ETRI Journal

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)
권호 표지

반도체기술 개발을 위한 XPS의 이용

  • Published : 1988.10.01
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Abstract

XPS는 표면과 계면의 구성원소 및 화학적 결합상태를 밝혀내는 기술로서 반도체 소자제조의 주된 단위인 박막의 연구에 중요하게 이용되고 있다. 본 고에서는 XPS의 분석원리, 장비의 구성 등에 대해 설명하고 XPS의 특성을 잘 활용한 반도체 표면연구에의 응용사례를 소개한다. .

Keywords