BCl$_3$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구

• 김경남;김동우;정창현;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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  • pp.160-160
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  • 2002
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약한 외부자기장이 인가된 유도결합형 플라즈마에서 m=0와 m=1 wave mode를 갖는 plasma wave의 특성 연구

• 이강일;김상진;노태협;김곤호
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
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  • pp.170-170
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  • 2001
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자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구

• 남욱준;이용혁;강민구;박형호;윤종구;김정훈;황기웅;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.158-158
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  • 1996
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유도결합형 화학기상증착법을 이용한 탄소 나노튜브의 합성과 전계 방출 특성 연구 (A Study on the Synthesis and Field Emission Property of Carbon nanotubes Using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition)

• 김광식;류호진;장건익;이내성
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.68-68
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  • 2001
• PDF

유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상 에 관한 연구

• 김현수;남욱준;김정훈;이호준;주정훈;황기웅;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.100-100
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  • 1995
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유도결합형 HBr/$Cl_2$ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구

• 이영준;이주훈;안경준;이주욱;이정용;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.230-230
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  • 1997
• PDF

유도결합형 BC13/HBr/Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구

• 이효영;김동우;정창현;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
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  • pp.215-215
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  • 2003
• PDF

자장 인가된 $SF_6$계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

• 경세진;김동우;이효영;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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  • pp.206-206
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  • 2003
• PDF

대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구

• 정승재;김경남;이영준;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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  • pp.207-207
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  • 2003
• PDF

유도결합형 플라즈마를 이용한 ITO 식각 특성 (Etch characteristics of ITO using inductively coupled plasmas)

• 박준용;김정식;김현수;염근영
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 1999년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.62-63
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  • 1999
• PDF

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