이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교 (Comparion of models and boundary conditions in fluid simulation of high density Inductively Coupled Plasma Sources included ion temperature equation)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1924-1926
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- 2004