• Korean Chemical Engineering Research
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• v.46 no.5
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• pp.886-891
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• 2008

Contact glow discharge electrolysis(CGDE) is an unconventional electrolysis where plasma is sustained by D.C. glow discharge between an electrode and the surface of electrolyte surrounding it at high voltage. In this study, the behavior of CGDE in NaCl solution and the depolymerization of fucoidan by CGDE were investigated. After onset of CGDE, increase of voltage enhanced Glow discharge which resulted in low current density and low temperature in NaCl electrolyte. From the variation of molecular weight of fucoidan with the reaction time, it was demonstrated that the degradation of fucoidan followed a first-order rate law. Molecular weight of fucoidan treated with CGDE was about 40 times lower compared to initial fucoidan without content decrease of sulfate and fucos.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.13 no.4
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• pp.38-46
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• 1999

Measurerments of ultrasonic signals caused by corona discharges were perforrred by using an ultrasonic meeasurerment technique to analyze the deve1qxrent states of coronas in a high-voltage power apparatus. We also examined the relationship between discharge magnitude and ultrasonic pulse number to diagnose the deterioration of electrical insulation by corona discharges. From these results, it was found that ultrasonic signals due to corona discharges can be firstly detected at the peak value of positive polarities prior to the breakdown voltages, and the magnitude of ultrasonic signals was closely related to the current pulses by the corona discharges when ac voltages were gradually raised, and it appeared that ultrasonic pulse number was proportional to discharge magnitude. Attenuation, tirre-delaying and directivity charocteristics of ultrasonic signals propagated to air by using ultrasonic oscillation and receiving systems are feJXlrt.ed as a basic data of ultrasonic measurements in out-door HV apparatus.aratus.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.22 no.12
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• pp.79-86
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• 2008

This paper presents the experimental results of impulse breakdown characteristics in $SF_6/N_2$ gas mixtures under a highly non-uniform electric field with a change in temperature. The test temperature ranges from -25[$^{\circ}C$] to 25[$^{\circ}C$]. The processes of impulse preliminary breakdown developments were analyzed by the measurements of current pulse and luminous signals. As a result, the temperature dependance of breakdown voltage for the negative polarity was much stronger than that for the positive polarity. When increasing the temperature, The leader stepping time for the negative polarity was shown to be longer than that for the positive polarity. The results presented in this paper can be used as a useful information in designing the gas insulation lines with prominent ability for lightning surge.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.409-409
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• 2010

솔라셀은 차세대 대체 에너지 소스로 최근 큰 각광을 받고 있다. 솔라셀의 제조에 있어 가장 중요한 공정은 마이크로 결정질 및 비결정질 실리콘(uC-Si:H and a-Si:H) 박막을 증착하는 PECVD (Plasma Enhanced CVD)공정이다. 현재까지 이 증착공정을 위한 플라즈마 소스로 CCP(Capacitively Coupled Plasma)가 주로 사용되어 왔다. 그러나, CCP를 플라즈마 소스를 사용한 경우 솔라셀 대량 생산 적용시 다른 방법들에 비해 긴 공정 시간이 해결해야 할 문제점으로 대두되었다. 본 발표에서는 솔라셀의 대량 생산을 위한 마이크로 결정질 실리콘 박막 증착에 있어 현 시점에서 해결되어야 할 문제점에 대해 고찰해 보고자 한다. 현재까지 이러한 문제점들을 해결하기 위해 적용되어 왔던 플라즈마 소스들을 나열하고 이러한 플라즈마 소스에 대한 특성 및 문제점들을 고찰한다. 또한, PECVD 공정상의 문제점을 해결하기 위한 플라즈마 조건을 플라즈마 벌크에서의 전자에너지 분포를 기준으로 제시하고자 한다. 솔라셀용 결정질 실리콘 박막 증착용 플라즈마 소스로 hollow cathode 방전이 가장 유력시되고 있다. 본 연구에서는 CCP 플라즈마에서 hollow cathode 방전시 발생되는 플라즈마 특성에 대한 기초 연구를 제시한다. 기초 연구를 위해 다양한 불활성 가스인 아르콘, 헬륨, 크립톤 가스에 13.56 MHz의 RF 파워를 인가하고 방전되는 플라즈마 밀도 변화를 관찰하였다. 특히, 다양한 hole diameter에서 발생되는 플라즈마 밀도의 변화를 기존 평면 CCP 플라즈마의 밀도에 비교하여 분석함으로써 hole diameter에 따른 효과를 관찰하였다. 이러한 결과는 PIC 시뮬레이션을 통해 얻은 전자에너지 분포함수를 바탕으로 메커니즘을 논의하고자 한다. 마지막으로 솔라셀용 PECVD공정을 위해 고밀도 플라즈마 소스의 필요성뿐 만 아니라 대면적 소스의 구현에 대한 문제점을 고찰하였다. 대면적 공정에서 가장 중요한 핵심 연구 이슈는 공정 균일도를 높이는 것이다. CCP 플라즈마 소스에서 전극의 크기가 대면적화 됨에 따라 발생되는 전자기파 효과에 의한 불균일도에 대해 RF 전자기장 시뮬레이션을 통해 확인하고, 균일도 확보를 위한 방안에 대한 논의하고자 한다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.4
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• pp.322-329
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• 1997

ECR 마이크로 플라즈마 CVD법에 의하여 단결정 Si기판위에서 대면적에 걸쳐 방향성을 가진 다이아몬드박막을 성공적으로 성장시키고, 막 증착공정을 바이어스처리 단계와 성막단계의 2단계로 나누어 실시할 때 바이어스처리 단계에서 여러 공정 매개변수들이 다리아몬드 핵생성밀도에 미치는 효과에 관하여 조사하였다. 기판온도$600^{\circ}C$, 압력 10Pa, 마이크로파 전력 3kW, 기판바이어스 +30V의 조건으로 바아어스 처리할 때, 핵생성에 대한 잠복기간은 5-6분이며, 핵생성이 완료되기 까지의 시간은 약 10분이다. 10분 이후에는 다이아몬드 결정이 아닌 비정질 탄소막이 일단 형성된다. 그러나 성장단계에서 이러한 비정질 탄소막은 에칭되어 제거되고 남아있는 다이다몬드 핵들이 다시 성장하게 된다. 또한 기판온도의 증가는 다이아몬드 막의 결정성을 높이고 핵생성 밀도를 증가시키는 데에 별로 효과가 없다. ECR플라즈마 CVD법에서 바이어스처리 테크닉을 사용하면, 더욱 효과적임을 확인하였다. 총유량 100 sccm의 CH$_{3}$OH(15%)/He(85%)계를 사용하여 가스압력 10Pa, 바이어스전압 +30V마이크로파 전력 3kW, 온도 $600^{\circ}C$의 조건하에서 40분간 바이어스처리한 다음 다이아몬드막을 성장시켰을 때 일시적으로나마 제한된 지역에서 완벽한 다이아몬드의 에피성장이 이루어졌음을 SEM으로 확인하였다. 이것은 Si기판상에서의 다이아몬드의 에피성장이 가능함을 시사하는 것이다. 그밖에 라만분광분석과 catodoluminescence 분석에 의한 다이아몬드의 결정질 조사결과와 산소방전 및 수소방전에 의한 챔버벽의 탄소오염효과 등에 관하여 토의하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.27 no.4
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• pp.421-426
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• 2016

In this report, polyoxometalte (POM)-doped polypyrrole (Ppy) was deposited on surface of three-dimensional carbon cloth (CC) using an electrodeposition method and its pseudocapacitive behavior was investigated using cyclic voltammetry and galvanostatic charge-discharge. The POM-Ppy coating was thin and conformal which can be controlled by electrodeposition time. As-prepared POM-Ppy/CC was characterized using scanning electron microscope and energy-dispersive X-ray spectroscopy. The unique 3D nanocomposite structure of POM-Ppy/CC was capable of delivering excellent charge storage performances: a high areal capacitance ($561mF/cm^2$), a high rate capability (85%), and a good cycling performance (97% retention).

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.21 no.5
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• pp.106-111
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• 2007

After the semiconductor processing, wafer is attracted by ESC(Electrostatic Chuck) with remaining electric charge. That causes too many problems for examples, sliding of wafer, popping or broken. This paper presents the model of ESC for silicon wafer, which is modeled by electrical circuit component such as capacitor. The simulations using PSpice result in the phenomenon of silicon wafer was charged by ESC. In this paper we suggest the discharging method. for wafer.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2009.11a
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• pp.179-181
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• 2009

고압 방전 램프는 점등 후부터 정상상태에 이르기까지 방전관 내부의 온도 및 압력이 광범위하게 변화하는 복잡한 동작 특성으로 모델링이 어렵다. 이러한 특성은 램프를 구동하는 안정기의 설계에 어려움이 따른다. 램프의 구동에는 초기 점화 시 높은 점화용 전압 펄스를 필요로 한다. 점화 후에 정상상태에 다다르면 램프 전극의 소모를 줄이기 위해 교류로 구동되어야 한다. 하지만 램프를 교류로 구동하게 되면 음향 공진 현상이 발생할 수 있다. 음향 공진 현상은 램프 구동 전류의 맥동성분이 큰 경우에도 발생을 할 수 있으므로 구동 전류의 맥동 성분의 크기는 최소화 돼야 한다. 램프의 수명시간을 길게 하려면, 안정기는 램프를 정격전력으로 구동하여야 한다. 따라서 안정기에서는 정전력 제어가 필요하게 된다. 램프 전류의 극성이 변화할 때, 램프 전류는 spike전류와 중첩이 된다. 본 논문에서는 spike 전류를 저주파구형파 램프 전류의 포락범위 안에 유지하고, 고주파 스위칭시손실을 줄이기 위해 소프트 스위칭 기법을 이용한 회로 설계를 제안했다. 제안된 방법은 시뮬레이션 및 이론적 수식적 방법으로 검증 했다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.04c
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• pp.132-133
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• 2007

본 논문에서는 600kJ급 SMES용 열전도판의 와전류 손실의 해석에 대해서 나타내었다. SMES의 운전 상태는 충전, 운전, 방전의 3가지 구간으로 나누어 볼 수 있다. 이 중 방전 구간에서는 SMES 코일에서의 전류 감소에 의해서 와전류 손실이 발생한다. 이때 발생하는 와전류 손실은 짧은 시간동안 발생하지만 그 크기가 크기 때문에, SMES 시스템 설계 시 냉각 시스템의 효율과 안정성을 위해서 반드시 고려되어야만 한다. 본 논문에서는 이러한 열 전도판의 와전류 손실을 해석하고, 그 형상의 변화에 따른 와전류 손실 값들을 분석하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.9 no.7
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• pp.1065-1069
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• 1998

This study was investigated to improve peformance of carbon negative electrode for lithium ion secondary battery. The carbon electrode was prepared by mixing with graphitic carbon material, natural graphite, and nongraphitic carbon material, petroleum cokes, which was heat-treated at $700^{\circ}C$ for l hour. Its electrochemical and charge-discharge characteristics were tested according to mixing ratio of different two types of carbon material. The carbon electrode prepared with various mixing ratio showed both charateristcs of two different types of carbon materials and the best characteristics as carbon electrode was demonstrated at mixing ratio of 1:1.