Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

BCl$_3$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구

  • 김경남 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 정창현 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과)
  • Published : 2002.02.19
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Abstract

Keywords