• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2014.02a
• /
• pp.239.2-239.2
• /
• 2014

태양전지의 전면전극과 웨이퍼의 접촉저항은 태양전지의 효율을 저하시키는 원인이 된다. 전면전극과 웨이퍼의 접촉저항을 감소시키는 공정으로써 선택적 에미터 도핑이 널리 적용되고 있다. 선택적 에미터 도핑은 태양전지의 전면전극 하부에 고농도 도핑을 함으로써 전극과 웨이퍼의 접촉저항을 감소시켜 태양전지의 효율상승을 유도한다. 이러한 선택적 에미터 도핑은 주로 고가의 레이저 장비가 요구 되어 생산단가가 높으며 웨이퍼의 구조적 손상을 야기한다. 본 연구에서는 고가의 레이저 장비를 플라즈마 제트 장치로 대체함으로써 생산단가를 낮추고자 한다. 도펀트가 도포된 웨이퍼에 플라즈마 제트를 조사하면 플라즈마 전류 흐름에 의한 저항 열이 발생한다. 발생된 열에 의해 도펀트가 웨이퍼에 확산되어 도핑된다. 플라즈마 제트로 구성된 선택적 에미터 도핑 장비 개발을 위한 기초 특성을 조사한다. 플라즈마 제트의 전류량의 변화에 따른 웨이퍼의 온도 특성과 도포된 도펀트 용재의 인산 함유량에 따른 도핑 깊이를 조사한다. 또한 선택적 에미터 도핑의 생산성을 향상시키기 위해 다중 채널 플라즈마 제트 장치를 구성하여 특성을 조사한다. 각 채널의 플라즈마 제트의 선폭과 전류량이 적절한 균일도를 갖도록 한다. 도핑 프로파일은 이차 이온 질량분석법을 통해 분석한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2018.06a
• /
• pp.46-46
• /
• 2018

메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

• Journal of Service Research and Studies
• /
• v.5 no.1
• /
• pp.57-70
• /
• 2015

This paper develop curnel based high speed packet filtering imbedded gateway and firewall using cloud database. This study develop equipment include of predict function through bigdata analysis using cloud system. This equipment include intrusion prevention for network attack, and include system security function of L7 switch based contents. This study can improve security level of little company and general family. This study can pioneer a new market. This study can develop high perfomance switch and replacement of existing security equipment. This study proposed new next generation algorithm for constuction of high performance system from low specifications.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
• /
• v.23 no.10
• /
• pp.21-31
• /
• 2022

Prospecting ice on Moon requires drilling systems to obtain subsurface samples and measure composition of ice deposits. Landers and rovers need to be equipped with drilling equipment in order to analyze the ice and subsurface resources located at the poles of Moon. These devices must be small, lightweight, low-power, highly efficient and high-performance units in order to function properly under the extreme conditions of the lunar environment. Researchers have developed a prototype drilling apparatus that is able to operate in atmospheric and cold environments. Newly developed drilling system in Korea, which is capable of performing not only sampling but also subsurface investigation, is introduced.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
• /
• v.23 no.7
• /
• pp.11-20
• /
• 2022

Planetary geotechnical investigation in charge of drilling and soil sampling is of a great importance in providing extraterrestrial geotechnical information. Extraterrestrial subsurface investigation, which includes drilling, soil sampling, and sample transportation, will be loaded in a lander or a rover. Scientists from all over the world are interested in the design and development of a drilling system with various functions due to potential applications in planetary surface exploration mission. However, it is difficult to build a fully functional drilling system in extreme environment conditions. This paper presents engineering considerations for the design and development of soil sampling including drilling and performance verification in extreme environment conditions in detail.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
• /
• 2017.05a
• /
• pp.473-473
• /
• 2017

최근 광역 및 국지적 호우의 발생빈도 증가로 인해, 능동적 대응 기술 개발과 실용화가 필요하다. 홍수재해 관련정보의 경우 전문기관 및 정부부처를 위한 홍수정보 표출 시스템은 구축되어 있다. 그러나 홍수재해의 분석, 모니터링, 예경보 시스템 구축 등 홍수정보 요소기술의 웹기반 실시간 홍수 예측시스템 연계가 미흡하다. 이에 홍수 예측 및 조절 등 다양한 정보의 연계 및 공동 활용요구가 증가되고 있으므로 각각의 정보를 실시간으로 분석하고 모니터링 할 수 있는 체계를 수립하고 통합 정보시스템 기반을 마련해야할 필요가 있다. 국내에서 수재해의 광범위한 관측과 정확한 평가 및 예측을 위해 위성 레이더 및 관측장비 자료를 활용한 시스템 구축에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이와 관련하여 위성 레이더 및 관측장비 분야별 시스템들을 연계하여 통합 홍수 정보 시스템 구축방안을 제시하고자 한다. 이를 위해 위성 레이더 및 관측장비 기반 TRMM, GPM 등의 위성강우, AWS, 고정밀 소형 레이더, UAV를 이용한 실시간 모니터링 등의 관측 자료를 수집이 필요하다. 그리고 홍수를 감시 평가 예측 등에 필요한 강수량, 수위, 토양수분, 하천범람범위 등의 수문정보를 분석 평가하는 효율적인 광역 및 국지적 홍수 대응 관리체계를 구축해야 한다. 이에 본 연구에서는 광역 및 국지적 홍수 피해 범위와 규모 등을 평가 산정하고 정확히 예측하기 위해 국내에서 활용되고 있는 위성 레이더 및 관측장비 기반의 기술들을 연계 활용하여 시스템을 구축하고자 한다. 먼저, 시스템에서 고정밀 소형레이더 기반 강우추측을 통해 수문정보와 연계하여 레이더 관측지역에 대한 국지적 호우 및 침수 예측을 할 수 있다. 또한 위성 및 관측장비 기반 위성영상을 통해 침수지역 분석 및 위성강우를 평가하여, 광역 홍수재해 및 침수지역을 분석할 수 있다. 추가적으로 UAV 관측장비를 활용하여 하천의 홍수범람범위를 관측하여 침수지역 분석에 대한 정확도를 높일 수 있다. 이와 같은 광역 및 국지적 홍수 정보를 체계적으로 감시 평가 예측 할 수 있는 통합적인 홍수 대응 및 관리 시스템 구축으로 연간 홍수 피해규모 저감을 위한 선제적 대응 관리 시스템으로 활용될 것으로 기대된다. 또한 이를 통해 홍수 관련 정보를 분석 관리 할 수 있는 수자원 분야에 혁신적인 시스템을 확보하는 소중한 토대가 될 것으로 사료된다.

• ETRI Journal
• /
• v.10 no.3
• /
• pp.230-241
• /
• 1988

XPS는 표면과 계면의 구성원소 및 화학적 결합상태를 밝혀내는 기술로서 반도체 소자제조의 주된 단위인 박막의 연구에 중요하게 이용되고 있다. 본 고에서는 XPS의 분석원리, 장비의 구성 등에 대해 설명하고 XPS의 특성을 잘 활용한 반도체 표면연구에의 응용사례를 소개한다. .

• Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
• /
• 2009.04a
• /
• pp.226-229
• /
• 2009

굴삭기는 다양한 산업 분야에서 폭넓게 이용되고 있는 대표적인 장비임에도 불구하고 작업 환경은 매우 열악하여 굴삭 조종자는 각종 소음이나 진동, 분진에의 노출뿐만 아니라 산업재해의 위험성 또한 높다. 이러한 문제점들을 타개하기 위하여 현재 국내에서는 2006년부터 지능형굴삭시스템(Intelligent Excavating System)에 의한 자동화된 굴삭기의 개발을 위하여 연구를 진행 중에 있다. 자동화 굴삭시스템 구축에 있어서 센싱(sensing)을 통해 획득된 지형 및 주변 환경정보를 활용하여 숙련공의 휴리스틱스(heuristics)를 바탕으로 설계된 모듈을 통해 최적의 굴삭 작업 계획을 세우고, GUI (Graphic User Interface)를 제공하여 실시간 작업진행 상태 파악 및 모니터링(monitoring) 내용을 굴삭기 조종자와 공사 감독관에게 제공하는 Task Planning System의 개발은 생산성, 안전성, 작업의 품질 및 장비의 성능에도 지대한 영향을 미치며 자동화된 굴삭시스템을 개발함에 있어서 필수적으로 요구되어지는 핵심기술이다. 본 논문에서는 자동화 굴삭시스템을 위한 자동화 계획생성 시스템인 Task Planning System의 현재까지 진행된 연구 내용과 모니터링 및 작업에 대한 최소간섭을 위한 Task Planning System Interface를 소개한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
• /
• 2007.12a
• /
• pp.19-21
• /
• 2007

우리나라 조선산업은 생산성 향상을 통한 건조척수의 증가를 통하여 일본과 더불어 세계 $1^{\sim}2$위의 시장 점유율을 기록하는 등 세계 최고의 수준이다. 그러나 국내 중소형 조선소나 조선기자재업체의 경우에는 기술 인력의 부족으로 인하여 독자적인 기술의 확보와 기술개발 여건이 마련되어 있지 않은 상황이다. 특히, 구명정(Life boat)은 선박의 비상 탈출 장비로써 법적으로 의무 설치가 강제화 되어 있는 선박 안전에 있어 필수적인 장비로서 수요도 꾸준히 증가하고 있으나, 국내의 구명정 제작업체로는 현대라이프보트가 유일하며 2004년 기준 국내 신조선박에 탑재되는 수량의 25%, 세계시장의 4% 만을 공급하고 있다. 이외의 수량은 $7^{\sim}8$ 개의 유럽 등 외국업체와 중국업체들이 제작, 공급하는 실정이다. 이에, 본 연구에서는 구명정의 신선형 개발과 선형시험 통한 성능 검증 및 품질 향상과 풍수절감을 위한 생산성 향상 방안, 기존 몰드 개선 방안 연구 등을 수행하고 시제선을 건조하여 저가의 외국 구명정에 대응하여 국내 구명정 기술 경쟁력을 향상시킬 수 있는 전폐형 구명정의 국산화를 달성하였다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
• /
• v.35 no.10
• /
• pp.875-883
• /
• 2007

The objective of this research was to develop a coaxial rotor MAV which is suitable for a indoor reconnaissance mission. Preliminary design parameters were determined, based on the dimensions of other reference MAVs. The designed rotor performance was estimated by Blade Element Momentum Theory, and the analyses were compared against the measurements. Stability and vibration issues of the prototype were circumvented by making parts of vehicle with NC machine, as well as equipped with teetering rotor and stabilizer. The designed coaxial rotor MAV showed successfully flight equipped with video camera. However, it was founded that further research activities should be focused on efficient rotor design to obtain better performance.