• 제목/요약/키워드: 반사법

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PECVD를 통해 향상된 SiN/SiO2/ITO 다층박막의 무반사 효과에 대한 연구

  • 최민준;권세라;송애란;정권범;안경준;백주열;김부경;장혁규
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.274-274
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    • 2016
  • 터치스크린패널로 응용하기 위하여 80%이상의 높은 투과도와 낮은 저항이 요구된다. 그 중에서도 무반사 효과 (anti-reflective, AR) 를 크게하여 투과도를 향상시키는 방법으로 나노구조물, 증착시 경사각, 다층박막 방법 등이 연구 개발되고 있다. 단일 박막을 이용하여 무반사 코팅을 하는 경우, 정밀한 굴절률 조절이 어려우며 낮은 반사율 영역의 선폭이 좁은 단점이 있다. 반면, 저/고굴절률 다층박막의 경우 비교적 굴절률 조절이 용이하고 가시광영역 전반적으로 높은 투과도를 가질 수 있다. plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) 증착법을 이용하여 무반사 효과를 증대시키기 위해 저/고굴절률 다층구조의 박막을 두께조합에 따라 평가하였으며, 가장 널리 사용되고 있는 Sputtering증착법과 비교하여 연구하였다. 제작된 다층박막의 구조는 glass(sub.)/SiN/SiO2/ITO 이며, 무반사 코팅층인 SiN/SiO2층은 각각 PECVD와 Sputtering 증착법을 통해 성장되었고, ITO는 스퍼터링 증착법을 이용하여 동일하게 성장하였다. 그 결과 PECVD 증착법이 Sputtering 증착법에 비하여 가시광영역(400~800nm)에서 더 높은 투과도를 얻게 되었다. 결과의 차이에 대해서 PECVD 증착법과 Sputtering 증착법으로 성장된 SiN, SiO2 박막의 광학적 특성과 물리적 특성의 변화를 spectroscopic ellipsometry (SE), Rutherford backscattering (RBS), atomic force microscopy (AFM) 을 이용하여 비교, 분석하였다.

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펄스 반사법을 이용한 NDT 시스템 (A NDT System using the Pulse-echo Method)

  • 반차식;김건;차일환;임광호
    • 한국음향학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.35-40
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    • 1986
  • 본 연구는 펄스 반사법을 이용하여 금속 재료 단면의 영상을 얻는데 그 목적이 있다. 기존의 탐 상기는 대부분 A - 스캔 방식으로 결과를 전시하여 검사자가 직접 CRT 상에 나타난 결과를 판독해야 하므로 숙련자라 하더라도 어느정도 오차가 수반되며 판독에 시간이 요하는 등 불편이 따른다. 본 연구 에서는 판독 과정을 자동화함으로써 정확도와 검사 속도를 개선하였으며 탐촉 지점은 스텝핑모터를 이 용하여 일정 간격으로 제어하였다. 도 탐상 결과를 B-스캔 방식으로 영상 처리함으로써 재료 단면의 상 태 파악을 용이하게 하였다.

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사각형형상 수중방파제의 반사에 관한 수리실험 (Hydraulic Experiments on Reflection of Regular Waves due to Rectangular Submerged Breakwaters)

  • 조용식;이종인;김영택
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제35권5호
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    • pp.563-573
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    • 2002
  • 본 연구에서는 일정수심상에 사각형형상의 불투과성 수중방파제를 설치한 후 파랑의 반사를 수리실험을 통해 조사하였다. 입사파는 규칙파를 사용하였으며, 고유함수전개법을 이용하여 예측한 반사율을 본 연구에서 수행한 수리모형실험 결과와 비교하였다. 예측된 결과와 수리실험에서 관측한 결과는 비교적 잘 일치하였으며, 수리실험에 의한 반사율이 고유함수전개법에 의한 결과보다 다소 작았다.

증발증착법에 의해 형성된 금속 입자를 이용한 단결정 실리콘의 습식식각

  • 고영환;주동혁;유재수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.438-438
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    • 2012
  • 은(Ag) 또는 금(Au) 입자를 촉매로 이용하여 습식식각을 통해 선택적으로 짧은 시간동안 단결정 실리콘 웨이퍼의 표면을 텍스쳐링하여 반사방지막 특성을 효과적으로 얻을 수 있다. 일반적으로 금속입자는 주로 금속 이온이 포함된 용액이나, 전기증착법을 통해서 실리콘 웨이퍼 표면에 형성시켰지만, 금속입자의 크기와 분포를 조절하기 어려웠다. 하지만, 최근 진공장비를 이용하여 열증발증착법(thermal evaporation)과 급속열처리법(rapid thermal annealing)을 통해서 금속입자를 대면적으로 크기와 분포를 균일하게 조절할 수 있다. 이러한 현상은 열적 비젖음(thermal dewetting) 현상에 의해 실리콘 표면위에 증착된 금속 박막으로부터 나노입자로 형성할 수 있다. 본 연구에서는 실리콘 (100)기판위에 다양한 크기의 은 또는 금 나노입자를 형성시켜 식각용액에 짧은 시간동안 담그어 식각하여, 텍스쳐링 효과와 반사방지(antireflection) 특성을 분석하였다. 실험을 위해 각각 은 또는 금 박막을 열증발증착법을 이용하여 ~3-8 nm의 두께로 형성시켰으며, 급속가열장치를 이용하여 $500^{\circ}C$에서 5분 동안 열처리하였다. 그리고 탈이온수(de-ionized water)에 불화수소와 과산화수소가 혼합된 식각용액에 1-5분 동안 습식식각을 하였다. 각각의 텍스쳐링 된 샘플의 식각의 상태와 깊이를 관찰하기 위해 field emission scanning electron microscopy (FE-SEM)을 이용하여 측정하였으며, UV-vis-NIR spectrophotometer를 이용하여 300 nm에서 1,200 nm의 반사특성을 분석하였다. 또한 RCWA (rigorous coupled wave analysis) 시뮬레이션을 이용하여 텍스쳐링 된 기하학적구조에 대하여 반사방지막 특성을 이론적으로 분석하였다.

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터널내 탄성파 탐사를 이용한 전방 지질 예측 및 평가 (Prediction and Evaluation of Rock Mass Condition by Seismic Profiling Method in Tunnel)

  • 이종만;곽현준;김영근;백기현;조철현
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제3권3호
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    • pp.45-56
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    • 2001
  • 터널 시공에 영향을 주는 지질구조에 대한 정확한 정보를 얻기 위해서는 시공 중의 탐사기법이 중요한 역할을 한다. 국내에서 막장 전방 지질조건을 예측하기 위한 터널내 탄성파 반사법 탐사로는 TSP(Tunnel Seismic Prediction)법을 주로 적용했으나, 본고에서는 HSP(Horizontal Seismic Profiling)법을 수행하였다. 현장 적용결과 소규모의 불연속면의 존재가 예측되었으며, 또한 지반 조사에서 추정된 RMR 값과 터널내 반사법 탐사를 통하여 얻은 암반조건과 거의 일치하는 결과를 얻었으며, 시공 중 평가되는 암반 분류 및 평가 결과와 비교 검증하였다.

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석회암 매장량 산출의 기초자료 계산을 위한 지구물리탐사법의 적용 (Application of Geophysical Prospecting Method to Calculate Basic Data of Limestone Deposit Production)

  • 서백수;김영화;진호일
    • 지질공학
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    • 제11권2호
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    • pp.131-139
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    • 2001
  • 최근까지 석회암 매장량 산출은 주로 지질조사와 시추에 의존하여 계산하여 왔다. 본 연구에서는 매장량 계산을 위하여 탄성파 및 전기탐사법을 적용하여 석회암 매장량 산출의 기초자료를 얻고자 하였다. 탄성파 반사법을 이용하여 기반암의 깊이를 계산하고, 전기 비저항 탐사법을 이용하여 석회암의 지층경계면을 조사하였다. 탐사결과 기반암의 깊이는 약 17m이며 지층경계면은 지질조사에 의한 경계면과 약간의 차이를 보여주었다.

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차량의 실내 반사음패턴 측정기법 (Measurement of Reflection Patterns inside Automotive Cabin)

  • 두세진
    • 한국음향학회:학술대회논문집
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    • 한국음향학회 1998년도 학술발표대회 논문집 제17권 2호
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    • pp.11-14
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    • 1998
  • 근접 4점법을 이용하여 음원으로부터 측정점까지 음파가 전달되어 오는 공간상의 반사음 패턴을 구할 수 있다. 그러나 차량과 같이 협소한 공간에서는 반사음간의 시간차가 매우 작게 되고 따라서 단지 몇 개의 초기 반사음을 제외하고는 측정이 어렵게 된다. 본 연구에서는 측정에 사용된 스피커의 특성을 역필터링하여 차실 내의 펄스 반사음 자체 특성만을 추출함으로써 좁은 공간에서도 반사음 패턴의 측정이 가능하도록 하였다. 실내 반사음 패턴은 음파의 경로를 보여 주는 것이므로 본 측정법은 차량의 실내 음향 특성 파악과 음질 개선에 중요한 도구로 활용될 수 있다.

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탄소섬유-에폭시 복합재료의 전파반사 특성 (Microwave Reflective Properties of Carbon Fiber-Epoxy Composites)

  • 김성수
    • 한국재료학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.161-164
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    • 1998
  • 탄소섬유-에폭시 복합재료의 전파 반사특성을 전파전송 이론에 근거하여 해석하였다. 탄소섬유 복합재료의유전상수를 투과/반사법에 의해 4-12GAz 주파수 범위에서 측정하였다. 측정된 재료정수로부터 반사손실을 시편의두께와 주파수의 함수로 계산하였다. 탄소섬유 복합재료는 높은 유전상수와 도전손실 특성에 의해 전파의 반사율이 매우 높았다. 그러나 파장에 비해 시편의 두께가 작은 경우 반사손실은 두께에 매우 민감하였으며, 이는 입력 임피던스의 변화에 기인하는 것으로 해석되었다. 이러한 결과로부터 전자파 차폐를 극대화시키기 위해서는 특히 저주파 대역에서 시편의두께 조절이 매우 중요함을 제시할 수 있었다.

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다중 반사파 중첩 자료의 상호상관을 이용한 엔지니어링 플라스틱 코어의 초음파속도 측정 (Ultrasonic Velocity Measurements of Engineering Plastic Cores by Pulse-echo-overlap Method Using Cross-correlation)

  • 이상규;이태종;김형찬
    • 지구물리와물리탐사
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    • 제16권3호
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    • pp.171-179
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    • 2013
  • 여러 가지 초음파 속도 측정법 중 비교적 정확하고 다양한 목적에 활용될 수 있다고 알려진 반사파 중첩법(pulseecho-overlap method)에 의해 초음파의 전파시간을 자동으로 측정할 수 있는 시스템을 구축하고, 엔지니어링 플라스틱 시험편에 대한 초음파 속도를 초동발췌법(first arrival picking method)과 비교하였다. 다섯 가지 종류의 엔지니어링 플라스틱 코어에 대해 반사파 중첩법과 초동발췌법에 의해 초음파 속도를 측정한 결과, 반사파 중첩법은 초동발췌법보다 최소 4배로 긴 다중반사파 자료가 필요하므로 매질의 감쇠특성에 의해 측정가능한 시험편의 길이에 제약이 있다. 또한 측정되는 속도는 초동발췌법에 의한 속도보다 낮게 측정되는 경향을 보였으며, 수신된 파형을 분석한 결과, 이는 전파거리가 길어짐에 따른 매질의 감쇠 및 분산특성에 의한 영향으로 해석되었다. 상호상관을 이용하여 제1반사파가 제2반사파 및 제3반사파와 가장 잘 중첩되는 시간을 실시간으로 자동으로 발췌하도록 프로그램하여 실험자에 의한 측정 편차가 개입될 가능성을 배제함으로써 반복성과 재현성을 높였다. 또한, 실험의 조건이 변하지 않는 경우는 중합수를 늘림으로서 무작위 잡음에 의한 측정오차를 줄일 수 있으며, 실험 조건이 변하는 경우는 속도변화 모니터링에도 활용이 가능하다.

사각형형상 불투과성 수중방파제를 통과하는 불규칙파의 반사 (Reflection of Random Waves Propagating over Rectangular Submerged Non-Porous Breakwaters)

  • 정재상;조대희;황종길;조용식
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제37권9호
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    • pp.729-736
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    • 2004
  • 본 연구에서는 사각형 형상 불투과성 수중방파제를 통과하는 불규칙파의 반사를 고유함수전개법을 이용하여 해석하였으며, 수리모형실험 결과와 비교하였다. 불규칙파는 다수의 규칙파의 중첩으로 구성하였으며, 각각의 규칙파의 해석결과를 합성하여 반사율을 산정하였다. 고유함수전개법에 의한 해석결과는 수리모형실험에 의한 결과와 잘 일치하였으며, 불규칙파 역시 Bragg 반사 조건에서 공명현상에 의해 반사율이 크게 증폭되었다.