BCl$_3$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구

  • 김경남 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 정창현 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 금속 재료공학부 재료공학과)
  • 발행 : 2002.02.19