The Evaluation Technique of Surface Region using Backward-Radiated Ultrasound

후방 복사된 초음파를 이용한 표면 지역의 평가 기술

The velocity dispersion of surface acoustical wave(SAW) of Si layer/mesh Au/Si substrate was measured by the frequency analysis technique of backward radiation at liquid/solid interface. The difference of backward radiation patterns depending on used transducers (2, 5, 10MHz) confirmed that the backward radiation phenomenon was caused by the energy radiation from SAW generated in surface region. An ultrasonic goniometer was constructed to measure continuously the angular dependence of backscattered intensity. The angular dependences of backward radiation(5MHz) were measured for Ni layer/Al substrate specimens that were bonded by epoxy involving different content of Cu powder. It was known that the width and pattern of backward radiation had informations such as the velocity dispersion, bonding quality and structure of surface region.

액체/고체 경계면에서 후방 복사된 초음파의 주파수 분석에 의해 Si layer/mesh Au/Si substrate 시편에 존재하는 표면 탄성파의 주파수 의존성이 측정되었다. 사용된 광역 탐촉자(2, 5, 10MHz)의 주파수에 따라 다르게 나타난 후방 복사의 입사각 의존성은 이 현상이 표면 지역에 발생된 표면파로부터의 에너지 복사에 의한 것임을 보여주었다. 후방 산란된 초음파의 입사각 의존성을 연속적으로 측정하기 위한 초음파 각도계가 제작되었고 다른 비율의 구리 분말이 섞인 에폭시에 의해 접착된 Ni layer/Al substrate 시편에 대해 후방복사 세기의 입사각 의존성이 측정되었다. (5MHz) 후방 복사의 폭과 패턴은 표면파 속도의 주파수 의존성, layer 접합의 질 그리고 표면 지역의 구조 등 여러 정보를 가지고 있음이 밝혀졌다.