유도결합형 HBr/$Cl_2$ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구

• 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이주훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 안경준 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이주욱 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
• 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과)

• Published : 1997.02.01

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