Park, Chang-Hui;Kim, Dong-Hui;Choe, Seong-Won;Lee, Chang-Seok
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.81-81
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2013
반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.
Inter-Korean Cooperation in Science and Technology will contribute to building the trust between S.K and N.K as a leading factor and cut down the cost of unification by diminishing the technology lag and the gap of economic level. This study has shown that we can increase the productivity of unified Korea Innovation system if we systematically analyse the present condition of the Inter-Korean Cooperation and promote Inter-Korean Cooperation. In this study, the author analyses the present condition of the Inter-Korean Cooperation with integrated framework of three aspects to clear up the policy of Inter-Korean Cooperation. First, in the national aspect, we make use of the notion of international cooperation and multilateral mechanism of an international organization. Thereafter, we make out the alternatives in the aspects of international relationship and legal and institutional view Second, in the unification aspect, we consider the Inter-Korean Cooperation by the notion of national innovation system. Thereafter, we make out the alternative in the aspect of a phase-dependent approach. Finally, in technology aspect, we consider the Inter-Korean Cooperation by the notion of technology gap, the framework of technology transfer, and technology dependency theory. As a conclusion, through this study, the author have tried to integrate the various theoretical backgrounds. As a result, the author could analyse the present condition of ter-Korean Cooperation in Science and Technology and team a good lesson from it; Therefore, we can use it as a means of evaluation on a cooperation program and prediction for the future status of cooperation.
The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
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v.13
no.4
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pp.63-72
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2014
With the rapid development in the economy and other fields as well, the standard of living in South Korea has been improved, and consequently, the demand of automobiles has quickly increased. It leads to various traffic issues such as traffic congestion, traffic accident, and parking problem. In particular, this illegal parking caused by the increase in the number of automobiles has been considered one of the main reasons to bring about traffic congestion as intensifying any dispute between neighbors in relation to a parking space, which has been also coming to the fore as a social issue. Therefore, this study looked into Daejeon Metropolitan City, the city that is understood to have the highest automobile sharing rate in South Korea but with relatively few cases of illegal parking crackdowns. In order to investigate the theoretical problems of the illegal parking, this study conducted a decision-making tree model-based Exhaustive CHAID analysis to figure out not only what makes drivers park illegally when they try to park vehicles but also those factors that would tempt the drivers into the illegal parking. The study, then, comes up with solutions to the problem. According to the analysis, in terms of the influential factors that encourage the drivers to park at some illegal areas, it was learned that these factors, the distance, a driver's experience of getting caught, the occupation and the use time in order, have an effect on the drivers' deciding to park illegally. After working on the prediction model, four nodes were finally extracted. Given the analysis result, as a solution to the illegal parking, it is necessary to establish public parking lots additionally and first secure the parking space for the vehicles used for living and working, and to activate the campaign for enhancing illegal parking crackdown and encouraging civic consciousness.
This study identified and evaluated conditions for continued participation of private forest owners in forest carbon offset programs. The probability of continuing forest carbon offset projects, which delays greenhouse gas emissions by extending harvesting periods, increases with increasing price of carbon offset credits, public recognition of forest value, and education level. Willingness to Accept (WTA) was estimated using a Multiple Bounded Dichotomous Choice Question, which was 17,039 KRW/tCO2 for extending age to 60 years, and 23,070 KRW/tCO2 for 100 years. The following findings aim to promote participation and supply of carbon offset programs in private forests according to the study outcomes. First, introducing policies supporting private forest owners bearing opportunity costs for avoiding greenhouse gas emissions by postponing timber harvest is needed. Second, educational programs for private forest owners whose awareness of and interests in the public value of forest is necessary. Third, although having participated from the beginning of the offset program, finding ways to lead continuous participation of forest owners who are less likely to accept WTA is also necessary.
Kim, Mun-Cho;Lee, Wang-Won;Lee, Hye-Soo;Suh, Byung-Jo
Informatization Policy
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v.25
no.4
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pp.37-64
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2018
This study aims to forecast the future of the Korean society via a big data analysis. Based upon two sets of database - a collection of 46,000,000 news on 127 media in Naver Portal operated by Naver Corporation and a collection of 70,000 academic papers of social sciences registered in KCI (Korea Citation Index of National Research Foundation) between 2005-2017, 40 most frequently occurring keywords were selected. Next, their temporal variations were traced and compared in terms of number and pattern of frequencies. In addition, core issues of the future were identified through keyword network analysis. In the case of the media news database, such issues as economy, polity or technology turned out to be the top ranked ones. As to the academic paper database, however, top ranking issues are those of feeling, working or living. Referring to the system and life-world conceptual framework suggested by $J{\ddot{u}}rgen$ Habermas, public interest of the future inclines to the matter of 'system' while professional interest of the future leans to that of 'life-world.' Given the disparity of future interest, a 'mismatch paradigm' is proposed as an alternative to social forecasting, which can substitute the existing paradigms based on the ideas of deficiency or deprivation.
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.27
no.4
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pp.105-114
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2022
As the national income level is improving, housing urbanization and economic speed are progressing rapidly, household waste and food waste are rapidly increasing. The "Waste Management Act" (founded in 1991) introduced the volume-based household waste system in 1995, and even after implementation, the odor of food waste and the prompt disposal process continue to be a social problem.For this reason, the food waste recycling business is attracting attention. In this paper, regarding the role of resource recycling such as feed, compost, and other resources of food waste, this thesis aims to reduce the inefficiency of the recycling process. Data Envelopment Analysis (DEA) of the relationship between inputs and outputs of 33 facilities nationwide, excluding facility data (insufficient) among 394, (238 public, and 156 private ones), as of the end of 2020, which is running a domestic resource recycling project This study was conducted to investigate the important role in the relative management performance of food waste recycling facilities.It was hypothesized that the influence of business history, facility capacity, capital, and machinery of a company running a food waste recycling business on sales was tested.
Chulyoung, Kim;Donghyun, Lee;Donghee, Lee;Eunhye, Ham;Yonggyun, Kim
Korean journal of applied entomology
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v.61
no.4
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pp.519-528
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2022
The western flower thrips, Frankliniella occidentalis, infests the hot pepper cultivated in greenhouses and has been considered to be controlled by a natural enemy, Orius laevigatus. However, sporadic outbreaks of the thrips due to fast population growth occasionally need chemical insecticide treatments. This study was designed to develop an optimal integrated pest management (IPM) by using selective insecticides along with a safe re-introduction technique of the natural enemy after the chemical insecticide treatment. First, chemical insecticides were screened to select the high toxic commercial products against F. occidentalis. Five insecticides containing active components (pyriproxyfen+spinetoram, abamectin, spinosad, acetamiprid, and chlorpyrifos) were selected among 17 commercial products. These five selected insecticides gave different toxic properties to the natural enemy, O. laevigatus. Especially, abamectin and spinetoram gave relatively low toxicity to the natural enemy compared to organophosphate or neonicotinoid. Furthermore, the five selected insecticides were assessed in their residual toxicities against O. laevigatus. Organophosphate and neonicotinoid insecticides showed relatively longer residual toxicity compared to abamectin and spinosads. Indeed, abamectin or spinetoram did not give any significant toxicity to O. laevigatus after 3 days post-treatment. These residual effects were further supported by the assessment of the chemical residue analysis of the insecticides using LC-MS/MS. These results suggest an IPM technology: (1) chemical treatment of abamectin or spinetoram against sporadic outbreaks of F. occidentalis infesting hot pepper and (2) re-introduction of O. laevigatus to the crops after 3 days post-treatment to depress the equilibrium density below an economic injury level.
Yun, Ik Jung;Huh, Taik Nyung;Kim, Moon Kyum;Cho, Sung Young
KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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v.28
no.1A
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pp.89-94
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2008
The problem of interaction between the structures interconnected at discrete points as like composite structures, has a attracted considerable attention for a prolonged period of time. Recently, mixed structures are applied for overcoming structural limits by developed countries. In this paper, advanced connection type of mixed structures are presented by numerical approach. Also it is performed on extensive literature review from theoretical method to numerical analysis. For analysing behaviors of mixed structures according to connection type, 2 different connections and 1 reinforced connection are compared by 3D nonlinear numerical analysis. Nonlinear analysis of mixed structures is carried out by utilizing contact elements of a general purpose structural analysis computer program(ABAQUS). By using 6 criteria, each connections are investigated. From this result, proper reinforcing and well designed connection type are proposed. And results also show that the deflections which are induced by discontinuity on mixed structures, has a linear distribution that should decrease as applying proposed connection type.
This study examines the association between family policies and family gap using data for 14 OECD countries. As family policies have different assumptions about women's roles and include variant sub-policies, this study identify two distinct family policies: 'employment support policy' to support women as employed workers and 'caregiving support policy' to support women as caregivers. Meanwhile, women's wage cannot be determined by the effect of 'only' family policy. Therefore, analysis model includes variant macro structure supposed to affect women's labor status and wage, like labor market structure, wage structure(compression), women's social status and economic status, and examines interaction effects between family policies and these labor market and social structures using Fuzzy-Set Qualitative Comparative Analysis (FSQCA). The FSQCA result shows that relatively low family gap is associated with the conjunctual causation of developed 'employment support policy' and compressed wage structure.
As competition between ports intensifies, port efficiency has always been a hot topic in the port and shipping economy. Boosting regional and national economies by improving port efficiency and promoting sustainable development of ports is also a concern for port operators and local and national governments. In this situation, this study has the following objectives. First, using panel data from 2010 to 2017, the efficiency of 14 major inland ports along the Yangtze River was analyzed, and changes in port efficiency over time were examined. Second, 14 inland ports are divided into the middle, upper, and lower Yangtze River port groups to compare and review differences in efficiency levels of ports by basin. For the study, we applied a three-step DEA analysis method, which evaluated the pure relative efficiency of the port itself by removing the effects of environmental factors and statistical noise that could affect the efficiency evaluation and presented the results. As a result, it was confirmed that there was a clear difference in the efficiency value of the port between the first-stage and the third-stage efficiency evaluation result. In addition, the downstream ports showed relatively high efficiency compared to the middle and upstream ports.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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