Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2004.07c
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- Pages.1924-1926
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- 2004
Comparion of models and boundary conditions in fluid simulation of high density Inductively Coupled Plasma Sources included ion temperature equation
이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교
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Kwon, Deuk-Chul
(Chungbuk National University)
;
- Yu, D.H. (Chungbuk National University) ;
- Lee, J.K. (Chungbuk National University) ;
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Yoon, N.S.
(Chungbuk National University)
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Kim, J.H.
(Korea Research Institute of Standards and Science)
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Shin, Y.H.
(Korea Research Institute of Standards and Science)
- Published : 2004.07.14
Abstract
여러 그룹의 연구 결과로서 고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위해 다양한 경계 조건을 포함한 여러 가지 모델이 제시되어 왔다. 본 연구에서는 가능한 모델들과 경계 조건을 설정하여 FDM(finite difference method), up wind scheme, power-law scheme, die1ectric relaxation scheme[1]을 기반으로한 1차원 시뮬레이션을 통해 정확성과 수치 해석적 안정성 및 효율성 연에서 비교, 검토하였다.
Keywords