• 제목/요약/키워드: 물리적 제품

검색결과 623건 처리시간 0.038초

해수어를 활용한 연제품의 제조 및 물리화학적 특성 (Physicochemical Properties of Fish-meat Gels Prepared from Farmed-fish)

  • 김형광;김세종;파티카라데니즈;권명숙;배민주;고아;이슬기;장병근;정준모;김서연;공창숙
    • 생명과학회지
    • /
    • 제25권11호
    • /
    • pp.1280-1289
    • /
    • 2015
  • 연제품 제조에 이용되는 어육원료는 저가의 연육이 국내에서 일부 생산되고 있으며 대부분은 동남아산 또는 북아메리카산 등의 수입산에 의존하고 있다. 본 연구에서는 연제품용 어육 원료의 안정적인 수급과 고품질 연제품 개발을 위한 방안으로 우리나라에서 주로 양식되고 있는 어종의 고급 연육 및 연제품 소재로서의 가능성을 검토하였다. 양식어종인 광어(Paralichthys olivaceus), 도미(Pagrus major), 조피볼락(Sebastes schlegeli), 숭어(Mugil cephalus), 도다리(Pleuronichthys cornutus)를 원료로 하여 전통 수세법으로 연육을 제조하였다. 연육의 품질과 등급은 수분함량, 백색도, 겔 강도, 불순물의 함량 등에 의해 결정되어진다. 따라서 이들 해수어 유래 연육의 겔 형성능 및 품질은 겔 강도, 텍스쳐 실험, 백색도, 수분유출정도 및 SDS-page pattern 측정을 통해 검토하였다. 또한 이들 결과는 명태연육(FA급과 RA급)의 겔 특성과 비교하였다. 겔 특성을 검토하기 위해 미리 준비한 5 종류의 해수어 유래 연육에 2% NaCl를 첨가하여 소금갈이를 한 후 전체 수분함량이 84%가 되도록 졸 형태로 제조하였다. 졸 형태의 연육을 polyvinylidene chloride 필름에 20-25 cm 길이로 충진한 후 90℃에서 20분간 가열하여 소시지 형태의 어육 겔을 제조하였다. 연육을 이용한 어육 겔의 제조에 의해 연육의 겔 강도와 백도는 증가하였다. 해수어 유래 연육의 겔 특성을 비교한 결과 광어와 도미가 가장 높은 겔 강도와 파단 강도를 나타내었으며, 수분 이수율은 광어에서 가장 낮게 나타났다. 전체적으로 해수어 유래 연육은 RA급 명태연육에 비해 높은 겔 형성능을 나타내었으며, 광어와 도미는 FA급 명태연육과 비슷한 정도의 겔 특성을 나타내었다. 이상의 결과로부터 광어와 도미를 이용한 고품질 연제품의 개발 가능성을 확인할 수 있었다.

디지털기술의 동향분석을 통한 유비쿼터스 공간의 미래예측에 관한 연구 (A Study on Forecasting for Ubiquitous Space with Analysis of Digital Technology Trends)

  • 인치호;이수현
    • 디자인학연구
    • /
    • 제19권5호
    • /
    • pp.323-334
    • /
    • 2006
  • 디지털기술의 지속적인 발전은 유비쿼터스 컴퓨팅을 구현시켜 왔고, 이로 인해 인간의 생활환경은 새로운 변화에 직면하게 되었다. 이러한 인간의 삶을 준비하기 위해서 다가올 미래의 예측은 매우 중요하다고 할 수 있다. 현재 관련된 전문적 연구분야에서 대중적 매체에 이르기까지 미래 유비쿼터스 공간에 대한 예측이 수 없이 많이 나오고 있다. 그러나 이러한 유비쿼터스 공간을 이해하고 디자인에 적용하는데 있어서 디지털 기술의 동향에 대한 올바른 분석과 이해가 필요하다. 그리하여 본 연구에서는 새로운 시각에서의 디지털 기술의 동향분석을 통해서 유비궈터스 공간의 생성을 이해하고 그 사례를 조사하고 분석하여 유비쿼터스 공간의 미래를 예측하고자 한다. 우선 물리적 공간에서 다양한 유형의 정보를 원활히 교류하는 주체로서 인간, 사물, 환경을 기본요소로 설정하고 디지털기술의 동향을 분석한다. 인간중심의 관점에서는 상호작용성과 인터페이스를 주제로 그 배경과 발전 동향을, 사물중심 관점에서는 라디오에서 로봇까지 제품의 진화를, 환경중심 관점에서는 상황인지, 내재성, 통합연결성을 주제로 분석을 전개하였다. 그리고, 이를 적용하여 유비궈터스 공간의 미래를 예측하고 컨셉을 생성하는 연구들의 유형을 실험적 연구, 산업적 연구, 공공적 연구로 분류, 분석하여 유비궈터스 공간의 미래를 예측하여 보았다. 본 연구는 디지털 기술의 동향에 대한 이해와 이에 근거한 유비궈터스 공간 연구 사례들의 체계적인 분석으로서 디자이너들의 컨셉 생성과 발전에 도움을 줄 수 있을 것이다.

  • PDF

유한요소법을 이용한 내부 및 외부 음향장 해석 (An Analysis of Internal & External Acoustic Fields by Using FEM)

  • 이덕주;이재규
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국소음진동공학회 1992년도 추계학술대회논문집; 반도아카데미, 20 Nov. 1992
    • /
    • pp.113-116
    • /
    • 1992
  • 소음의 발생 원인은 공기역학적 측면과 구조적 측면으로 나누어지는데, 실제 로는 유동장에서 발생되는 음원과 구조물에서 발생되는 진동과의 상호 간섭 에 의해 보다 복잡한 형태로 발생된다. 음장 문제를 두가지 범주로 구분하면 첫째는 음원과 구조물과의 상호교란에 의한 산란문제(Scattering)와 둘째로 구조물의 자체 진동에 의한 음의 전파현상과 구조물내부에 회전체와 같은 음원이 존재하는 경우에 음의 전파를 관측하는 방사문제(Radiation)가 있다. 실제로 산업용 터빈이나 비행기 엔진 흡입구에서 발생되는 소음, 또는 자동 차의 배기구를 통해 발생되는 소음 그리고 엔진의 진동에 의한 구조적 소음, 기타 가전제품의 회전체(Fan & Motor)에 의한 소음은 방사(Radiation)의 문 제로서 중요 관심 과제이다 수치적 기법으로 근래에 많이 사용하는 방법으 로 BEM(경계요소법), FEM(유한요소법), FDM(유한차분법)이 있는데 본 연 구에서는 유한요소법을 이용하기로 한다. 지금까지는 주로 BEM을 통해서 Far-Field의 음향장을 해석하였지만 복잡한 형상을 갖는 구조물내부에서의 음향장 변화나 구조물 내부에 음원이 존재하는 경우 또는 구조물 자체가 갖 는 물리적 특성치 변화 즉 물체표면에서의 부분 진동문제의 음향장 해석에 있어서 가장 잘 대체해 나갈 수 있는 방법이 유한 요소법이라고 여겨진다. 본 연구에서는 2차원 또는 기하학적으로 축대칭인 3차원 Duct내부에 음원이 존재하는 경우 음원전파에 따른 Near-field와 far-field에서 음의 방향성을 예측하기 위해 먼저 기본적인 유한요소법에 의한 Robin 경계조건을 사용하 여 계산된 결과와 Infinite Element를 도입하여 계산할 결과를 비교하여, Infinite Element가 보다 효율적이며 타당한 결과를 얻음을 확인해 보기로 한다.다 복합적인 측면에서 치료에 임하여야 할 것으로 사료된다. with such configuration.trap with 2.88[eV] deep of injected space charge from the chathode in the crystaline regions. The origin of ${\alpha}$$_2$ peak was regarded as the detrapping process of ions trapped with 0.9[eV] deep originated from impurity-ion remained in the specimen during production process of the material, in the crystalline regions. The origin of ${\beta}$ peak was concluded to be due to the depolarization process of "C=0"dipole with the activation energy of 0.75[eV] in the amorphous regions. The origin of ${\gamma}$ peak was responsible to the process combined with the depolarization of "CH$_3$", chain segment, with the activation energy of carriers from the shallow trap with 0.4[eV], in he amorphous regions.의 증발산율은 우기의 기상자료를 이용하여 구한 결과 0.05 - 0.10 mm/hr 의 범위로서 이로 인한 강우손실량은 큰 의미가 없음을 알았다.재발이 나타난 3례의 환자

  • PDF

저염 굴비 제조 시 열풍건조 온도에 따른 화학적 특성 변화 (Chemical Changes of Low Salt Gulbi (salted and dried yellow corvenia) during Hot-air Drying with Different Temperatures)

  • 곽현정;은종방
    • 한국식품과학회지
    • /
    • 제42권2호
    • /
    • pp.147-154
    • /
    • 2010
  • 열풍건조 온도를 달리한 생조기와 냉동조기의 내장의 유무에 따른 각각의 처리구별로 건조 온도를 달리하여(30, 35, $40^{\circ}C$) 건조기간 동안 화학적 품질 특성에 대해 알아보았다. 산도, pH, 염농도, 휘발성 염기질소, TBARS를 분석한 결과를 요약하면 다음과 같다. 일반적인 전통굴비의 염도는 22-23%정도를 나타내는데 본 연구에서 30, $35^{\circ}C$에서 건조하여 제조한 굴비의 염도는 17-20% 정도로 염도가 더 낮아 저염 굴비의 제조 가능성을 보였다. 또한 $35^{\circ}C$ 건조 처리구의 염도가 $40^{\circ}C$ 건조 처리구에 비해 2-4% 이상 낮은 염도를 나타내어 저염 굴비를 제조하는데 적합한 온도로 결정 할 수 있었다. VBN 함량에서는 30, 35, $40^{\circ}C$ 건조에서 유의적인 차이를 보이지는 않았으나 건조 시간이 경과함에 따라 VBN의 수치가 점차 증가하는 것을 볼 수 있었으며, 이는 굴비의 건조중 변패가 많이 일어난 것으로 여겨진다. 그 외 TBARS 함량 역시 건조기간이 경과할수록 점차 증가하는 경향을 보였으나 제품의 내장 유무에 대한 산패도 측정결과에서는 유의적인 차이는 없었다. 결론적으로, 전통적인 굴비 제조 방법에 비해 $35^{\circ}C$에서 15일 동안 건조 하는 것이 품질이 우수한 저염굴비를 빠르게 제조할 수 있을 것으로 생각되며 물리적 특성 및 관능적 특성에 대한 연구가 필요하다고 생각된다.

디자인공학전공에서의 체계적 모형 제작 스킬 함양을 위한 스튜디오 강의 개발 (Development of Studio Lectures to Develop Systematic Model Making Skills in Industrial Design Engineering Major)

  • 김성준
    • 문화기술의 융합
    • /
    • 제9권4호
    • /
    • pp.153-160
    • /
    • 2023
  • 실물 또는 그에 준하는 모형을 제작하여 디자인 아이디어를 검증하는 과정은 제품 개발 과정에 있어 필수적이다. 이러한 배경에서 본 연구는 디자인공학 전공을 중심으로 기초 단계부터 일정 수준 이상까지의 모형 제작 역량을 체계적으로 함양할 수 있는 교과목 개발 사례를 고찰하는데 목적이 있다. 이를 위한 이론적 고찰로서 산업디자인 등 유관 영역 및 전공에서의 모형 또는 프로토타이핑 등 메이킹 관련 선행연구들을 고찰하고, 이어서 커리큘럼 개발을 위한 방법론적 고찰로 블룸의 개선된 택사노미 모델과 석천홍의 공업디자인 프로그램 모델을 살핀다. 최종적으로는 이를 적용하여 대학 교육의 일반적 한 학기인 16주차 학습에 대응하는 강의 계획이 포함 된 신설 교과목을 제안한다. 연구의 결과, 여전히 물리적 모형을 제작하는 일은 새로운 디자인 개발에 있어 필수적이란 사실을 확인할 수 있었으며, 그에 따라 전공 영역에 맞는 체계적 교육 과정의 수립도 요구된다는 점을 확인하였다. 본 연구의 범위가 교과목 개발까지인 관계로, 후속 연구에서는 실제 적용을 통한 역량 교육으로서의 효용성 검증 및 성찰과 개선된 교과 설계제안 등의 내용이 고찰 될 필요가 있다.

이동식 휠체어 리프트 디자인 연구 (Research on Mobile Wheelchair Lift Design)

  • 이명기
    • 디자인학연구
    • /
    • 제15권4호
    • /
    • pp.275-284
    • /
    • 2002
  • 장애인의 사회ㆍ경제적 지위향상과 인권을 화보하기 위해서는 통합된 사회가 만들어져야 한다. 통합된 사회가 가능하기 위해서는 이동에 있어서나 건축물, 그리고 설비를 이용함에 있어서 접근(Access)이 가능해야 한다. 장애인이 사회생활에서 불이익을 받는 것은 손상(Impairment)이나 장애(Disability)자체가 아니라 장애인을 둘러싼 환경(Environment)의 물리적, 사회적 장벽 때문일 것이다. 이러한 장벽(Barrier)을 제거하여 장애인이 지역사회 안에서 자립하여, 자유롭게 사회활동에 참여할 수 있도록 하기 위해서는 사회전체의 시스템을 장애인이 이용하기 편리한 구조로 재구성하는 것이 필요하다. 이것은 장애인뿐만 아니라 더 나아가서는 모든 사람이 이용하기 편리한 사회를 구축하는 일이 되기 때문이다. 우리나라에서 장애인이 다른 사람의 도움을 받지 않고 안전하고 편리하게 시설물과 설비에 접근하고, 이용할 수 있으며, 원하는 곳으로 자유롭게 이동한다는 것은 아직까지 거의 불가능하다. 현재 설치된 지체장애인 관련 편의시설의 설치량은 많으나 타 시설 및 건축물과의 연계성이 없이 독립적으로 설치되어 이용에 도움이 되지 못하는 경우가 많고, 편의시설이 설치되어 있는 경우에도 형식적으로 설치되어 실제로 장애인 스스로의 이용이 불가능한 경우도 많다. 본 연구는 휠체어사용자들의 공공시설 이용에 있어 접근성을 용이하게 확보하고 시설적 제약 없이 스스로 조작 할 수 있는 새로운 개념의 이동식 휠체어 리프트 디자인을 시도하고자하였다. 연구의 핵심은 기존 수입위주의 단순기능 제품을 새로운 시스템으로 개발하여 기능적 안전성, 품질 고급화와 더불어 장애인 보조기기분야에서 새로운 이미지의 디자인 적용을 통하여 수입대체 효과와 더불어 해외시장 진출로 이동식휠체어 리프트 시장의 선점, 우위를 목표로 연구 개발하였다. 걸쳐 지속적으로 가집이 편찬되었던 구체적 동인이었을 것임을 진단해 보았다. 특정시기 가곡향유의 실질은 곧 가곡의 곡 해석방식에 직결될 것이기 때문이다.를 선택하는가 하는 디자이너 측면의 요인이 감성 품질과 밀접함 관련이 있음을 알 수 있었다.멘트들의 재배열이 주된 역할을 하는 것으로 해석할 수 있다. 한편 고자장 영역에서는 correlation time 중 $\tau$가 주된 역할을 담당하는데는 $\tau$는 나노 입자의 크기와 연관되어 있으며 고자장에서 입자 크기에 따른 T1 이완율(R1)과 T2 이완율(R2)의 차이는 이러한 입자크기의 차이에 의해 발생하는 것으로 해석할 수 있다. 나노입자에 포함된 철 원자수를 변화시키는 경우 철 원자수가 증가 할 수록 R1과 R2가 증가하는 결과를 나타내었다. 한편 온도변화에 따른 T1, T2 자기이완시간의 변화는 정상체온 근처의 제한적인 온도범위내에서 저자장 영역에서의 아주 작은 변화를 제외하고는 큰 차이를 보이지 않았으나 T1에 비해 T2에서 이러한 변화가 상대적으로 더 작게 나타났다. 결론 : 임상적 다기능성을 나타낼 가능성이 많은 것으로 보고되고 있는 미세 초상자성 산화철 입자의 자기이완에 대한 이론적 모델을 초상자성 나노입자의 물리적 특성에 기초하여 제시하였고 이러한 이론적 모델에 근거한 미세 초상자성 산화철 입자의 자기장의 세기에 따른 자기 이완시간의 변화를 컴퓨터 모의 실험을 통해 조사하였다.다.있는 것으로 보여진다. 따라서 혈압 저하를 목적으로 하는 나트륨 제한식의 실시는 다양한 체내의 생화학적 변화를 고려해서 이루어져야 할 것이며, 앞으로 이에 대한 보다 다각적인 연구가 요구된다.CSU-23 배양배지에서 배양하는 것이 좋다는 결과를 얻었다. and those a having sufficient sleep were

  • PDF

컨벤션 개최지에 대한 만족도가 도시 이미지에 미치는 영향에 관한 연구 - 2009천안웰빙식품 엑스포 중심으로 - (Study on the impact of satisfaction with convention destination on city image: Focusing on Cheonan 2009 Well-being Food Expo's case)

  • 류평위;전인오
    • 경영과정보연구
    • /
    • 제28권4호
    • /
    • pp.253-291
    • /
    • 2009
  • 컨벤션 유형의 하나인 엑스포(Expo)는 일반대중의 계몽을 그 주된 목적으로 하는 전시회를 말한다. 신선하고 건강미 넘치는 웰빙식품의 전시물들을 전시하기는 하지만, 그 직접적인 목적은 제품의 구매자를 찾는 것이 아니라 제품의 가치, 유용성, 독창성을 제시하는 데 있다. 따라서 세계인들이 만나는 엑스포는 그 시대에 살아있는 다양한 모습 또는 미래의 모습을 관람객에게 체험적으로 교육 시키는 장이라고 할 수 있다. 본 연구에서는 엑스포의 기획, 홍보에 있어서 체계적이고 합리적인 방안을 제시하기 위해서 엑스포의 개최지 속성 요인을 파악하고 관람 후 도시이미지 형성과 관련성을 알아보고자 한다. 이를 위해서 개최지 속성과 관람 만족 후 구전활동, 도시이미지 형성과의 관련성을 밝힘으로써 엑스포 관람자들의 세부적인 만족관계를 밝힘으로써 효율적인 엑스포 관람자 관리방안을 제시하고자 한다. 본 연구의 목적을 달성하기 위하여, 선행연구를 통하여 도출된 측정도구를 바탕으로 '2009천안 웰빙(Well-Being)식품 엑스포' 관람한 방문자 중심으로 각각의 요인들과의 관계성을 밝히고자 한다. 이를 바탕으로 실증분석을 통하여 산출된 결과를 바탕으로 향후 '2009천안 웰빙(Well-Being)식품 엑스포' 관람자 선택 영향요인의 대안요소를 밝히고, 지속적인 관람자 관리 방안을 제시함으로써 '2009천안 웰빙(Well-Being)식품 엑스포'의 질적인 향상을 기대하고 엑스포 관람자 만족도를 높게 할 수 있는 방안을 제시하고자 한다.

  • PDF

아사이베리 농축액 함유 나노캡슐을 첨가한 머핀의 항산화 활성 및 품질 특성 (Physicochemical and antioxidant properties of muffins with acai berry concentrate-loaded nanocapsules)

  • 박재범;이광연;이현규
    • 한국식품과학회지
    • /
    • 제53권2호
    • /
    • pp.181-186
    • /
    • 2021
  • 본 연구는 아사이베리 농축액 함유 나노캡슐을 첨가하여 제조한 머핀의 항산화 안정성을 알아보고자 머핀 제조 전 나노캡슐의 물리적 특성 및 항산화 활성을 분석하였으며, 이를 머핀에 적용한 후 품질특성 및 베이킹 시간에 따른 항산화 활성을 조사하였다. 아사이베리 농축액 함유 나노캡슐의 물리적 특성은 열안정성을 높이기 위해 피복물질인 키토산과 아라비아 검의 농도가 높은 나노캡슐 중에 PDI 값 0.26을 선택하여 제조한 후 총 페놀함량, DPPH 라디칼 소거능 및 FRAP 환원능을 측정한 결과, 모두 캡슐화하지 않은 아사이베리 농축액이 나노캡슐화 한 아사이베리 농축액보다 높았는데, 이는 나노캡슐화에 의해 아사이베리 농축액이 포집되어 충분한 활성을 내지 못했기 때문으로 판단된다. 머핀의 색도는 나노캡슐을 첨가한 머핀과 농축액을 첨가한 머핀이 대조군과 비교하여 L* 값, b* 값은 유의적으로 감소하였으며, a* 값은 유의적으로 증가하였다(p<0.05). pH 또한 대조군과 비교하여 나노캡슐을 첨가한 머핀과 농축액을 첨가한 머핀이 농축액에 의해서 유의적으로 감소하였으나(p<0.05), 캡슐화에 의한 차이는 보이지 않았다. 머핀의 외관 및 수분함량은 나노캡슐을 첨가한 머핀과 농축액을 첨가한 머핀 모두 대조군과 비교하여 유의적 차이가 나지 않았으며, 조직감에서는 경도(hardness)와 씹힙성(chewiness)은 나노캡슐화에 따라 증가하여 대조군 및 free 머핀과 유의적인 차이(p<0.05)를 나타낸 반면에, 탄력성(springiness)과 응집성(cohesiveness)은 샘플 간 유의적인 차이를 나타내지 않았다. 저장기간에 따라서는 경도(hardness)는 샘플의 종류에 관계없이 유의적으로 증가(p<0.05)한 반면에, 탄력성(springiness)은 샘플 간 뚜렷한 경향성을 보이지 않았으며, 응집성(cohesiveness)은 샘플의 종류에 관계없이 저장기간에 따라 유의적으로 감소하였고(p<0.05), 씹힙성(chewiness)은 경도(hardness)와 유사한 경향을 나타내었다. 아사이베리 농축액 함유 나노캡슐을 첨가한 머핀의 베이킹 시간에 따른 항산화 활성을 확인하고자 170℃에서 0, 20, 40분 단위로 총 페놀 함량, DPPH 라디칼 소거능, FRAP 환원능을 측정한 결과 머핀이 완성되는 40분에서 나노캡슐 첨가 머핀의 항산화 활성이 유의적으로 높아 아사이베리 농축액의 열 안정성이 유지됨을 확인하였다. 이상의 결과를 종합하여 볼 때, 아사이베리 농축액 함유 나노캡슐을 첨가한 머핀이 대조군과 비교하여 품질적 특성은 거의 유사했고, 아사이베리 농축액의 열 안정성은 개선되었는데 이는 아사이베리 농축액 함유 나노캡슐을 활용한 기능성 베이커리 제품개발의 기초자료로 활용될 수 있을 것으로 생각된다.

디자인재료의 문화적 특성에 관한 연구 (A Study on the Cultural Characteristics of the Design Material)

  • 박종찬
    • 디자인학연구
    • /
    • 제11권3호
    • /
    • pp.149-162
    • /
    • 1998
  • 본 연구는 산업디자인에서 재료가 갖는 중요성을 살펴보고자 한 것이다. 제품계획이 디자인의 시작이라면 재료의 사용은 디자인을 완성시키는 마지막 단계라 말할 수 있다. 디자인 재료는 인류가 탄생되기 이전부터 존재해 왔으며 지금도 꾸준히 인간에 유용한 새로운 재료가 개발되고 있다. 우리 환경은 재료로 둘러싸여진 재료의 집합체라고 보아도 과언이 아닌데 재료는 물리적 특성과 함께 시·공간적이며, 문화적 특성을 지니고 있다. 또한 재료의 성질에 따라 각종 정보전달기능이 내포되어 있으며, 재료의 외부표면은 인간의 감각기관을 개발시키는 기능도 갖고 있다. 연구결과 나타난 디자인 재료의 4가지 문화적 특성을 살펴보면, 첫째 새로운 형태를 유도하는 기술적 진보 성, 둘째 커뮤니케이션 기능을 수행하는 상징성, 셋째, 표면효과를 개발시키는 감각적 속성, 넷째, 신소재, 신기술 등 미래를 확신시켜 주는 미래지향성 등이 있을 수 있다. 따라서 경재 력 있는 디자인을 수행하기 위해서 무엇보다도 재료와 디자인과의 조화. 구조와 가공, 그리고 재료가 갖는 실질적 의미를 파악하고 적절히 적용시키는 것이 중요하다. 왜냐하면 재료의 발견은 곧 미래디자인을 예측하는 척도가 될 것이기 때문이다.

  • PDF

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

  • 정지현;강봉균;김민수;이종명;이규필;박진구
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
    • /
    • pp.66.1-66.1
    • /
    • 2011
  • 반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

  • PDF