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RF 스퍼터법에 의한 $Sr_2FeMoO_6$ 박막 제조 (Fabrication of $Sr_2FeMoO_6$ thin films by RF Sputtering)

  • 유희욱;선호정
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.24-24
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    • 2010
  • 대형구조물의 구조안정성 진단, 로봇과 같은 지능기계의 제어, 환경오염을 감지하기 위한 센서의 중요성은 날로 증대되고 있다. 이러한 센서의 감도와 성능을 높이기 위해서 소형화, 다기능화, 집적화가 요구되고 있는데, 고성능 센서소자들의 집적화를 위해서 기존에 적용된 벌크형태의 재료들을 박막화하여 다층적층 및 소형화할 필요가 있다. 집적화 센서의 구현에 있어서 전극박막은 센서의 특성을 좌우하는 중요한 역할을 한다. 일반적으로 금속박막이 전극으로 사용되고 있으나 열적 불안정성 및 박리현상의 문제점을 지니고 있다. 따라서 이를 해결하기 위해 전도성산화막을 전극으로 적용하고자하는 연구가 요구되고 있다. 전도성산화막을 전극으로 적용하면 센서소자의 성능이 개선되는 경향이 있다. $Sr_2FeMoO_6$(SFMO) 산화물은 자기장을 인가했을 때 저항이 감소하는 CMR(colossal magnetoresistance) 물질이며 상온비저항이 낮은 것으로 알려져 있다. 이중 페롭스카이트 (double perovskite) 구조를 갖는 $Sr_2FeMoO_6$ 박막은 센서소자의 전극으로 적용 가능할 것으로 생각되어 박막을 제조하고자 하였으며 미세구조와 전기전도 특성을 조사하였다. 박막제조를 위해서는 RF 스퍼터법을 사용하였다. 스퍼터를 위한 타겟은 고상반응법으로 분말타겟을 제조하였다. Ar/$O_2$ 가스 유랑변화, 압력변화, 기판 온도변화가 박막의 상형성 등 박막특성에 미치는 영향을 조사하였다. 기판으로는 $SiO_2$(100nm)/Si 기판을 사용하였다. 증착직후에는 비정질막이 얻어졌으며 SFMO 상을 만들기 위해서는 후열처리가 필요하였는데, 환원성 가스 분위기 [$H_2$(5%)/Ar] 에서 열처리 조건을 최적화하여 이중 페롭스카이트 구조의 단일상 박막을 제조할 수 있었다. SFMO 단일상 박막은 증착시에나 후열처리 시 산소의 억제가 중요함을 알 수 있었다.

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RF 스퍼터법을 이용한 Li2MnSiO4 리튬 이차전지 양극활물질 박막 제조 및 전기화학적 특성 (Fabrication of Li2MnSiO4 Cathode Thin Films by RF Sputtering for Thin Film Li-ion Secondary Batteries and Their Electrochemical Properties)

  • 채수만;심중표;선호정
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제30권7호
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    • pp.447-453
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    • 2017
  • In this study, $Li_2MnSiO_4$ cathode material and LiPON solid electrolyte were manufactured into thin films, and the possibility of their use in thin-film batteries was researched. When the RTP treatment was performed after $Li_2MnSiO_4$ cathode thin-film deposition on the SUS substrate by a sputtering method, a ${\beta}-Li_2MnSiO_4$ cathode thin film was successfully manufactured. The LiPON solid electrolyte was prepared by a reactive sputtering method using a $Li_3PO_4$ target and $N_2$ gas, and a homogeneous and flat thin film was deposited on a $Li_2MnSiO_4$ cathode thin film. In order to evaluate the electrochemical properties of the $Li_2MnSiO_4$ cathode thin films, coin cells using only a liquid electrolyte were prepared and the charge/discharge test was conducted. As a result, the amorphous thin film of RTP treated at $600^{\circ}C$ showed the highest initial discharge capacity of about $60{\mu}Ah/cm^2$. In cases of coin cells using liquid/solid double electrolyte, the discharge capacities of the $Li_2MnSiO_4$ cathode thin films were comparable to those without solid LiPON electrolyte. It was revealed that $Li_2MnSiO_4$ cathode thin films with LiPON solid electrolyte were applicable in thin film batteries.

Fe ion을 주입한 1.55$\mu\textrm{m}$ MQW 레이저 다이오드의 전기적 절연 특성

  • 강병권;김태곤;박윤호;우덕하;이석;김선호;강광남;송종한;황정남;박승한
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.91-91
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    • 1999
  • 광소자 기술은 정보 전달 및 저장 기술의 지속적인 증가 요구에 따라 발전을 거듭하여 왔다. 특히 광통신 및 저장 기술에서 광원으로 사용되는 레이저 다이오드는 안정되면서 쉽게 제작할 수 있어야 한다. 이온 주입 방법은 반도체 공정에서 광범위하게 사용되는 공정이며 이미 소자측면에서 안정성이 확보되었다고 볼 수 있으나 대부분 메모리 등의 실리콘 반도체에서 이용되어 왔다. 최근에는 화합물 반도체 분야에서도 적용하는 예가 증가되고 있으나 광원으로 사용되는 레이저 다이오드의 경우는 우수한 품질의 반도체 층이 요구되며 따라서 damage가 큰 이온 주입 방법을 이용한 연구는 아직 많이 이루어져 있지 않다. 본 연구에서는 레이저 다이오드 구조의 성장측에 국부적으로 Fe 이온을 주입하여 도파로를 형성하여 광을 구속하여 도파시키는 동시에 전기적으로도 도파로 부분으로만 다이오드가 형성되도록 하고자 한다. 먼저 p층의 전기적 절연에 필요한 조건을 확보하기 위하여 CBE를 사용하여 Fe가 doping 된 SI-InP wafer 위에 p-InP (Be:5x1017 cm-3)층을 1.2$mu extrm{m}$ 성장한 후 ohmic 층으로 p-InGaAs (Be:1x1019 cm-3)을 0.1$\mu\textrm{m}$ 성장한 시료에 고에너지 이온 주입 장치를 사용하여 Fe 이온을 1MeV, 1.6meV의 에너지에 각각 1x1014cm-2, 2x1014cm-2 의 dose로 전면에 implant 하였다. 이 시료를 tube furnace에서 500, 600, $700^{\circ}C$각각 10분씩 annealing 한 후 재성장을 확인하기 위하여 DCXRD을 측정하였다. 그림 1은 DCXRD rocking curve로 annealing 하기 전 후의 In rich에서 side peak의 감소를 확인 할 수 있었는데 이는 damage가 어느 정도 복구되었음을 의미한다. 또한 절연 특성을 확인하기 위하여 ohmic metal을 증착하여 Hall 효과를 측정하였다. 그림 2에 보이는 것과 같이 annealing 온도가 증가함에 따라 면저항이 크게 증가함을 볼 수 있으며 이온 주입하기 전의 시료에 비해 104 이상의 저항을 갖을 수 있다. 향후 이러한 결과를 바탕으로 1.55$\mu\textrm{m}$ LD 구조에서 발진 특성을 관찰할 계획이다.

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NaxWO3 (x= 1, 0.75) 박막 제조 및 전기전도 특성 (Preparation of NaxWO3 (x= 1 and 0.75) Thin Films and Their Electrical Conduction Properties)

  • 이승현;선호정
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제25권8호
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    • pp.602-610
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    • 2012
  • The powders for the $Na_xWO_3$ (x= 1 and 0.75) sputtering targets were synthesized by the calcination in reductive atmosphere. Near single-phase $NaWO_3$ and single-phase $Na_{0.75}WO_3$ powder targets were prepared. By using the targets, thin films of each composition were deposited by rf magnetron sputtering on the $SiO_2$ (100 nm)/Si substrates and annealed by RTP (rapid thermal processing) for crystallization. In the case of the $NaWO_3$ composition, single-phase $Na_xWO_3$ thin films, where x was believed to be slightly less than 1, were fabricated accompanying the Na-diffusion into the substrates during RTP. However, in the case of the $Na_{0.75}WO_3$ thin film preparation, it was unable to make single-phase thin films. From the phase formation behaviors of both powders and thin films, it was revealed that $Na_xWO_3$ with nonstoichiometric composition of x, which was slightly less than 1, was favorable. The good electrical conduction properties were obtained from the single-phase $Na_xWO_3$ thin films. Their electrical resistivities were as low as $7.5{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$.

노내 핵계측 계통 구동기기의 전자식 한계스위치 개발 (Development of Electronic Limit Switch for the Drive Unit of Incore Detector System Application)

  • 박종범;양승권;이상효
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.1-7
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    • 2000
  • 본 논문에서 원전의 핵연료 다발의 중섬자속을 측정할 수 있는 노내중성지속 감시계통의 구동모터를 제어하기 위한 스위치의 오동작 원인 분석 및 이 문제를 해결하기 위한 방안을 제시하고자 한다. 노내중성자속 감시계동은 검출기 안내관을 통해 검출기가 노심으로 삽입되거나 인출될 경우 접점선호를 발생하는 기계식 스위치레버를 장착하고 있다. 그러나 기계적인 열화나 환경적인 요인에 의해 기계식 스위치레버의 특성이 점점 변화되어 마침내 잘못된 접점신호를 발생하게 된다. 그러므로 아들 문제 해결을 위해 기계식 스위지 대선 전자식 스위치를 검출기 안내관 밖에 배치하였고, 공진효과를 이용하여 점점신호를 발생하는 회로개선과 소음 및 전기적 방해를 방지하기 위한 콘데서를 전자회로 전원 입력측에 설치하였다. 이러한 개선을 완료한 후, 여러 조건하에서 이 향상된 스위치 제어회로를 반복적으로 시험하였는데, 결국 이를 통해 원하는 접점신호를 얻게되었을 뿐 아니라 발전소 정상운전 중에 관련시스템의 주기시험을 통해서도 검출기 접점 오동작 신호가 발생되지 않음울 확인할 수 있게 되었다.

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AFM 기반 Pulse 를 이용한 전기화학적 가공 (Localized Oxidation of (100) Silicon Surface by Pulsed Electrochemical Processes Based on AFM)

  • 이정민;김선호;박정우
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제34권11호
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    • pp.1631-1636
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    • 2010
  • 본 연구는 AFM 을 이용하여 nano scale 의 Lithography 를 구현하는 것이다. 외부의 pulse generator 를 통하여 전류를 통전 시키는 방법을 수정함으로써, 일정 습도를 유지한 상태의 AFM 내부에서 Si-wafer 의 표면과 Tip의 사이에 전원을 인가하고 pulse generator 에서 임의로 pulse 폭의 변화를 준다. Si-wafer 표면에서 물 분자가 Tip과 wafer 사이의 직접적인 전류의 이동조절로 인해 전기 화학적 반응을 적절히 제한하여 산화물을 생성시키는 방법이다. 이렇게 생성된 산화물은 불산 처리를 통하여 산화물을 식각시켜 미세 그루브를 구현 할 수 있다. 본 연구를 통한 나노 패턴 생성 기법은 나노 머시닝 기술의 진보에 잠재적 가능성을 제시한다.

저압차단기 규격동향 및 IEC SC17B, SC17D 활동에 관한 고찰 (Trends in standards of low voltage circuit breaker and activities of IEC SC17B, SC17D)

  • 이동준;노창일;정흥수;김선구;김원만;김선호;김철환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.951-952
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    • 2007
  • International Electrotechnical Commission (IEC)은 국제 규격을 제 개정하는 단체로서, 1906년에 설립된 조직이다. 2006년 말 기준으로 67개국의 회원 국가를 보유하고 있으며 총 5,613개의 규격을 제 개정하고 있다. IEC는 많은 수의 규격을 제 개정하기 위하여 100개의 Technical Committee (TC)와, 각 TC 산하에 Subcommittees(SC)를 두고 있다. SC는 다시 산하에 Working group(WG)을 두어 실제적으로 해당 국제규격의 제 개정은 바로 이 WG에서 작업을 하게 된다. 본 논문에서는 IEC TC17내의 SC17B와 SC17D의 구성, 현황 및 활동과 현재 진행되고 있는 저압차단기의 규격동향에 대하여 고찰하였다. IEC TC17은 차단기, 개폐기(스위치), 단로기, 버스관로 및 배전반등과 관련된 IEC 규격의 제 개정을 담당하고 있다. TC17 산하의 SC17B는 저압 차단기, SC17D는 저압배전반제품과 관련된 규격을 관리하고 있다. 한국은 SC17B와 SC 17D의 P-member(Participant)로서 투표권을 갖고 있으며, 한국전기연구원이 운영간사를 맡고 있다. 현재 국내기업체 전문가와 연구원들의 의견을 수렴하여 국가의견으로서 IEC에 제출하고 있지만 앞으로 더 많은 전문가들의 참여가 시급한 실정이다.

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Categorized 가변 스텝 사이즈 LMS 알고리즘 (Categorized VSSLMS Algorithm)

  • 김선호;전상배;임준석;성굉모
    • 한국음향학회지
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    • 제28권8호
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    • pp.815-821
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    • 2009
  • 소음이 존재하고, 신호의 전달 시스템이 가변적인 환경에서 신호처리는 일반적으로 적응 알고리즘에 의해 이뤄진다. 다양한 적응 알고리즘들 중에서 LMS 알고리즘은 연산량이 적고, 구현이 쉬우며, 성능이 훌륭해 가장 널리 쓰이는 알고리즘이 되었다. LMS 알고리즘의 성능에 영향을 미치는 가장 중요한 요소 중 하나가 Step Size이다. 일반적으로, Step Size가 크면, 알고리즘 수렴 속도는 빨라지지만, 수렴 오차는 커지게 되고, Step Size가 작으면 수렴 오차는 작아지지만, 수렴 속도는 느려진다. Step Size의 이러한 특성을 상호 보완하고자 많은 방법들이 제안되어 오고 있다. 본 논문에서는 오차 제곱 변화 곡선의 기울기로부터 현재 상태에 대한 카테고리를 분류하여, Step Size를 매 단계마다 적절하게 가변시킴으로써, 결과적으로 수렴 속도와 정확도, 연산량을 향상시킨 새로운 개념의 Categorized 가변 스텝 사이즈 LMS 알고리즘을 제시하고, 그 성능은 실험을 통하여 수렴 속도와 Excessive Mean Square Error (EMSE), 연산량의 관점에서 향상되었음을 검증하였다.

감미료의 종류를 달리한 수삼정과의 품질 특성 (Quality Characteristics of JungKwa made with Ginseng and the Effects of Different Types of Sweetners)

  • 조은희;김현아;김용식
    • 한국조리학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.248-258
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    • 2015
  • 본 연구는 수삼정과를 저열량 감미료인 자일리톨, 올리고당, 스테비오시드, 에리스리톨을 이용하여 전기밥솥으로 205분 제조하여 품질 특성을 비교하였다. 수삼정과의 수분 함량은 시료 간에 유의적인 차이를 나타내었고, 스테비오시드는 다른 시료들에 비해 수분 함량이 현저하게 높았다. 당도는 시료 간에 유의적인 차이를 보였다. 설탕으로 전기밥솥에 제조한 수삼정과의 명도와 적색도는 유의적으로 비슷한 경향을 보였으며, 자일리톨로 제조한 수삼정과의 황색도가 유의적으로 가장 낮았다. 수삼에 설탕을 넣고 제조한 대조군의 경도는 설탕으로 제조한 수삼정과가 유의적으로 가장 컷으며, 부착성은 시료 간에 유의적인 차이를 보였으나, 경도에 따른 뚜렷한 경향을 나타내지는 않았다. 탄력성은 설탕으로 제조한 것이 가장 컸고, 씹힘성은 시료 간에 유의적인 차이를 보였다. 검성은 유의적인 차이를 보이지는 않았으며, 응집성은 자일리톨과 올리고당으로 제조한 수삼정과의 응집성이 유의적으로 가장 컸다. 관능적인 특성을 검토해본 결과, 정과의 외관, 향, 맛, 종합적인 기호도에서 선호한 올리고당으로 제조한 수삼정과를 다른 대체 감미료로 만든 시료에 비해 높은 점수를 얻었으며, 정과의 윤기, 갈색의 정도, 인삼의 향, 맛도 선호하였다. 따라서 설탕을 대신하여 올리고당을 사용하여 정과를 제조하면 현대인들의 건강에 대한 염려에도 부합하는 칼로리가 낮은 정과의 제조도 가능함을 알 수 있었다.

조선전기 관경십육관변상도에 보이는 고려 전통의 계승과 변용 -정토인식과 왕생관의 변화를 통해- (Study on the Inheritance and Transformation of the Goryeo Tradition in the Illustrations of the Sixteen Contemplations of the Amitayurdhyana Sutra of the Early Joseon Dynasty -with the Focus on the Concept of Rebirth in the Pure Land-)

  • 이승희
    • 헤리티지:역사와 과학
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    • 제51권1호
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    • pp.126-147
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    • 2018
  • 조선전기 제작된 관경변상도는 전환기 조선사회의 시대상 뿐 아니라 당시 사람들의 정토인식이 화면의 구성과 도상에 잘 투영되어 미술사적, 문화사적 가치가 높다. 조선 15세기 관경변상도는 모두 3점으로 이중 1435년 <지온지 관경변상도>와 1465년 <지온인 관경변상도>는 왕실인물과 고위승려의 발원으로 조성되었다. 이 두 작품은 1323년 <지온인 관경변상도>의 구성과 도상을 계승하면서 변화시켰을 뿐 아니라 고려후기에 융성했던 천태종(天台宗)의 정토신앙경향을 계승하고 있다. 이는 고려 왕실과 귀족사회에서 선호했던 자력적(自力的)인 정토신앙의 경향이 조선의 왕실에도 이어지고 있다는 것을 말해준다. 천태사상의 영향을 받은 정토신앙은 조선전기까지 계승되어 천태종이 불교의 통폐합과정에서 선종에 흡수되기 전까지 유지되었다. 천태정토신앙의 경향은 이 두 작품이 각각 천태승 행호와 행호를 진불(眞佛)로 모셨던 왕실의 어른 효령대군이 발원하였다는 사실로도 뒷받침된다. 한편 유교를 국가의 통치이념으로 내세운 조선사회가 안정화되어 감에 따라 관경변상도를 포함한 정토불화들은 점차 변화가 생기기 시작하였다. 이러한 변화는 교학적이고 자력적인 정토인식보다는 아미타불의 힘에 의해 구원받고자 했던 타력적인 정토신앙이 확산되는 시기와 맞물린다. 변화를 명확하게 보여주는 도상이 용선접인도상이다. 자력적인 정토왕생을 좀더 가치있다고 여겼던 시기에 제작된 <묘만지 미륵하생경변상도>의 용선접인 도상에서는 부처님의 인도를 받고 있지 않다. 이에 비해 조선전기의 용선접인 도상에서는 아미타부처님이 관음, 지장, 혹은 인로왕보살등과 함께 왕생자를 이끌고 배를 타고 있는 형상으로 묘사된다. 이는 아미타불의 원력으로 극락왕생한다는 타력왕생관을 상징적으로 표현한 것이다. 조선전기 제작된 3점의 관경변상도는 유교주의 사회에서 타력적인 신앙을 선호하는 정토신앙의 변화를 잘 보여주는 불화로서 매우 의미가 크다.