• Journal of IKEEE
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• v.28 no.1
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• pp.46-52
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• 2024

In this study, we investigated the electrical characteristics of SiC MOSFETs by depositing Si and oxidizing it to form the gate oxide layer. A thin Si layer was deposited approximately 20 nm thick on top of the SiC epi layer, followed by oxidation to form a gate oxide layer of around 55 nm. We compared devices with gate oxide layers produced by oxidizing SiC in terms of interface trap density, on-resistance, and field-effect mobility. The fabricated devices achieved improved interface trap density (~8.18 × 10¹¹ eV^-1cm^-2), field-effect mobility (27.7 cm²/V·s), and on-resistance (12.9 mΩ·cm²).

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.11a
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• pp.30.1-30.1
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• 2009

정보화가 급속히 진전됨에 따라 보다 많은 양의 정보를 전송, 처리, 저장하게 되면서 이를 위해 대용량, 고속, 비휘발성의 특징을 갖는 차세대 메모리의 개발이 절실히 요구되고있다. 이 중 저항 변화 메모리(ReRAM)는 일반적으로 TiO2, Al2O3, NiO2, HfO2, ZrO2 등의 전이금속산화물을 이용한 MIM 구조로서 적당한 전기 신호를 가하면 저항이 높아서 전도되지 않는 상태(Offstate)에서 저항이 낮아져 전도가 가능한 상태(On state)로 바뀌는 메모리 특성을가진다. ReRAM은 비휘발성 메모리이며 종래의 비휘발성 기억소자인 Flash memory 보다 access time 이105 배 이상 빠르고, 5V 이하의 낮은 전압에서도 동작이 가능하다. 또한 구조가 간단하여 공정 단순화가 가능하고 소자의 집적화도 쉽다는 점 등 많은 장점들이 있어서 Flash memory를 대체할 수 있는 유력한 후보로 여겨지고 있다. 본연구에서는 DC-magnetron Sputtering 방법으로 전이금속 박막을 증착하고, Dry furnace로 산화시켜 전이금속산화물 박막을 제작한 후 저항변화 특성을 연구하였다. 두 개의 전이금속산화물 박막을 dual-layer로 형성시켜 저항변화특성을 관찰하였으며 또한, 전이금속산화물 박막의 조성을 달리 하여 저항변화를 관찰 하였다. 전이금속산화물 박막의 전기적 특성을 알아보기 위해 Si(100) wafer 위에 Pt를 이용 MIM 형태로 capacitor 시편을 제작 하여, probe station으로 I-V 측정을 하였고 조성 및 표면 분석을 위해서는 AES와 AFM을, 미세구조를 분석을 위해서는 TEM과 SEM 을 사용하였다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.15 no.3
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• pp.67-73
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• 2001

This paper resents a developed measuring device of resistive leakage current and a fundamental discussion of deterioration diagnosis for Zinc Oxide(ZnO) arrester blocks. We have developed the leakage current detection device for ageing test and durability evaluation for ZnO arrester blocks. The resistive leakage current can be used as an indicator to discriminate whether the ZnO arrester blocks is in good state or in bad. The resistive leakage current measuring system with the compensation circuit was designed and fabricated. The sauce tests for ZnO arrester blocks were investigated by observing the resistive leakage current together with fast Fourier transform analysis. The proposed monitoring systems for the resistive leakage current can effectively be used to investigate the electrophysical properties of ZnO arrester blocks in laboratory and to develop the techniques of forecasting the deterioration of ZnO arresters in electric power systems.

• Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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• v.2 no.4
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• pp.239-244
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• 2004

In order to enhance an oxidation resistance of the pure uranium metal under air condition, a small quantity of niobium(Nb) which is known to mitigate metal oxidation is added into uranium metal as an alloying element. A simulated metallic uranium alloy, U-Nb has been fabricated and then oxidized in the range of 200 to $300^{\circ}C$ under the environment of the pure oxygen gas. The oxidized quantity in terms of the weight gain(wt%) has been measured with the help of a thermogravimetric analyzer. The results show that the oxidation resistance of the U-Nb alloy is considerably enhanced in comparison with that of the pure uranium metal. It is revealed that the oxidation resistance of the former with the niobium content of 1, 2, 3, and 4 wt% is : 1) 1.61, 7.78, 11.76 and 20.14 times at the temperature of $200^{\circ}C$ ; 2) 1.45, 5.98, 10.08 and 11.15 times at $250^{\circ}C$ ; and 3) 1.33, 4.82, 8.87 and 6.84 times at $300^{\circ}C$ higher than that of the latter, respectively. Besides, it is shown that the activation energy attributable to the oxidation is 17.13~21.92 kcal/mol.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.506-506
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• 2013

Ag (Silver) 박막은 낮은 전기 저항과 높은 가시광대의 반사율을 가져 T-OLED (Top Emission-Organic Light Emitting Diode)의 Anode로 각광 받고 있지만, 일반적인 Ag 박막의 일함수는 4.3 eV 이하로 T-OLED의 Anode로 사용하기에는 낮은 단점이 있다. 따라서 이를 극복하기 위한 방법으로 Ag 박막 표면을 산화시켜 일함수를 증가시키기 위한 연구가 진행중에 있다. 하지만 연구는 단순히 일함수를 증가시키는 것에 한정되어 있을 뿐 UV 처리된 박막의 nano-mechanics 특성에 대한 연구는 현재 전무하다. 따라서 본 연구에서는 순도 99.9%의 Ag 타겟을 이용하여 rf magnetron sputter 장비를 통해 Ag 박막을 증착 하였고, 이후 UV (Ultra-Violet) 램프를 통해 시료 표면을 산화시켰다. 특히, 이 논문의 주요 관심사인 박막의 nano mechanics 특성 분석을 위하여 nano indenter와 SPM (Scanning Probe microscope) 장치를 활용 하였다. 실험 결과 후처리 시간이 3분 이하인 경우 박막이 비결정질의 silver oxide로 성장하는 것을 확인하였으며, 이때 박막의 면저항은 $0.16{\Omega}$/sq.에서 $0.55{\Omega}$/sq.로 증가하는 것을 관찰할 수 있었고, 3분 이후, 비결정질의 silver oxide가 conducting 특성을 갖는 silver oxide 결정을 이루면서 면저항이 $0.55{\Omega}$/sq.에서 $0.21{\Omega}$/sq.로 감소하는 것을 보았다. 또한 결정질의 박막이 자라는 3분이상의 박막에서 surface hardness는 급격하게 증가($3.57{\rightarrow}9.47$ GPa)했으며, 6분 이후에는 감소하는($9.47{\rightarrow}3.46$ GPa) 경향을 보였다. 이러한 경향은 silver oxide의 결정 크기가 Ag 결정 보다 크므로 상대적인 압축응력을 받아 표면 경도가 증가됐다. 처리시간 6분 이후, 경도 감소는 박막의 표면 물성이 불안정해졌기 때문이다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.15 no.4
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• pp.93-100
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• 2008

The one and two pair of oxide modules for high temperature thermoelectric power generation were fabricated with $Ca_{2.7}Bi_{0.3}Co_4O_9$(p-type) and $Ca_{0.96}Bi_{0.04}Mn_{0.96}Nb_{0.04}O_3$(n-type) on $Al_2O_3$ substrate. For the optimizing of the design process, contact resistance was derived from the results of the one pair modules, and then the resistance of two pair modules were calculated to use the derived data. Those values were compared with the measured values for the optimizing of this design process. The resistance of calculated and measured two pairs modules was 0.956 $\Omega$ and 1.110 Q $\Omega$ $T_h$=833 K, respectively, the difference of resistance was about 0.15 $\Omega$. From the result, proposed design process is effective for high temperature thermoelectric oxide modules fabrication.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1999.04a
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• pp.136-137
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• 1999

• Proceedings of the Korean Society For Composite Materials Conference
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• 1999.04a
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• pp.197-200
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• 1999

• Journal of Korean Electronics
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• v.2 no.6
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• pp.49-57
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• 1982

• Geotechnical Engineering
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• v.22 no.1
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• pp.46-53
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• 2006