방정 구조로 되어 있고 소량의 단사정 구조가 포함된 $Y_2O_3$ peak가 검출되었다. EDS 분석 결과 약 $6.7{\sim}7.5%$의 Eu가 검출되었다. 약 4nm 크기의 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 분말로 제조한 나노 형광체의 발광 특성은 주요 파장대가 612nm인 PL spectrum이 관찰되어, 적색 형광체로서의 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 나노 분말이 제조되었다.

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Evaluation of Com-Ply from Domestic Logs and Urea-Formaldehyde Resin Adhesive (국산재와 요소수지접착제로 제조된 Com-Ply의 평가)

  • Oh, Yong-Sung;Kim, Jong-In
    • Journal of Korean Society of Forest Science
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    • v.96 no.1
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    • pp.54-57
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    • 2007
  • Urea-formaldehyde (UF) resin was formulated similarly to plywood resin in the laboratory. The synthesized UF resin adhesive was mixed with extender, filler and acid catalyst. The mixture contained 56.1% total solids and 43.9% water. The mixes was used to bond five Com-Ply types using Korean wood species. The Com-Ply made were tested for shear strength and wood failure according to KS F 3101 ordinary plywood as well as for bending strength per KS F 3104 particleboard. The performance test results showed good strength properties for all Com-Ply types made in this study. This result represented that the UF resin adhesive mix was adequate for bonding Com-Ply with domestic wood species.

Studies on Characteristics of $ZnCa_2O_4$ Prepared by Glycine Nitrate Process anti S01id State Reaction for FE8 Phosphor (GNP법과 고상반응법으로 제조한 FED 형광체용 $ZnCa_2O_4$ 분말의 특성에 관한 연구)

  • Sin, Han;Park, Sung
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.91-95
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    • 1999
  • PED용 형광체로 사용되는 ZnCa$_2$O$_4$를 Clycine Nitrate Process로 합성하여 고상 반응법으로 합성한 ZnCa$_2$O$_4$ 분말과 비교 분석하였다. 또한 Glycine Nitrate Process로 제조시 Mn의 doping 농도를 변화시키면서 각각의 조성비에 따른 발광특성을 알아보았다. TGA 측정 결과 GNP법으로 합성된 ZnCa$_2$O$_4$ 의 경우 약 40$0^{\circ}C$ 이상에서 무게감량의 변화가 없었으며, XRD 상분석 결과 연소반응 후 이미 상형성이 이루어짐을 알 수 있었다. PL측정을 결과 GNP(GIycine Nitrate Process)로 제조된 ZnCa$_2$O$_4$분말의 발광효율이 고상 반응법으로 제조된 분말보다 우수하였으며, 균일하고 비표면적이 큰 단일상임이 관찰되었고, 더 작은 에너지와 시간으로 제조할 수 있는 장점이 있었다

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Effect of two compatibilizers haying comonomer in polypropylene/clay nanocomposites (Comonomer 도입한 상용화제가 Polypropylene/clay 나노복합재료에 미치는 영향)

  • Nam, Byeong-Uk
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.8 no.2
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    • pp.367-371
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    • 2007
  • Nanocomposites prepared by PP(Polypropylene) based compatibilizers modified with GMA(Glycidyl methacrylate) and HEMA(Hydroxyethyl methacrylate) were used to investigate the clay dispersion and mechanical properties of them. XRD patterns showed the improvement of dispersion through clay intercalation according to the compatibilizers and comonomer. GMA modified polypropylene gave the best mechanical properties of the nanocomposite with respect to the balance of Flexural modulus (FM) and Notched izod impact strength(IS). Compatibilizers with comonoer commonly have higher grafting yield and lower melt flow rate than those of comonomer free. And they enhanced the clay dispersion and mechanical properties of nanocomposites. Optimum ratio of monomer to comonomer for nanocomposites having better mechanical properties is about 1 to 1 ratio.

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Fabrication Studies for PZT Preform Using PIM (PIM을 이용한 PZT 프리폼의 제조에 대한 연구)

  • Shin, Ho-Yong;Kim, Jong-Ho;Jang, Jong-Soo;Im, Jong-In
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.28 no.8
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    • pp.796-805
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    • 2009
  • In this paper, a fabrication process for PZT preform of 1-3 type piezo-composite were studied using powder injection molding (PIM). The viscosity and the Pressure-Volume-Temperature (PVT) characteristics of the fabricated PZT feedstock were analyzed. The filling patterns, pressure, temperature distributions, and forming defects of the preform were analyzed with 3D TIMON commercial packages during PIM process. Also the fabrication conditions and the delivery system of the preform were optimized during the entire PIM process. Based on the simulated results, the preform having uniform distributions of the PZT rod was fabricated with the PIM process.

제조방법에 따른 명주실 현의 특성

  • 김영대;우순옥;정인모
    • Proceedings of the Korean Society of Sericultural Science Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.58-58
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    • 2003
  • 전통 국악기인 가야금의 명주실 현의 제조방법을 개선하고자 시험을 수행한 결과는 다음과 같다. 가. 생사의 종류가 명주실 현에 미치는 영향을 구명하기 위하여 시험한 결과 생사종류에 따라서 강력과 신도의 차이가 컸으나 이 생사로 만든 명주실현은 강력과 신도의 차이는 줄어들어 생사종류에 따른 차이는 없었다. (중략)

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위험기계의 위험성평가 및 제조물책임대책 연구

  • 윤상용;김두환;손두익
    • Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.377-383
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    • 2002
  • 기술전문인력이 없는 중소기업에서도 활용할 수 있는 산업용 위험기계의 위험성평가 체크리스트를 개발하기 위하여, 기존의 체크리스트를 평가하고 위험도를 보다 합리적으로 파악 관리할 수 있는 간단한 체크리스트를 개발하였다. 제조물책임법의 시행을 앞둔 시점에서 산업용기계ㆍ설비 제조업체가 안전성향상을 통한 제조물 결함대책에 적절히 대응할 자료의 마련을 목적으로 우리업계의 실태를 파악하고 설계단계의 안전성 평가방법과 안전기준을 제시함으로서 제조물책임법 시행에 따르는 기업의 피해를 예방함과 아울러 산업재해 예방에 기여하고자 한다.

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RFID 적용 PL법 대응 시스템 구축 방안 연구 - 전기.전자 산업을 중심으로 -

  • Kim, Jin-Su;Kim, Dae-Jin;Lee, Hak-Su;Han, Jeong-Hun
    • 한국경영정보학회:학술대회논문집
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    • 2008.06a
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    • pp.1096-1103
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    • 2008
  • 2002년 소비자 보호 및 기업의 제품 역량 강화를 위해 대두된 제조물 책임법으로 제품에 대한 소비자의 관심이 증대되고 제품 결함에 대한 기업의 책임이 강화되고 있다. 본 연구에서는 전기 전자 산업에서 제조물 결함에 의해 나타나는 기업 및 소비자의 손해 배상에 대한 분석과 제품 흐름별 PL법 사례를 제시한다. 또한, 신속한 기업 PL 예방과 대응을 위한 RFID 적용 전, 후 PL법 대응 프로세스 분석을 통해 RFID 적용 PL법 대응 방향을 제시한다. 더불어, PL법 대응 시스템 설계 시 접근 방향과 제품 라이프 사이클에서 제시되는 데이터 흐름 및 상세적용 정보를 제시하여 효과적인 PL법 대응 프로세스 구축 방향을 제시하고, 전기 전자 산업 사례 적용을 통하여 전기 전자 산업의 PL법 대응 프로세스 및 핵심 정보를 제시하고자 한다.

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