Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.82.2-82.2
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2013
반도체 및 디스플레이 소자를 생산 하기 위하여 다양하고 많은 공정 기술이 사용 되며 그 중에서 플라즈마를 이용하는 제조공정이 차지 하는 부분은 상당한 부분을 차지 하고 있습니다. 전체 반도체 공정 중 48%가 진공공정이며, 진공공정 중 68% 이상이 플라즈마를 이용하고 있으며, 식각과 증착 장비 뿐만 아니라 세정과 이온증착 에 이르기 까지 다양하며 앞으로도 더욱 범위가 늘어 날 것으로 보입니다. 이러한 플라즈마를 이용한 제조 공정들은 제품의 생산성을 향상 하기 위하여 오염제어 기술을 비롯한 공정관리기술 그리고 고기능 센서기술을 이용한 공정 모니터링 및 제어 기술에 이르기 까지 다양한 기술들을 필요로 합니다. 플라즈마를 이용한 제조 장비는 RF파워모듈, 진공제어모듈, 공정가스제어모듈, 웨이퍼 및 글래스의 반송장치, 그리고 온도제어 모듈과 같이 다양한 장치의 집합체라 할 수 있습니다. 플라즈마의 생성과 이를 제어 하기 위한 기술은 제조장비의 국산화를 위한 부단한 노력의 결실로 많은 부분 기술이 축적되어 왔고 성과를 거두고 있습니다. 그러나 고기능 모니터링 센서 기술 개발은 그 동안 활발 하게 이루어져 오고 있지 않았으며 대부분 외산 기술에 의존해 왔습니다. 세계 반도체 시장은 현재 300 mm 웨이퍼 가공에서, 추후 450 mm 시장으로 패러다임이 변화될 예정이며, 미세화 공정이 더욱 진행 됨에 따라 반도체 제조사들의 관심사가 "성능 중심의 반도체 제조기술"로부터 "오류 최소를 통한 생산성 향상"에 더욱 주목 하고 있습니다. 공정미세화 및 웨이퍼 대구경화로 인해 실시간 복합 센서를 이용한 데이터 처리 알고리즘 및 자동화 소프트웨어의 기능이 탑재된 장비를 요구하고 있습니다. 주식회사 레인보우 코퍼레이션은 플라즈마 Chemistry상태를 정성 분석 가능한 OES (Optical Emission Spectroscopy)를 이용한 EPD System을 상용화 하여 고객사에 공급 중이며, 플라즈마의 광 신호를 실시간으로 고속 계측함과 동시에 최적화된 알고리즘을 이용하여 플라즈마의 이상 상태를 감지하며 이를 통하여 제조 공정 및 장비의 개선을 가능하게 하여 고객 제품의 생산성을 향상 하도록 하는 기술을 개발 하고 있습니다. 본 심포지엄에서는 주식회사 레인보우 코퍼레이션이 개발 중인 "실시간 고속 플라즈마 광 모니터링 기술" 의 개념을 소개하고, 제품의 응용 범위와 응용 방법에 대하여 설명을 하고자 합니다.
Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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v.17
no.2
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pp.190-195
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2007
As Ubiquitous era comes, it became necessary to construct environment which can provide more useful information to human in the spaces where people live like homes or offices. On this account, network of the peripheral devices of Ubiquitous should constitute efficiently. For it, this paper researched human pattern by classified motion recognition using sensors module data. (This data processing by Neural network and fuzzy algorithm.) This pattern classification can help control home network system communication. I suggest the system which can control home network system more easily through patterned movement, and control Ubiquitous environment by grasp human's movement and condition.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.23
no.9
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pp.124-129
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2009
Recently, PWM inverter is widely utilized for many industrial applications such as high performance drive and space vector pulse width modulation(SVPWM) inverter which has high voltage ratio and low harmonics compared to conventional PWM inverter. This paper presents the implementation on a field programmable gate array(FPGA) of a SVPWM module for a voltage source inverter. The SVPWM module consists of PWM generator, current and position sensor interface and dead time compensator. The implemented SVPWM module can be integrated with a digital signal processor(DSP) to provide a flexible and effective solution for high performance voltage source inverter and for the use of multi-motor control. The performance of SVPWM module is verified by simulation and several experimental results.
Recently, various threat and security incident are occurred for unspecified individuals, and this problem increases as the rapid of information sharing through Internet. The using of Information Security System such as IDS, Firewall, VPN etc. makes this problem minimal. However, professional knowledge or skill is needed in that case, normal user can't operate the Information Security System. This paper designs and implements File Access Control Module(FACM) to use easily for normal user against malicious threats and attacks. The FACM can exclude from malicious threats and attacks based on operation system rather than detection of threats and attacks. The FACM is working not only Windows System but also Linux System, and the FACM has effect on access control, integrity and non-repudiation for a file with an access control over files on the each OS that are used by multi-user.
Journal of Satellite, Information and Communications
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v.7
no.2
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pp.54-58
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2012
In this paper, we implemented total monitoring system in which LED light turned on only when user detected and LED light turned out only when user disappeared. This system is composed of two modules, one is HW board based on Micro Controller and the other is SW control system based on Web server. Micro controller board is based on ATMega2560 chip which is connected with Infra Red and Ultra sonic sensors. Web based monitoring system was designed can be used in smart device. The validity of this monitoring system was proved by integration test of two modules.
Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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2012.05a
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pp.442-442
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2012
농업용저수지 수질측정 현황은 17,600여 개소 농업용저수지 중 농업용수 수질측정망 조사시설은 저수지 800개소이며, 농업용 호소로서 환경부 조사 시행 호소수질측정망시설 26개소(저수지 16개소, 담수호 10개소)를 포함한 826개소를 대상으로 농업용수 수질을 분석 평가하고 있다. 저수지 자율항법 자동수질측정을 위하여 개발한 운영시스템은 내용적측정 무인탐사선과의 연계운항 제어모듈 개발 및 저수지 수질측정을 위한 최적항로 운항모듈을 개발하였다. 자율항법 무인탐사선의 자동수질 측정을 위한 운항 제어 알고리즘 설계를 위하여 기존의 자율항법 탐사선의 운항 알고리즘과 수질자동 측정장치 제어 알고리즘을 분석하여 연계 제어모듈을 설계하고 프로그래밍 하였다. 운영과정은 선박운영 프로그램에서 수질모니터링 프로그램으로 Operation Start 명령을 전송하면 수질모니터링 프로그램에서 이 명령을 수신한 이후에 윈치제어 및 수질측정, 각 해당 수심에서 시료채수를 수행한 이후에 Opeartion End 신호를 선박운영 프로그램에 전송하면 다음 지점으로 이동할 수 있도록 하였다. 이를 통하여 효율적인 농업용저수지의 무인자동 수질측정 및 채수기술을 개발 제공하도록 하겠다.
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.49
no.5
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pp.389-397
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2021
The control characteristics after the failure of the control moment gyros, the actuators for satellite attitude control, were analyzed. In particular, the situation where one out of four failed was considered. For the most commonly used pyramids and box-90 structures, the singularities and singular surfaces after failure were analyzed and compared. Dynamic equations for the process of reducing the wheel speed after the failure were derived. The process of stabilizing the angular velocity of a satellite while absorbing the momentum of the faulty module by the three normal modules was analyzed. For singular shapes, the remaining CMGs may be locked or excessively shake. The authors proposed that it can be prevented by rearranging the gimbal angles.
Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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2015.10a
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pp.133-134
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2015
전처리 공정장치 구축에 앞서 정확한 설계와 검증이 선행되어야 한다. 우선 디지털 목업 기술을 통해 설계검증을 철저히 함으로써 공정의 품질을 높이고 공정하자를 최소화 할 수 있다. 전처리 공정 중 집합체해체 핵심장치의 유지보수를 쉽게 하고, 원격 제어 효율을 높이기 위한 모듈화와 그에 대한 사전 검증을 수행하였다. 이를 위해해 전처리 디지털 목업 시스템 검증 대상과 집합체 해체핵심장치 주요모듈을 선정하였으며, 주요 모듈의 모듈화 방안 과 모듈 탈착 시간 검증하였다. 그 결과, 집합체해체 핵심장치에서는 5개의 주요 모듈로 구성되었으며, 모듈 탈착 시간 검증에서 작업시간은 클램프모듈이 약 130초, 언볼팅, 드릴링 모듈이 140초 소요될 것으로 분석되었다. 향후 전처리장치별 모듈 분석과 LAYOUT 운영을 포함해서 MSM 시뮬레이터의 디바이스 및 시뮬레이터 시스템 구축을 수행할 것이다.
The Transactions of the Korea Information Processing Society
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v.4
no.12
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pp.3133-3138
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1997
The Digital Broadcasting Satallite System consists of the Transmitter station, the Resource and Subscriber Management System, and the Receiver Test Unit. The RSMS consists or several modules such as Resource Main Module, Resource User Interface Module, Transmitter Station Interface Module, Receiver Test Unit Interface Module, Subscriber sales Outlets Module and Monitor & Control Module. In this paper we suppose the new RRMC Algorithms that is to manage efficiently the Resource and subscriber information in the Direct Broadcasting Satellite system based on client-sever features and demonstrates the implementation method of monitoring and control the system in real time. Also we explain the communication procedure between resource and subscriber managment and other equipment.
CTI[1]의 응용 영역 중에서 인터넷 폰이 최근 뜨거운 관심의 대상으로 떠오르고 있다. 인터넷을 이용한 음성전달 기술은 인터넷의 성장 보급과 더불어 나날이발전 하고 있는데, 이러한 음성전달기술을 이용해 개발된 소프트 웨어를 통칭해서 인터넷 폰이라고 부르고 있다. 이러한 변화 속에서 비용의 절감과 비디오 전화, 영상회의와 같은 응용에 적용할 수 있는, 본 개발은 One Encoder One Decoder 지원의 VoIP(Voice over Internet Protocol) Phone에 관한 것으로, 특히 압축하여 인터넷 망에 접속시켜 사용할 수 있는 PC 장착형 One Board 형태의 시스템을 구현하였다. 이 Board에 사용 된 칩셋은 국내 회사인 C&S Technology 사의SEAGUL723이며, PC인터페이스는 PCI(Peripheral Component Interconnect) 버스 방식을 이용하였다. 주요 연구내용에 있어서 하드웨어 부분은 내선제어모듈,PCI 모듈, 칩셋을 이용한 음성신호처리 모듈, Board제어 모듈 등이 있으며, 소프트 웨어 설계 부분에 있어서는 하드웨어 구동을 위한 시스템 드라이브, Application과 인터넷 상의 VoIP 통신을 위한 소프트웨어, 사용자를 위한 User Interface 소프트 웨어 등이 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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