• The Magazine of the IEIE
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• v.15 no.2
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• pp.67-74
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• 1988

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.22 no.4
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• pp.218-224
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• 2013

We measure solar currents transformed from quantum efficiency as a function of incident angles of solar lights. According to conventional models for solar cells, solar currents can be induced when electrons are separated into electrons and holes in the presence of incident solar lights. On the contrary, solar currents can be possible at the time when pinned charge density waves go beyond the pinning potential barrier under the influence of incident solar beams suggested by some authors. In this experiment, measured solar currents and our theory are in good correspondence to confirm the angle dependence of solar lights.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.209-209
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• 1999

현재 magnetron sputter는 반도체, LCD 등을 포함하는 microelectronics 산업에서 박막형성을 위한 주요 장비로 널리 쓰이고 있으며, 소자의 고집적화 및 대형화 추세에 따라 그 이용가치는 더욱 증대되고 있다. 본 연구엣는 TFT-LCD용 Color Filter 제조시 ITO박막형성을 위해 사용하는 magnetron sputter 내부의 플라즈마 분포 및 ion kinetic energy에 대한 해석을 실시하였으며, ITO target의 erosion 형상의 원인을 실험결과와 비교하였다. Magnetron sputtering은 target에 가해지는 bias 전압(DC 혹은 RF)에 의해 target과 shield 혹은 target과 substrate 사이에서 생성될 수 잇는 플라즈마를 target 및 부분에 붙어있는 영구자석을 이용하여 target 근처에 집중시키고, target 표면과 플라즈마 사이의 전위차에 의해 가속된 이온들이 target 표면과 충돌하여 이차 전자방출을 일으킴과 동시에 target 표면에서 sputtering을 일으키고, 이들 sputtered 된 중성의 atom 들이 substrate로 날아가 박막을 형성하는 원리로 작동된다. 이때 target에서 방출되는 이차전자들은 영구자석에 의한 자기장 효과에 의해 target 근처에 갇히게 되어 중성 기체분자들과 이온화반응을 통해 플라즈마를 유지하고 그 밀도를 높혀주는 역할을 담당하게 된다. 즉 낮은 압력 및 bias 전압에서도 플라즈마 밀도를 높일수 있고 sputtering 공정이 가능한 장점을 가지고 있다. Magnetron sputtering 현상에 대한 시뮬레이션은 크게 magnetron discharge와 sputtering에 대한 해석 두가지로 나누어 볼 수 있는데, sputtering 현상 자체를 수치묘사할 수 있는 정량적인 모델은 아직까지 명확하게 정립되어 있지 않다. 따라서 본 연구에서는 magnetron plasma 자체에 대한 수치해석에 주안점을 두고 아울러 bulk plasma 영역에서 target으로 입사하는 이온들의 입사에너지 및 입사각도 등을 Monte Carlo 방법으로 추적하여 sputtering 현상을 유추해보았다. Sputtering 현상을 살펴보기 위해 magnetron sputter 내 플라즈마 밀도, 전자온도, 특히 target 및 substrate를 충돌하는 이온의 입사에너지 및 입사각 분포등을 계산하는데 hybrid 방법으로 시뮬레이션을 하였다. 즉 ion과 bulk electron에 대해서는 fluid 방식으로 접근하고, 이차전자 운동과 그로 인한 반응관계 및 target으로 입사하는 이온의 에너지와 입사각 분포는 Monte-Carlo 방법으로 처리하였다. 정지기장해석의 경우 상용 S/W인 Vector Fields를 사용하였다. 이를 통해 sputter 내 플라즈마 특성, target으로 입사하는 이온에너지 및 각 분포, 이들이 target erosion 형상에 미치는 영향을 살펴보았다. 또한 이들 결과로부터 간단한 sputtering 모델을 사용하여 target으로부터 sputter된 입자들이 substrate에 부착되는 현상을 Monte-Carlo 방법으로 추적하여 성막특성도 살펴보았다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.80-80
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• 2008

바이오 센서 응용 연구에 많이 사용되는 금(Au) 나노 입자를 이용한 국소 표면 플라즈몬 공명(Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)에 의한 산란광을 검출하는데 주로 이용되는 암시야(dark field) 현미경 검출 방식에 관한 전산모사를 통하여 입사광의 입사 방식에 따른 산란광 세기를 정량적으로 분석하였다. 전산모사 기법으로는 국소 표면 플라즈몬 공명의 동역학적인 현상을 모사할 수 있는 유한차분시간영역(Finite Difference Time Domain, FDTD) 기법을 이용하였는데, 이러한 기법이 암시야 현미경 전산 모사에 유효함을 우선적으로 검증하였다. 암시야 현미경 검출 방식의 모사에서 입사 광원의 반사 입사 방식과 투과 입사 방식을 비교하였고, 각각의 방식에 서 입사광의 입사각에 따른 산랑광 세기를 계산하였다. 이러한 전산모사를 통하여 프리즘을 통한 내부 전반사(Total Internal Reflection, TIR) 방식에서 입사 광원의 임계각 근처에서 많이 발생하는 에바네슨트 장(evanescent field)을 결합하는 경우 산란광 세기가 증가함을 관찰하였고, 이러한 세기의 변화를 프레넬(Fresnel) 방정식에 의해 계산된 에바네슨트 장의 세기 분포와 비교 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Radiological Science
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• 2001.09a
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• pp.82.2-82.2
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• 2001

• Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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• spring
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• pp.529-534
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• 2002

유도초음파는 얇은 판재와 다층재료를 평가하는데 널리 사용되는데, 이를 정량적으로 이용하기 위해서는 위상 및 군속도의 분산선도는 필수적이다. 본 연구에서는 후방복사 리키 램파를 이용하여 위상속도 분산곡선과 군속도를 측정하였다. 물에 잠긴 판재에 입사각을 변화 시키면서 판재에서 발생하는 후방복사 초음파 신호를 측정하였고, 후방복사된 초음파 신호는 유도초음파의 분산특성을 지님을 보였다. 입사각도와 수신된 파형의 주파수 분석을 통하여 램파의 위상속도 분산선도를 구하였다. 또한, 특정한 입사각에서 입사점을 변화시키면 서 론 파형의 시간대역 이동으로부터 군속도를 측정하였다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.10 no.4
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• pp.306-310
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• 1999

Electron intersubband absorption in Sb $\delta$-doped Si(110)/SiGe multiple quantum well structures is observed. Normally incident light can excite electrons in Si(110) quantum wells, which is not possible for Si(001) or GaAs quantum wells. The influence of Ge composition in SiGe barries is investigated. As the Ge composition in SiGe barriers increases, the absorption strength is decreased and the transition energy is increased. It is verifired by comparing the calculated and experimental results obtained at various incident and polarization angles that normally incident light and parallel incident light are absorbed in different processes.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.8 no.4
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• pp.44-52
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• 1989

The UCERSS (Unit Circle Eigendecomposition Rational Signal Subspace) algorithm has extended MUSIC (MUltiple Signal Classification ) by using eigendecomposition on the unit circle in order to estimate incident angles of multiple wide band signals. The purpose of this thesis is to further extend the UCERSS to be able to estimate the direction of arrivals of multiple wide band signals in very low SNR . The wide band ESPRIT (Estimation of Signal Parameter via Rotational Invariance Technique) uses covariance difference matrices to reduce noise components. In this paper the wide band ESPRIT which combines the ideas of UCERSS and ESPRIT Is proposed. Computer simulation results Indicate that the performances of the proposed approaches are superior to those of the UCERSS in very low SNR.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.32 no.4C
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• pp.433-439
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• 2007

This paper derives an approximate expression for the output SINR(Signal to Interference plus Noise Ratio) of Applebaum type adaptive array under the scenario of the interferer's proximity to the desired signal. The approximation is made in terms of array geometry, the arrival direction of desired signal and that of an interfering signal. An interferer in the close proximity of target signal is shown to drastically impair the away performance. An approximate expression for interferer arrival direction which results in a predetermined performance loss is also obtained in terms of array configurations. Proposed approximation agrees with the computer calculated performance impairment when the two signals are apart by less than eight degrees. The allowable proximity of the interfering signal increases with the number of array elements.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.16 no.4
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• pp.241-250
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• 1997

The velocity dispersion of surface acoustical wave(SAW) of Si layer/mesh Au/Si substrate was measured by the frequency analysis technique of backward radiation at liquid/solid interface. The difference of backward radiation patterns depending on used transducers (2, 5, 10MHz) confirmed that the backward radiation phenomenon was caused by the energy radiation from SAW generated in surface region. An ultrasonic goniometer was constructed to measure continuously the angular dependence of backscattered intensity. The angular dependences of backward radiation(5MHz) were measured for Ni layer/Al substrate specimens that were bonded by epoxy involving different content of Cu powder. It was known that the width and pattern of backward radiation had informations such as the velocity dispersion, bonding quality and structure of surface region.