Scheduling and Determination of Feasible Process Times for CVD Cluster Tools with a Dual End Effector (두 팔을 가진 화학 박막 증착용 클러스터 장비의 스케줄링과 공정 시간 결정)
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- Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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- 2000.04a
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- pp.107-110
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- 2000