• 제목/요약/키워드: 유도성에너지

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High Density Plasma Sputtering System (HIPASS) 방법을 통한 TiN 박막 증착 및 특성 평가

  • 김기택;양원균;이승훈;김도근;김종국
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.254-254
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    • 2013
  • 마그네트론 스퍼터링은 그 단순한 구조로 인하여 신뢰성과 확장성이 높은 기술이다, 이로 인해 DLC, ITO 등의 산업 분야에서 많이 사용하는 박막 공정 기술이다. 하지만 인듐과 같은 희토류 금속의 가격이 최근 상승함에 따라 나타난 낮은 타겟 효율성의 문제와 낮은 파워 밀도로 인한 기판의 추가적인 bias 추가에 따른 비용상승, 그리고 reactive 스퍼터링 시 낮은 증착률 등의 문제점들 또한 존재한다. 이러한 단점들을 해결하기 위해 많은 연구들이 이루어 졌으며, 높은 파워 밀도를 위해 High power Impulse Plasma Magnetron Sputtering (HIPIMS) 기술과 타겟 사용률을 높이기 위한 High Target Utilization Sputtering (HITUS) 등의 기술 등이 개발되었다. 본 연구에서는 직류 전원을 사용한 High density Plasma Sputtering System (HIPASS)이라 명하는 고밀도 원거리 플라즈마 소스를 이용한 스퍼터링 이용해 증착한 박막의 특성을 연구 하였다. Hollow cathode discharge에서 발생한 고밀도 플라즈마가 외부 유도 자장 코일에 의하여 타겟 표면까지 도달하게 되며, 스퍼터링 타겟의 고전압 bias에 의해 플라즈마 이온들이 가속이 이루어져 스퍼터링 공정이 이루어 지게 된다. 본 연구의 공정에서 타겟 사용 효율은 최대 90%까지 이며, 원거리 플라즈마 소스에서의 이온으로 스퍼터링을 실시함으로 인해 스퍼터링 전압과 전류의 독립적인 조절이 가능 하다. 본 연구에서 HIPASS을 이용하여 기판에 추가적인 전압 인가 없이 Ti 타겟과 아르곤/질소 혼합가스를 사용하여 TiN 박막을 증착 하였다. TiN의 증착률은 약 44 nm/min였으며, 이 박막의 XRD 분석 결과 TiN (111), (200), (220) 면들이 관찰이 되었다. 높은 스퍼터링 입자 에너지에서 증착 된 TiN 박막에서 우선적으로 나타나는(200)과 (220) 면들이, 본 실험에서는 기판에 추가적인 전압인가 없이도 우선방위 성장을 보였다. 이 박막의 micro-hardness 측정 결과 약 34.7 GPa이며, 이는 UBM 이나 HIPIMS에서 보여주는 결과에 준하거나 그 이상의 수치이다. 이와 같은 결과는 본 연구에서 사용한 HIPASS 증착 공정이 높은 스퍼터링 입자 에너지를 가지기에 고밀도의 TiN 박막이 증착 된 결과로 볼 수 있다.

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Amberlite XAD 수지에 대한 일치환 할로 페놀들의 흡착거동에 관한 연구 (Adsorption Behavior of Monosubstituted-Halophenols by Amberlite XAD Resins)

  • 이택혁;이대운
    • 대한화학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.267-279
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    • 1990
  • Amberlite XAD-2 및 XAD-7 수지에 대한 페놀과 그 할로겐 일치환체들에 대한 흡착성을 분포계수를 측정하여 조사하였다. XAD 수지에 대한 페놀의 흡착은 Langmuir 등온흡착으로 설명될 수 있었으며, 이 때의 흡착은 분자의 크기에 따르는, 즉 분산상호작용에 기인하는 전형적인 물리흡착임을 알았다. 고분자 합성수지에 대한 페놀류의 흡착에너지는 Lennard-Jones potential로 계산하였다. 이 때 고분자 수지의 반지름은 수지의 최소기본단위의 van der Waals 부피로부터 계산하였으며 페놀류의 분자 반지름도 같은 방법으로 구하였다. 페놀유도체들의 흡착성은 각 수지에 대한 시료의 Stacking factor (F)-고분자 수지와 페놀류사이의 van der Waals 부피로부터 구한 평형거리의 보정인자-로부터 흡착에너지를 구하고 뱃치법으로 측정한 흡착엔탈피값과 비교함으로써 설명할 수 있었다. 각 수지에 대한 페놀이온의 흡착엔탈피는 쌍극자 작용력이나 하전-쌍극자 상호작용보다 분산상호작용이 주 요인인 것으로 나타났다.

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Pinus densiflora와 Pinus koraiensis로부터 분리된 생리활성 물질들 및 응용 (Bioactive Compounds Isolated from Pinus densiflora and koraiensis and their Applications)

  • 김남희;윤순권;엄병헌;김정원
    • 공업화학
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    • 제32권2호
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    • pp.132-138
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    • 2021
  • 본 리뷰에서는 대한민국에서 자생하고 있는 소나무와 잣나무들로부터 분리·추출되는 생리활성 물질의 종류, 그리고 그 효과성에 대한 연구 현황 및 산업적 활용에 대해 조사하였다. 소나무와 잣나무에는 정유, 폴리페놀, 레진, 스틸벤 유도체를 비롯한 다양한 생리활성 물질들이 함유되어 있다. 최근 국내 연구진들은 소나무와 잣나무의 추출물들로부터 항산화, 항염증, 항균, 백내장 예방, 신경보호 등의 생리활성을 규명하였다. 그 추출물들은 식품, 건강기능식품, 화장품, 생활용품 등의 다양한 산업 분야에서 활용되고 있으나, 산업적으로 높은 비중을 차지하고 있는 것은 외래종을 원료로 한 것이다. 그러므로 과학적으로 규명되고 있는 효과에 비해 생리활성을 실제 제품에 응용한 사례들이 부족하여 산업적 활용성에 대한 다양한 연구가 필요하다.

천연 유래 6 종 혼합물의 지방세포 조절 효과 (The Regulatory Effect of Natural-Derived 6 Compounds Mixture on Adipocytes)

  • 김유나;장영수;박덕훈;정은선
    • 대한화장품학회지
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    • 제48권4호
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    • pp.331-342
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    • 2022
  • 비만은 에너지의 섭취와 소비의 불균형으로 인해 지방조직이 과도하게 분화하여 과잉 축적이 되면서 발생하게 되는 대사질환 중 하나이다. 본 연구에서 저자들은 3T3-L1 지방세포를 이용해 천연 유래 6 종 혼합물인 SliMax의 항비만 효과를 확인하였다. 그 결과 SliMax는 지방분화 단계에서 후기 분화를 조절하는 것으로 알려진 PPARγ와 C/EBPα의 발현 억제를 통해 지방분화를 억제하는 결과를 보였다. 또한 지방세포 분화 유도 후 지방세포 분해 과정에서 SliMax는 지방분해 관련 단백질인 ATGL과 HSL 발현 증가를 통해 큰 사이즈의 단방성 지방구를 작은 사이즈의 수많은 다방성 지방구로 분해하였다. 마지막으로 갈색지방으로 유도하는 효능을 확인하기 위해 UCP-1의 발현과 미토콘드리아 양을 면역형광염색법으로 확인한 결과 SliMax가 지방세포의 UCP-1의 발현과 미토콘드리아 양을 증가시켰다. 결과를 종합해볼 때, 천연 유래 혼합물인 SliMax는 지방 분화억제와 지방분해 촉진을 통해 지방구의 형성을 억제하고, 열 생산과 에너지 소비와 관련된 갈색지방화 촉진 기능을 가져 항비만 소재로의 가능성을 가진다.

석탄 화력발전소에서 발생되는 석탄회 특성과 형성 분석에 관한 연구 (Physical, Morphological, and Chemical Analysis of Fly Ash Generated from the Coal Fired Power Plant)

  • 이정언;이재근
    • 에너지공학
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    • 제7권1호
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    • pp.146-156
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    • 1998
  • 석탄을 연소한 후 형성되는 석탄회는 미세한 분말상태로 입자의 형상은 다공성이며 단단한 구형입자로 이루어져 있다. 본 연구에서는 국내 발전소에서 생성된 9종의 석탄회의 물리적, 형태적 및 화학적 조성 분석을 통해 국내 석탄회 데이터 베이스화, 연소효율 개선, 석탄회 집진설비인 전기집진기의 성능향상과 석탄회의 재활용에 기여하고자 한다. 석탄회의 물리적 특성은 입도분포와 비중을 입자카운터와 한국공업규격(KS L-5110)에 따른 비중 측정계를 이용하였으며, 형태적 특성은 입자의 구형성 정도, 표면특성 그리고 색상변화 등을 전자현미경(SEM)과 광학현미경을 이용하였다. 그리고 화학적 특성을 파악하기 위해 유도결합 플라즈마방출 분광기(ICP)와 에너지스펙트럼 분석기(EDXA)를 이용하여 석탄회의 구성성분을 분석하였고 한국공업규격 KS L-5405에 따른 석탄회에 함유된 미연탄소분을 측정하였다. 삼천포 화력발전소 전기집진기에서 포집한 석탄회에 대한 질량평균입경은 각각 15~25 $\mu\textrm{m}$로 나타났다. 석탄회 입자의 형상은 석탄 입자가 보일러의 연소 영역에 노출되는 정도에 따라 구형성, 투명성 및 색변화가 다양하게 나타나는데 완전 연소에 가까울수록 무색의 구형입자가 형성되었다. 석탄회는 보일러 내의 연소 조건과 원탄의 성분에 따라 구형, 무정형, Cenosphere 그리고 Plerosphere와 같은 유형의 입자를 형성하며 입자간의 상호 작용에 의해 집괴, 응집 그리고 결정형의 입자군들을 형성한다. 석탄회는 산회광물질로 이루어져 있으며 주성분 SiO2, Fe2O3, Al2O3로 약 85% 이상을 차지하였으며 10% 정도는 미연탄소분으로 이루어져 있었다.

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비균질성 석출물 의 응력장 과 변형에너지 I (Stress Field and Deformation Energy of Inhomogeneous Preeipitates)

  • 최병익;엄윤용
    • 대한기계학회논문집
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    • 제9권1호
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    • pp.31-39
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    • 1985
  • 본 연구에서는 비등방성 기재 안에 있는 두개의 비등방성 구형석출물에 대한 보다 일반적인 해법이 다루어진다. Green함수와 석출물의 특성함수(characteristic function)을 이용하여 변형도에 대한 적분방정식이 유도되었으며, Taylor급수를 이용 한 근사해가 얻어졌다.이 방법은 어떠한 대칭성도 필요로 하지 않으므로 석출물의 크기나 재질 등이 서로 다른 경우에 적용될 수 있으며 급수전개하는 점을 옮김으로써 기존의 연구에서보다 더욱 정확한 해를 얻을 수 있다. 또한 특성함수의 중첩이 가능 함을 이용하면 이 방법은 세개 또는 그 이상의 석출물을 갖는 계(system)에도 적용될 수 있다.

태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO2 박막의 특성

  • 박철민;정호성;이재형;박용섭
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.479.2-479.2
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    • 2014
  • 자가 세정 및 김서림 방지가 가능한 투명 코팅 소재로써 $TiO_2$ 코팅박막을 제안하였으며, $TiO_2$ 코팅박막은 스퍼터링 방식으로 제작하였다. 낮은 표면 에너지를 갖는 물질을 화학적으로 변형시키고 유리기판 위 텍스쳐링을 형성함으로써, 수분에 대해 완전히 다른 특성을 갖는 표면을 유도하며, 김서림 방지 기능과 자가세정, 그리고 높은 빛 투과 특성으로 스마트 표면 코팅을 구현할 수 있다. $TiO_2$ 자가세정 코팅기술은 설치 후 1년 안에 먼지 및 오염에 따라 최대 40%의 효율 저하가 나타나는 태양전지, 디스플레이 패널 분야에서 매우 중요한 요소로 자리 잡을 것으로 기대되어진다. 본 연구에서는 $TiO_2$ 세라믹 타겟이 부착된 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 $TiO_2$ 박막을 증착하였으며 증착되어진 $TiO_2$ 박막의 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성을 고찰하였다. 광촉매 특성으로는 표면 접촉각 분석을 통하여 고찰하였으며, 트라이볼로지 특성으로는 경도, 잔류응력, 마찰계수, 표면 거칠기 등을 평가하였다. 또한 XRD, FESEM 분석등 구조분석을 통하여 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성등과의 연관성을 규명하였다.

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항공산업에 활용되는 무선인식 기반 시스템 인증 방안 (A Study on certification plan on Radio Frequency Identification for Airplane Use)

  • 한상호
    • 항공우주기술
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    • 제7권1호
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    • pp.236-244
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    • 2008
  • 항공 수하물과 항공화물 컨테이너 등의 관리에 활용되고 있는 RFID는 항공기 장착 부품의 부품관리로 그 이용이 시도되면서 항공기 정비이력관리 등 정비업무에도 활용되는 등 항공업무에 그 활용도가 확산이 되고 있다. 그러나 RFID 태그와 리더기의 사용시 무선주파수 에너지 방출로 항공기의 운항에 대한 안전성 문제가 대두되고 있다. RFID 장치의 작동으로 미약한 전자파이긴 하지만 자유공간으로 방사되어 운항중인 항공기 내부의 신호를 전송하는 배선에 유기될 경우 장애가 우려되는 것이다. 그러므로 필수장비와 치명장비로 분류되는 항공기 전자장비 및 시스템에 대한 장애 평가를 사전에 필수적으로 수행 하여야 RFID 장치의 사용으로 인한 안전문제를 해결해 나갈 수 있다.

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샤논 정보이론의 상관성 동기에 관한 연구 (A Study on the Relative Motivation of Shannon's Information Theory)

  • 이문호;김정수
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제21권3호
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    • pp.51-57
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    • 2021
  • 본 논문에서는 샤논 정리(1948)의 동기가 되는 아인슈타인 특수상대성이론(1905)과 베르누이 유체역학(1738)의 상관성을 AB=A/A=I Dimension 관점에서 유도했고 샤논 정리 채널코드를 시뮬레이션했다. 베르누이 유체역학 ΔP=pgh를 한라산 화산 Magma 폭발식으로 적용했을 때 Dimension과 높이가 실측치와 일치했다. 아인슈타인 특수상대성이론과 샤논의 정보이론, 그리고 유체역학의 연돌효과(Stack Effect) 이론의 관계를 분석해 보고 화산 폭발의 관계를 수학적으로 증명했다. 아인슈타인, 베르누이의 에너지보존과 질량보존은 샤논 정리에서는 대역폭과 power의 효율면과 같았다.

가상 Frisch-그리드를 이용한 CdZnTe 감마선 소자 제작 (Fabrication of Virtual Frisch-Grid CdZnTe ${\gamma}$-Ray Detector)

  • 박찬선;김필수;조평곤;김정민;최종학;김기현
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제37권4호
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    • pp.253-259
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    • 2014
  • Traveling heater method(THM) 방법을 이용하여 성장시킨 CdZnTe(CZT) 단결정 방사선 소자에 대한 고에너지(high energy) 감마선 에너지 분해능(energy resolution)을 평가하고자 $6{\times}6{\times}12mm^3$ 크기의 CZT 소자를 제작하였다. 두꺼운 방사선 소자의 경우, 전자에 비해 상대적으로 이동속도가 느린 정공(hole)으로 인해 발생하는 hole-tailing 효과가 심화되어 고에너지 영역의 에너지 분해능이 저하되는 현상이 발생한다. 전자(electron)와 정공(hole)의 두 개의 전하 운반자(charge carrier) 중에서 하나의 전하 운반자를 선택적으로 수집하여 에너지 분해능을 높이는 것이 가능하다. 가상 Frisch-그리드(virtual Frisch-grid) 소자는 소자 내부의 가중 퍼텐셜(weighting potential)을 조절하여 전자에 의한 유도전류(induced current)만을 선택적으로 이용하는 방법으로써 제작 과정과 적용이 용이하다. 본 연구에서는 THM 방법으로 성장한 큰 부피의 CZT 방사선 소자의 특성과 가상 Frisch-그리드의 효용성을 평가하였다. 가상 Frisch-그리드의 적절한 위치와 너비는 Maxwell ver.14(ANSYS, 미국)를 이용하여 모의실험으로 정하였다. $^{137}Cs$ 동위원소를 이용한 펄스 높이 스펙트럼(pulse height spectrum) 측정에서 가상 Frisch-그리드를 적용했을 때 662 keV 피크에 대해 2.2%의 에너지 분해능을 확인할 수 있었다.