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진공공정 실시간 측정 기술 개발 동향

  • Sin, Yong-Hyeon;Hong, Seung-Su;Im, In-Tae;Seong, Dae-Jin;Im, Jong-Yeon;Kim, Jin-Tae;Kim, Jeong-Hyeong;Gang, Sang-U;Yun, Ju-Yeong;Yu, Sin-Jae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.28-28
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    • 2011
  • 우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 이들 산업 분야에서는 우리나라가 세계 최고의 생산 기술을 가지고 있으므로 자체적인 기술 개발 확보가 중요하다. 최근에는 기존에 개발되어 있는 장비의 성능을 뛰어넘어야 하는 공정 기술력이 요구되면서, 진공 공정 기술 개발이 매우 중요한 이슈가 되었다. 반도체나 디스플레이 산업 등 기존 주력산업의 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서뿐 아니라 태양전지, LED 등 진공기술을 이용한 신성장 동력 산업의 생산 시스템 경쟁력 확보 측면에서도 진공 공정 기술 개발 중요성은 매우 크다. 지금까지 양산에 적용되는 증착, 식각, 확산 등 진공 공정 운영은, 사전 시험을 통해 얻은 최적 공정의 입력 파라미터들을 정해 놓고 그대로 공정을 진행한 뒤, 생산되어 나오는 제품의 상태를 사후 측정하여 공정 이상 여부를 점검하고 미세 조정하는 형태로 진행되고 있다. 실질적으로 현재 진행 중인 진공 공정에 대한 직접적인 정보가 없으므로 공정 중 발생되는 문제들에 대한 대처는 그 공정이 끝난 후에 이루어지는 상황이다. 공정 미세화 및 대구경화에 따라 기존의 wafer to wafer 제어 개념 보다 발전된 개념으로 센서 기반 실시간 공정 진단 제어 기술의 필요성이 대두되었으며 이를 위한 오류 인식 및 예지기술 (Fault Detection & Classification, FDC) 그리고 이 정보를 이용한 첨단 제어 기술(Advanced Process Control, APC)을 개발하는 노력들이 시작되었다. 한국표준과학연구원에서는 수요기업인 대기업과 장비업체, 센서 개발 중소기업 및 학교 연구소와 공동으로 진공 공정 실시간 측정 진단 제어와 관련된 연구를 하고 있다. 진공 공정 환경측정 기술, 플라즈마 상태 측정 기술, 진공 공정 중 발생하는 오염입자 측정 원천 기술 개발과 이를 구현하기 위한 센서 개발, 화학 증착 소스 및 진공 공정 부품용 소재에 대한 평가 플랫폼 구축, 배기 시스템 진단기술 개발 등 현재 진행되고 있는 기술 개발 내용과 동향을 소개한다. 진공 공정 실시간 측정 기술이 확보되면 차세대 반도체 제작에 필요한 정밀 공정 제어가 가능해지고, 공정 이상에 바로 대응 혹은 예방 할 수 있으며, 여유분으로 필요 이상으로 투입되던 자원(대기시간, 투입 재료, 대체용 장비)을 절감하는 등 생산성을 향상을 기대할 수 있다. 또한 진공 환경에서 이루어지는 박막 증착, 식각 공정 과정에 대한 이해가 높아지고, 공정을 개발하고 최적화하는데 유용한 정보를 제공할 수 있으므로, 기존 장비와 차별화된 경쟁력을 가진 고품위 진공 장비 및 부품 개발에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

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A Comparative Study of Two Paradigms in Information Retrieval: Centering on Newer Perspectives on Users (정보검색에 있어서 두 패러다임의 비교분석 : 이용자에 대한 새로운 인식을 중심으로)

  • Cho Myung-Dae
    • Journal of the Korean Society for Library and Information Science
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    • v.24
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    • pp.333-369
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    • 1993
  • 정보검색 시스템을 대하는 대부분의 이용자의 대답은 '이용하기에 어렵다'라는 것이다. 기계적인 정보검색을 기본 철학으로 하는 기존의 matching paradigm은 정보 곡체를 여기 저기 내용을 옮길 수 있는 물건으로 간주한다. 그리고 기존의 정보시스템은 이용자가 시스템을 구성한 사람의 의도 (즉, indexing, cataloguing rule)를 완전히 이해한다면, 즉 완전하게 질문식(query)을 작성한다면, 효과적인 검색을 할 수 있는 그런 시스템이다. 그러나 어느 이용자가 그 복잡한 시스템을 이해하고 정보검색을 할 수 있겠는가? 한마디로 시스템을 설계한 사람의 의도로 이용자가 적응해서 검색을 한다는 것은 아주 힘든 일이다. 그러나 우리가 이용자에 대한 인식을 다시 한다면 보다 나은 시스템을 만들 수 있다고 본다. 우리 인간은 아주 창조적이어서 자기가 처한 상황에서 이치에 맞게끔 자기 나름대로의 행동을 할 수 있다(sense-making approach). 이 사실을 인식한다면, 왜 이용자들의 행동양식에 시스템 설계자가 적응을 못하는 것인가? 하고 의문을 던질 수 있다. 앞으로의 시스템이 이용자들의 자연스러운 행동 패턴에 맞게 끔 설계된다면 기존의 시스템과 함께 쉽게 이용할 수 있는 편리한 시스템이 설계될 수 있을 것이다. 그러므로 도서관 및 정보학 연구에 있어서 기존의 분류. 목록에 대한 연구와 이용자체에 대한연구(예를 들면, 몇 시에 이용자가 많은가? 어떤 종류의 책을 어떤 계충에서 많이 보는가? 도서 및 잡지가 어떻게 양적으로 성장해 왔는가? 등등의 use study)와 함께 여기서 제시한 제3의 요소인 이용자의 인식(cognition)을 시스템설계에 반드시 도입을 해야만 한다고 본다(user-centric approach). 즉 이용자를 중간 중간에서 도울 수 있는 facilitator가 많이 제공되어야 한다. 이용자의 다양한 패턴의 정보요구(information needs)에 부응할 수 있고, 질문식(query)을 잘 만들 수 없는 이용자를 도울 수 있고(ASK hypothesis: Anomolous State of Knowledge), 어떤 질문식 없이도 자유스럽게 Browsing할 수 있는(예를 들면 hypertext) 시스템을 설계하기 위해서는 눈에 보이는 이용자의 행동패턴(external behavior)도 중요하지만 우리 눈에는 보이지 않는 이용자의 심리상태를 이해한다면 훨씬 나은 시스템을 만들 수 있다. 이용자가 '왜?' '어떤 상황에서,' '어떤 목적으로,' '어떻게,' 정보를 검색하는지에 대해서 새로운 관심을 들려서 이용자들이 얼마나 우리 시스템 설계자들의 의도에 미치지 못한다는 사실을 인식 해야한다. 이 분야의 연구를 위해서는 새로운 paradigm이 필수적으로 필요하다고 본다. 단지 'user-study'만으로는 부족하며 새로운 시각으로 이용자를 연구해야 한다. 가령 새롭게 설치된 computer-assisted system에서 이용자들이 어떻게, 그리핀 어떤 분야에서 왜 그렇게 오류 (error)를 범하는지 분석한다면 앞으로의 computer 시스템 선계에 큰 도움을 줄 수 있을 것으로 믿는다. 실제로 많은 방법이 개발되고 있다. 그러면 시스템 설계자가 가졌던 이용자들이 이러 이러한 방식으로 정보검색을 할 것이라는 예측과(즉, conceptual model) 실제 이용자들이 정보검색을 할 때 일어나는 행동패턴 사이에는(즉, mental model) 상당한 차이점이 있다는 것을 알게 될 것이다. 이 차이점을 줄이는 것이 시스템 설계자의 의무라고 생각한다. 결론적으로, Computer에 대한 새로운 지식과 함께 이용자들의 인식을 연구할 수 있는, 철학적이고 방법론적인 연구를 계속하나가면서, 이용자들의 행동패턴을 어떻게 시스템 설계에 적용할 수 있는 지를 연구해야 한다. 중요하게 인식해야할 사실은 구 Paradigm을 완전히 무시하라는 것은 아니고 단지 이용자에 대한 새로운 인식을 추가하자는 것이다. 그것이 진정한 User Study가 될 수 있는 길이라고 생각하며, 컴퓨터와 이용자 사이의 '원활한 의사교환'이 필수불가결 한 지금 우리 학문이 가야 할 한 연구분야이다. (Human Interaction with Computers)

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An Analysis on Problem-Finding Patterns of Well-Known Creative Scientists (잘 알려진 창의적 과학자들의 과학적 문제 발견 패턴 분석)

  • Kim, Youngmin;Seo, Hae-Ae;Park, Jongseok
    • Journal of The Korean Association For Science Education
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    • v.33 no.7
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    • pp.1285-1299
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    • 2013
  • Nurturing students' scientific creativity is considered an important element in science education in Korea. The study aims to explore patterns displayed by well-known scientists in their quest for problem finding. Each case of scientists' course of problem solving is described in terms of historical background, a process of problem finding, and a process of problem solving. There are five patterns from ten scientists which are as follows: Pattern 1 is that scientists find problems from insufficiencies and/or errors from explanation of theories at the time and the related cases are A. Lavoisier, G. Mendel, and J. Watson. Pattern 2 shows that scientists find a problem because of strange phenomena unexplained by theories at the time, and here important case studies are E. Rutherford and W. R$\ddot{o}$ntgen. Pattern 3 demonstrates that scientists find a problem from analogical reasoning between known theories and unknown science phenomena. The cases include S. Carnot and T. Young. Pattern 4 points to the fact that scientists find a problem while they utilize a newly invented experimental instrument. Here, G. Galilei is an important example. Pattern 5 establishes that scientists happen to find a problem while they conduct research projects. The works of M. Faraday and J. Kepler are prominent case studies related to this pattern.

The affect of Writing Programs on the Writing Strategies of College Students - Focused on the Occupational Therapy Students - (글쓰기 프로그램이 대학생의 글쓰기 전략에 미치는 영향 - 작업치료 전공 학생 중심으로 -)

  • Paik, Young-Rim
    • The Journal of Korean society of community based occupational therapy
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    • v.8 no.1
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    • pp.45-54
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    • 2018
  • Objective : It is one of the most important job tasks to write to occupational therapist, so I want to apply the writing program to the students who use mobile language as the main communication and to investigate the effect. Methods : This study was conducted with 7 freshman students for a total of 10 sessions, once a week, for 2 hours at a time. In addition, after reading the recommended books, I made a total of two manuscripts with the book report and then carried out the supplementary instruction. Changes in the writing program were made using self - questionnaires and changes in the writing of the manuscripts were confirmed by the number of times. Results : As a result of the self-questionnaire, the participants considered the logical aspect of the writing and the consistency of the writing after participating in the writing program, and after the writing, the grammatical aspect was reviewed and the sentence was revised. In addition, the number of secondary corrections was reduced by an average of 7 times more than the number of primary corrections. Conclusion : In order to create a document which is one of the important tasks for occupational therapist, systematic education will be needed to create a more logical and grammatical error-free article.

A Study on Acceptance Vitalizations Plans of NEIS Parents Services Based on ANP BCR Model: Targeting Elementary School Parents (ANP의 BCR 모델에 기반한 교육행정정보시스템(NEIS) 학부모서비스의 수용 활성화 방안 연구: 초등학교 학부모를 대상으로)

  • Seo, Hyun-Sik;Song, In-Kuk
    • The KIPS Transactions:PartD
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    • v.18D no.5
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    • pp.357-370
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    • 2011
  • The study aims to examine the service preference between the NEIS(National Education Information Systems) and alternatives, based on the benefits, costs and risks of NEIS service for parents, and finally propose the vitalizations plans for that public services. As a part of public services, NEIS has not only provided the educational information for the students, which enables school parents to suffice for information need, and but also leaded in the parents' participation for the various educational policies. However, major NEIS users such as teachers and parents recently began to blame for the various data errors and connection failures of NEIS. Despite of the research importance, most of NEIS studies severely depended on TAM and researches investigating the preference of school parents for NEIS services rarely exist. The study classifies NEIS parents services into benefits, costs, and risks based on ANP BCR model, identifies the preference for the services, compares the NEIS services and alternatives, and provides the results of sensitivity analyses. The analyses identify that NEIS was not frequently used by school parents and that the service preference of the school parents was not considered yet. Consequently, the study stresses the acceptance vitalizations plans for NEIS.

Analysis and Implications of Korean Health Authorities' Fulfillment on World Health Organization's Recommendations for Mask Use: Focused on COVID-19 (세계보건기구의 마스크 사용 지침에 대한 한국 보건당국의 이행 분석과 함의: 코로나 바이러스 감염병을 중심으로)

  • Kim, MyungHee
    • Journal of Convergence for Information Technology
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    • v.10 no.8
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    • pp.77-86
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    • 2020
  • The study aims to analyze the compliance and non-compliance of the Korean health authorities regarding WHO's mask use recommendations following the spread of Covid-19, and to suggest the limitations and implications of the recommendations in the prevention of epidemics by deriving the causes of non-compliance with the results of alternative options. To this end, documents related to masks at home and abroad are reviewed, and WHO's mask recommendations and the Korean health authorities' mask guidelines are targeted for analysis. The analysis results are as follows. First, Korea's health authorities have basically accepted and applied WHO's "limited mask user perspective" in two recommendations. Second, Korea's health authorities have implemented differently from WHO mask recommendations due to the lack of supply and demand of masks. Third, Korea's health authorities were able to succeed in the initial prevention of Corona 19 based on the stabilization of the mask supply. Fourth, in the WHO mask recommendations, mask user restriction resulted in partial errors as a recommendation. The implication derived from the analysis is that even international recommendations based on medical evidence need to be allowed to follow autonomous guidelines according to the country's quarantine situation and competence, rather than strict adherence to international rules, in the infectious disease pandemic situation.

CALS환경에서 기업간 정보공유의 범위에 관한 연구

  • 고일상
    • Proceedings of the CALSEC Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.41-50
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    • 1999
  • 최근의 CALS 시스템 구축 가속화 및 전자상거래 활성화 분위기는 정보기술의 전략적 활용의 초점을 개별기업 위주에서 기업간 협력체제 구축과 이를 바탕으로 하는 기업간 전자적 결합(Electronic Integration)으로 옮기고 있다. 우리는 정보기술의 공유를 기반으로 새로운 기업간의 관계를 구축할 수 있으며, 이러한 관계를 전략적으로 활용함으로써 기존 사업에서의 경쟁우위 뿐만 아니라, 새로운 사업기회를 창출할 수 있다. 관련기업간의 데이터 표준화를 통한 정보의 공유는 CALS 시스템 구축의 바탕이 된다고 할 수 있는데, 정보공유의 범위는 산업별 특성과 제품별 특성에 따라 달라질 수밖에 없으며, 관련기업간의 교섭력(Bargaining Power)에 의해서도 영향을 받게된다. CALS 환경에서는 개별기업의 정보전략에 따라 수직적 협력관계에 있는 기업들간의 정보공유 정도와 수평적 협력관계에 있는 기업들간의 정보공유 정도가 결정된다고 할 수 있다. 정보공유의 범위를 설정하는 데에는 기업간에 이루어지는 업무의 성격, 공급-제조-유통으로 연결되는 관련기업간의 구조 등도 크게 영향을 미치는 것으로 파악되고 있다. 이 연구에서는 CALS 시스템 구축과정에서 우리가 고려할 수 있는 정보공유의 범위를 관련업무공유, 시스템공유, 부품 설비공유, 시설공유 등의 관점에서 분석하여 봄으로써, 각 산업별로 진행되고 있는 시범사업들의 시스템 영역의 범위를 재조명해보고자 한다. 이 연구에서 집중적으로 다루게 될 정보공유의 범위에 대한 내용은 CALS 시스템을 개발하려는 기업들의 응용서비스 개발 및 정보전략 구축에 중요한 공헌을 할 수 있을 것으로 기대된다.진" 사업에 대한 표준 설정을 위하여 노스캐롤라이나주 지방보건소의 "보건교육/건강증진" 표준체제를 예로 들었다. 다음으로, 경제적인 효율면에서 볼 때 "보건교육/건강증진" 사업에는 단기 혹은 장기 투자가치가 있는가 하는 것이다. 새로 태어나는 미국 지방 보건소의 "보건교육/건강증진" 활동은 지역 시민 및 그 단체가 광범위하고도 자연 다발적으로 참여할 때만 성공할 수 있다고 결론 지울 수 있다.한 분야별 전문가시스템 개발을 지양하고 MCRDR이론을 기반으로 한 범용성 있는 전문가시스템 개발 툴의 개발에 관한 연구를 소개한다. 후 새로운 지식을 얻는 반복적인 Explanation-based Data Mining Architecture를 제시하였다. 본 연구의 의의로는 데이타 마이닝을 통한 귀납적 지식생성에 있어 귀납적 오류의 발생을 고메인 지식을 통해 설명가능 함을 보임으로 검증하고 아울러 이러한 설명을 통해 연역적으로 새로운 가설지식을 생성시켜 이를 가설검증방식으로 검증함으로써 귀납적 접근과 연역적 접근의 통합 데이타 마이닝 접근을 제시하였다는데 있다.gical learning to give information necessary to improve the making. program and policy decision making, The objectives of the study are to develop the methodology of modeling the socioeconomic evaluation, and build up the practical socioeconomic evaluation model of the HAN projec

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Reinforcement Method for Automated Text Classification using Post-processing and Training with Definition Criteria (학습방법개선과 후처리 분석을 이용한 자동문서분류의 성능향상 방법)

  • Choi, Yun-Jeong;Park, Seung-Soo
    • The KIPS Transactions:PartB
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    • v.12B no.7 s.103
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    • pp.811-822
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    • 2005
  • Automated text categorization is to classify free text documents into predefined categories automatically and whose main goals is to reduce considerable manual process required to the task. The researches to improving the text categorization performance(efficiency) in recent years, focused on enhancing existing classification models and algorithms itself, but, whose range had been limited by feature based statistical methodology. In this paper, we propose RTPost system of different style from i.ny traditional method, which takes fault tolerant system approach and data mining strategy. The 2 important parts of RTPost system are reinforcement training and post-processing part. First, the main point of training method deals with the problem of defining category to be classified before selecting training sample documents. And post-processing method deals with the problem of assigning category, not performance of classification algorithms. In experiments, we applied our system to documents getting low classification accuracy which were laid on a decision boundary nearby. Through the experiments, we shows that our system has high accuracy and stability in actual conditions. It wholly did not depend on some variables which are important influence to classification power such as number of training documents, selection problem and performance of classification algorithms. In addition, we can expect self learning effect which decrease the training cost and increase the training power with employing active learning advantage.

The Use of Traditional Algorithmic Versus Instruction with Multiple Representations: Impact on Pre-Algebra Students' Achievement with Fractions, Decimals, and Percent (전통적 알고리즘 교수법과 다양한 표상을 활용한 교수법의 비교: 분수, 소수, 퍼센트 내용을 중심으로)

  • Han, Sunyoung;Flores, Raymond;Inan, Fethi A.;Koontz, Esther
    • School Mathematics
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    • v.18 no.2
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    • pp.257-275
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    • 2016
  • The purpose of this study was to investigate the impact of multiple representations on students' understanding of fractions, decimals, and percent. The instructional approach integrating multiple representations was compared to traditional algorithmic instruction, a form of direct instruction. To examine and compare the impact of multiple representations instruction with traditional algorithmic instruction, pre and post tests consisting of five similar items were administered with 87 middle school students. Students' scores in these two tests and their problem solving processes were analyzed quantitatively and qualitatively. The quantitative results indicated that students taught by traditional algorithmic instruction showed higher scores on the post-test than students in the multiple representations group. Furthermore, findings suggest that instruction using multiple representations does not guarantee a positive impact on students' understanding of mathematical concepts. Qualitative results suggest that the limited use of multiple representations during a class may have hindered students from applying their use in novel problem situations. Therefore, when using multiple representations, teachers should employ more diverse examples and practice with multiple representations to help students to use them without error.

An Experimental Study on the Understanding of the Differential Concept Based on the Historical-Genetic Process Using a Technological Device (미분 개념의 이해에 관한 수업 사례 - 공학적 도구를 활용한 역사 발생적 과정을 토대로 -)

  • Hwang, Hye Jeang;Kim, Mi Hyang
    • School Mathematics
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    • v.18 no.2
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    • pp.277-300
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    • 2016
  • In school mathematics, the definition and concept of a differentiation has been dealt with as a formula. Because of this reason, the learners' fundamental knowledge of the concept is insufficient, and furthermore the learners are familiar with solving routine, typical problems than doing non-routine, unfamiliar problems. Preceding studies have been more focused on dealing with the issues of learner's fallacy, textbook construction, teaching methodology rather than conducting the more concrete and efficient research through experiment-based lessons. Considering that most studies have been conducted in such a way so far, this study was to create a lesson plan including teaching resources to guide the understanding of differential coefficients and derivatives. Particularly, on the basis of the theory of Historical Genetic Process Principle, this study was to accomplish the its goal while utilizing a technological device such as GeoGebra. The experiment-based lessons were done and analyzed with 68 first graders in S high school located in G city, using Posttest Only Control Group Design. The methods of the examination consisted of 'learning comprehension' and 'learning satisfaction' using 'SPSS 21.0 Ver' to analyze students' post examination. Ultimately, this study was to suggest teaching methods to increase the understanding of the definition of differentials.