• Title/Summary/Keyword: 미소기계

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Design Parameters and Experimental Performance Evaluation of 4-bit Digital Multi-heater Microinjector (4-bit 디지털 미소분사기의 설계변수와 토출성능간의 영향분석에 관한 실험적 연구)

  • Kang Tae Goo;Cho Young-Ho
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.29 no.3 s.234
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    • pp.418-424
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    • 2005
  • We present the design, fabrication and experimental results of 4-bit digital microinjectors, whose ejected droplet volumes are adjusted by the digital operation of a 4-bit microheater array. We design the reference microinjectors as well as its comparative test structures. In the fabrication process, we use a five-mask micromachining process and the total chip size of the fabricated microinjector is $7,640{\mu}m{\times}5,260{\mu}m.$ We measure the ejected droplet volumes and velocities, which are adjusted from $12.1{\pm}1.0~55.6{\pm}14.7pl\;and\;2.3{\pm}0.1~15.7{\pm}0.8m/s.$ respectively, depending on the 15 possible combinations of 4-bit microheater array. We also experimentally characterize the effect of geometric variation including the microheater size, inter-microheater gap, microchannel width and sequential operation of microheater array on the ejected droplet volume and velocity. Among these parameters, we find that the microheater size is the most dominant parameter affected to the ejected droplet volumes and velocities. Thus, the present microinjector has a potential for application to the high-resolution inkjet printers with multiple gray levels or high-precision fluid injectors with variable volume control.

Flow Characteristics in a Microchannel Fabricated on a Silicon Wafer (실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성)

  • Kim, Hyeong-U;Won, Chan-Sik;Jeong, Si-Yeong;Heo, Nam-Geon
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.25 no.12
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    • pp.1844-1852
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    • 2001
  • Recent developments in microfluidic devices based on microelectromechanical systems (MEMS) technique find many practical applications, which include electronic chip cooling devices, power MEMS devices, micro sensors, and bio-medical devices among others. For the design of such micro devices, flows characteristics inside a microchannel have to be clarified which exhibit somewhat different characteristics compared to conventional flows in a macrochannel. In the present study microchannels of various hydraulic diameters are fabricated on a silicon wafer to study the pressure drop characteristics. The effect of abrupt contraction and expansion is also studied. It is found from the results that the friction factor in a straight microchannel is about 15% higher than that in a conventional macrochannel, and the loss coefficients in abrupt expansion and contraction are about 10% higher than that obtained through conventional flow analysis.

Microhardness measurement for a few micron thick TiN thin films (수미크론 두께를 갖는 TiN코팅층의 미소경도 측정법)

  • Jo, Yeong-Rae;Fromm, E.
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.3
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    • pp.310-315
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    • 1995
  • 기계적으로 연마한 고속도강과 구리 두 종류의 서로 다른 기판상에 dc 마그네트론 스파터법으로 TiN 박막을 성막시켜 코팅층의 비커스 미소경도를 측정하였다. 압입체의 침투깊이와 시험하중과의 관계를 log-log 좌표상에 도시함으로써 기판의 영햐응ㄹ 받지 않고 코팅층만의 경도를 측정할수 있는 최대하중인 임계하중(critical load)을 구할수 있었다. 임계하중을 가했을 때 압입체의 침투깊이와 코팅층 두께간의 비율은 코팅층의 두께에 무관하였고 기판의 경도에 크게 의존하였다.

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기하 공차의 수학적 표현

  • 박상호;이건우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1995.04a
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    • pp.531-534
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    • 1995
  • 기계부품의 설계는 공차정보를 포함한다. 이러한 공차정보는 그것의 특성에 따라 실제 부품에 속한 형상이 놓여야 할 공차영역으로 표현되고, 필요하다면, 각 공차간의 관계 도 포함하여야 한다. 기하 공차는 데이팀을 기준 좌표계로 하여 형상, 자세 및 위치를 구 속하며 이러한 관계는 변환 행렬로 표현할수 있다. 특히 이들 변환 행렬의 미소한 변화 를 나타내는 미소 변환 행렬은 각 좌표계간의 공차의 전파를 용이하게 한다. 이러한 표 현방법은 형상 모델링 시스템이나 공차에 관련된 문제에 쉽게 적용할 수 있다.

열 확산에 의한 미소입자의 부착현상에 관한 실험적 연구

  • 김상수;장혁상
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.9 no.3
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    • pp.379-386
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    • 1985
  • 본 연구에서는 부차적으로 이와 같은 광반사법의 유용성을 개발, 평가하고자 한다. 또 실험에서 벽면에 부착되는 입자는 기하학적 형상에 따라 입자주위의 유체 흐름에 지배적인 영향을 받게 되므로 실험을 통하여 입자의 기하학적 형상에 따라 변 화되는 열확산 효과의 상대적인 영향을 평가한다.

SP시험법에 의한 재료의 파괴강도 평가

  • 정세희;정희돈
    • Journal of the KSME
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    • v.28 no.4
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    • pp.387-393
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    • 1988
  • 본 SP시험법은 사용되는 시편이 미소하다는 장점 때문에 재질의 평가나 더불어 비파괴검사의 일환으로서 이용할 수 있음을 서명해 왔다. 현존하고 있는 거대구조물들의 잔존수명평가가 요 구되는 있는 지금, 정량적인 경년변화측정방법으로서 SP시험법은 높은 가능성을 내포하고 있는 시험법으로 여겨지며, 이 방법을 현장에 정착시키기 위해선 산. 학. 연의 공동연구체제가 필요 하다고 할 수 있다.

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