• 제목/요약/키워드: 계면활성제선택

검색결과 63건 처리시간 0.029초

STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마 입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향 (Effects of Abrasive Size and Surfactant Concentration on the Non-Prestonian behavior of Nano-Ceria Slurry for STI CMP)

  • 김성준;;강현구;백운규;박재근
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
    • /
    • pp.64-64
    • /
    • 2003
  • 고집적화된 시스템 LSI 반도체 소자 제조 공정에서 소자의 고속화 및 고성능화에 따른 배선층수의 증가와 배선 패턴 미세화에 대한 요구가 갈수록 높아져, 광역평탄화가 가능한 STI CMP(Shallow Trench Isolation Chemical-Mechanical-Polishing)공정의 중요성이 더해가고 있다. 이러한 STI CMP 공정에서 세리아 슬러리에 첨가되는 계면활성제의 농도에 따라 산화막과 질화막 사이의 연마 선택비를 제어하는 것이 필수적 과제로 등장하고 있다. 일반적인 CMP 공정에서 압력 증가에 따른 연마 제거량이 Prestonian 거동을 나타내는 반면, 연마 입자의 크기를 변화시켜 계면활성제의 농도를 달리 하였을 경우, 압력 변화에 따라 Non-Prestonian 거동이 나타나는 것을 고찰할 수 있었다. 따라서 본 연구에서는 세리아 슬러리 내에 첨가되는 계면활성 제의 농도와 연마입자의 크기를 달리한 후, 압력을 변화시킴으로 나타나는 non-Prestonian 거동에 미치는 영향에 대하여 연구하였다.

  • PDF

음향화학법을 이용한 균일한 나노 자성체의 합성 (Synthesis of Monodisperse Magnetite Nanocrystallites Using Sonochemical Method)

  • 조준희;고상길;안양규;송기창;최은정
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제16권3호
    • /
    • pp.163-167
    • /
    • 2006
  • 초음파 조사 및 계면활성제 첨가에 따른 입자의 변화를 연구하기 위하여 침전법, 음향화학적 침전법 그리고 게면활성제를 첨가한 음향화학적 침전법으로 나노 입자를 합성하였고, X-선 회절실험을 통하여 마그네타이트가 합성된 것을 확인하였다. 침전법, 음향화학적 침전법으로 합성한 입자의 크기는 계면활성제를 첨가한 음향화학적 침전법으로 합성한 입자보다 크게 얻어졌고, 초음파 출력이 증가 할수록 크기는 증가하였다. 계면활성제로 올레인 산을 첨가한 음향화학적 기법에서는 게면활성제의 농도에 따라 입자 크기를 선택적으로 조절하여 합성할 수 있었고, 단순 침전법이나 음향화학적 기법에서 보다 생성되는 입자의 크기 분포가 좁게 나타났다. 마그네타이트 나노 입자들의 자기적 특성을 SQUID를 통하여 분석한 결과, 실온에서 모두 초상자성 거동을 보이는 것으로 나타났다.

계면활성제를 이용한 오염복원에 있어서 계면 활성제 용액 pH의 효과 (Effect of Surfactant Solution pH on Surfactant-Assisted Remediation)

  • Dal-Heui Lee;Rovert D. Cody
    • 자원환경지질
    • /
    • 제34권3호
    • /
    • pp.301-306
    • /
    • 2001
  • 계면활성제를 이용한 오염복원에 있어서 제거효율에 영향을 주는 계면활성제 용액 pH의 최적범위를 조사하기 위하여 주상실험이 수행되었다. 톨루엔과 1,2,4-trichlorobenzene이 소수성 유기 화합물로서 선택되었다. 4%(v/v)의 sodium diphenyl oxide disulfonate(DOSL), trideceth-19-carboxylic acid(TDCA), octylphenoxypoly ethosye-thanol(OPEE)을 사용하여 두 종류의 아이오와 토양(Fruitfield sand, Webster clay loam)에 대한 용출실험을 수행하였다. 실험결과, 톨루엔과 1,2,4-trichlorobenzene의 제거효율은 계면활성제 용액 pH 10에서 나타났고, Furifield 사질토양에서 DOSL을 이용한 경우 최대 제거효율은 각각 94%, 97%였다. Fruitfield 사질토양에서 DOSL을 사용한 경우, pH 조절에 의하여 증가된 톨루엔과 1,2,4-trichlorobenzene의 제거효율은 각각 16%와 20%였다. Webster clay loam에서 DOSL을 이용한 경우 최대 제거효율은 각각 89%, 93%였다. Webster clay loam에서 DOSL을 사용한 경우, pH 조절에 의하여 증가된 톨루엔과 1,2,4-trichlorobenzene의 제거효율은 각각 26%와 19%였다. 이러한 실험결과는 NAPLs로 오염된 토양을 복원하는데 있어서 계면활성제 용액의 pH를 높게 유지하는 것이 바람직하다는 것을 의미한다.

  • PDF

계면활성제와 폭기를 이용한 대수층의 특정깊이에 존재히는 휘발성 유기오염물질 (톨루엔)의 휘발제거 (Removal of Volatile Organic Contaminant(toluene) from Specific Depth in Aquifer Using Selective Surfactant-Enhanced Air Sparging)

  • 송영수;권한준;양수경;김헌기
    • 자원환경지질
    • /
    • 제43권6호
    • /
    • pp.565-571
    • /
    • 2010
  • 계면활성제를 이용하여 대수층의 특정층에 존재하는 휘발성 오염물질을 선택적으로 제거할 수 있는 새로운 지하수 폭기기술을 개발하였다. 모래가 충진된 실험설 규모의 물리적 모델을 이용하여 이 폭기기술의 효율성을 검증하였다. 모델의 특정깊이(바닥으로부터 약 22 cm)에 일정한 두께로 존재하는 용해된 상태의 톨루엔 플룸을 제거하는 실험을 실시하였으며, 오염물질이 존재하는 영역의 표면장력을 저감하기 위하여 음이온계 계면활성제인 SDBS(Sodium dodecylbenzene sulfonate)를 주입하였다. 또한 비교를 위하여 동일한 조건에서 계면활성제가 주입되지 않은 실험도 실시하였다. 오염영역의 하부로부터 공기로서 폭기한 결과, 계면활성제에 의하여 저감된 표면장력의 효과에 의하여 오염영역에 대한 폭기영향권의 크기가 현저히 증가하였으며 그 결과 70%이상의 톨루엔이 제거되었다. 반면 계면활성제가 주입되지 않은 조건에서는 20%이하의 톨루엔만 제거되었다. 이는 계면활성제에 의하여 표면장력이 낮아져 폭기 과정에서 플룸에 대한 공기주입이 매우 효율적으로 이루어졌으며, 따라서 톨루엔을 포함하는 대수층의 지하수가 공기와의 접촉이 보다 용이해졌음을 의미한다. 이 새로운 방법은 휘발성 유기물질로 오염된 대수층을 복원하는데 유용하게 이용될 수 있을 것으로 기대된다.

계면활성제 활용에 따른 공극 규모 이산화탄소 저장 효율 향상 (Enhancing Carbon Dioxide Storage Efficiency in Aquifers through Surfactant Application)

  • 강석구;정종원
    • 한국지반공학회논문집
    • /
    • 제39권11호
    • /
    • pp.63-70
    • /
    • 2023
  • 지구 온난화를 유발하는 대기 중 이산화탄소 저감을 위한 해결책으로써 이산화탄소 지중 저장공법이 관심받고 있다. 지중에 이산화탄소를 저장하기 위한 방법으로는 대수층 또는 고갈된 원유층 주입 및 이산화탄소 주입을 통한 원유 회수 증진 등이 있다. 이중 대수층은 다른 저장층에 비해 큰 저장 용량을 가짐으로써, 활용성이 가장 높은 것으로 알려져 있다. 하지만, 제한된 저장 공간에 최대한의 저장 효율을 달성하기 위한 기술이 필요한 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 비이온성 및 음이온성 계면활성제를 활용하여 이산화탄소의 저장 효율 향상 기술을 개발하고자 한다. 저장 효율 평가는 유체의 흐름 관찰이 가능한 마이크로모델을 활용하여 수행하였다. 이에 따른 실험 결과, 비이온성 및 음이온성 계면활성제 활용 시 순수한 물인 경우보다 가장 낮은 주입 유량에서 저장 효율은 최소 40% 이상의 향상을 보였다. 하지만, 본 연구에서 활용한 계면활성제의 이온성 및 농도에 따른 유의미한 저장 효율 변화는 도출되지 않았다. 이러한 결과는 향후 이산화탄소 지중 저장을 위한 계면활성제의 선택 및 농도 결정에 활용될 것으로 기대된다.

C12E8 비이온 계면활성제 수용액에 의한 탄화수소 오일의 가용화에 관한 연구 (Solubilization of Hydrocarbon Oils by C12E8 Nonionic Surfactant Solution)

  • 임종주
    • Korean Chemical Engineering Research
    • /
    • 제45권3호
    • /
    • pp.219-225
    • /
    • 2007
  • 비이온 계면활성제 $C_{12}E_8$ 수용액의 탄화수소 오일에 대한 가용화도(equilibrium solubilization capacity)를 $30^{\circ}C$에서 기체 크로마토그래피(GC)를 이용하여 측정하였다. 탄화수소 오일의 가용화도를 실험에 사용한 계면활성제의 농도로 나눈 값으로 표시한 molar solubilization ratio(MSR)는 순수한 단일 성분의 탄화수소 오일 경우, 탄화수소 오일의 탄소수(ACN)가 증가함에 따라 거의 선형적으로 감소함을 알 수 있었다. 한편 탄화수소 오일의 이성분 시스템은 사용한 두 탄화수소 오일의 탄소수(alkane carbon number, ACN) 차이에 따라 선택적 가용화 혹은 비선택적 가용화 경향을 나타내었다. 본 연구에서 가용화도 실험을 수행한 n-octane/n-nonane과 n-nonane/n-decane 혼합물 시스템의 경우, 비선택적 (non-selective) 가용화 경향을 나타내었으며, 반면에 n-octane/n-decane 혼합물 시스템의 경우에는 선택적(selective) 가용화 경향을 따르는 것을 GC 분석 결과로부터 확인할 수 있었다.

양이온 계면활성제 역미셀내로 단백질의 용해 (Protein Solubilization in Reverse Micelles of Cationic Surfactant)

  • 김영숙;노영태
    • KSBB Journal
    • /
    • 제5권3호
    • /
    • pp.215-221
    • /
    • 1990
  • 양이온 계변활성제의 역미셀을 이용하여 단백질을 선택적으로 분리할 수 있는 분리조건을 밝히기 위해서 분자량과 등전점이 다른 여러 단백질의 용해에 미치는 pH, 이온 및 강도, 계면활성제의 종류 등 system para-meter 틀에 대해 연구 검토하였다. 등전점이 낮은 pepSIn 은 pH 5-7 이상에서, 등전점이 높은 ribotluclease-a 나 lisozym$\xi$은 pH 11-12 이상에서 용해되어 단백질이 계면 활성제의 (+)전하와 반대전하언 (-)를 띠는 등전점 이상의 pH영역에서 용해가 가능하였다. KCI을 이용하여 이온강도를 증가시킴에 따라 단백질의 용해 정도는 전반적으로 감소하였다. 친수성부분은 동일하나 소수성 무분이 다콘 양이온계면활성제 CTAB, DDAB, TOMAC 을 이용하여 역미셀제를 변화시켰을 때, 소수성 탄화수 소사슬이 3개 인 TOMAC(Wo=5) 이 탄화수소사슬이 1개인 CTAB(Wo=28)와 2개인 DDAB(Wo=7-12)에 비해 작은 역셀을 형성하여 낮은 용해 정도플 보였 다. 찬은 DDAB에 대해서도 유기용매의 종류에 따라 W Wo가 달랐는데 benzene(Wo=7)에 비하여 t$\xi$trachloro-ethylene (Wo= 12)이 보다 큰 역미젤을 형성하고 용해 능력도 높았다.

  • PDF

글로방전 발광분광법에 의한 란탄족 원소의 정밀 분석. MTB와 계면활성제의 삼성분 착물 형성에 의한 희토류 원소의 분광광도법 정량에 관한 연구 (Spectrophotometric Determination of Rare Earths by Ternary Complex Formation with MTB and Surfactant)

  • 차기원;윤정숙;김경환;하영구;김하석
    • 대한화학회지
    • /
    • 제37권5호
    • /
    • pp.496-502
    • /
    • 1993
  • Spectrophotometric Determination of Rare Earths by Ternary CompleMTB와 희토류 원소들 간에 이루어진 착물에 cetylpyridinium chloride(CPC), dodecyltrimethylammonium bromide(DTMAB), cetyltrimethylammonium bromide (CTMAB), Triton X-100 등의 계면활성제를 가하였을 때의 흡광도 변화로부터 이들 원소를 정량하는 방법과 조성비를 연구하였다. 양이온 계면활성제들인 CPC, DTMAB, CTMAB 등이 있을 때 MTB와 희토류 원소들간의 흡광도가 계면활성제들이 없을 때보다 더 컸다. 가장 큰 흡광도 증가는 CPC에서 얻어졌으므로 희토류 정량에는 이를 선택하였다. REE-MTB-CPC 삼성분 착물은 650nm에서 최대흡광도를 갖고 0~100 ng/ml 범위에서 Beer 법칙에 따르고 몰흡광계수는 $6.6{\sim}9.4{\times}10^4\;mol^{-1}l\;cm^{-1}$이다.

  • PDF

Xylenol Orange와 계면활성제의 삼성분 착물에 의한 희토류원소의 분광광도법 정량에 관한 연구 (Study on the Spectrophotometric Determination of Rare Earth by Ternary Complex Using Xylenol Orange and Surfactant)

  • 차기원;박찬일;강선희;장병두
    • 분석과학
    • /
    • 제7권3호
    • /
    • pp.277-284
    • /
    • 1994
  • Xylenol orange(XO)와 희토류 원소들간에 이루어진 착물에 cetylpyridium chloride (CPC), dodecyltrimethylammonium bromide(DTMAB), cetyltrimetylammonium bromide(CTMAB), Triton X-100 등의 계면활성제를 가했을 대의 흡광도 변화로부터 이들 원소를 정량하는 방법과 조성비를 연구하였다. 양이온성 계면활성제인 CTMAB가 있을 때 XO와 희토류 원소들간의 착물의 흡광도가 다른 계면활성제에서보다 더 컸다. 따라서 희토류 정량에는 이를 선택하였다. REE-XO-CTMAB 삼성분 착물은 618nm에서 최대 흡광도를 갖고 0~0.5ppm 범위에서 Beer 법칙에 따르고 몰흡광계수는 $1.5{\times}10^5mol^{-1}cm^{-1}l$이다.

  • PDF

자성 분리를 이용한 해상 유류오염제어에 사용되는 유화제를 제거하는 새로운 기술에 대한 연구 (Innovative Technology for Removal of Dispersants used in Oil Spill Remediation Using the Magnetic Separation)

  • 천찬란;박재우
    • 대한환경공학회지
    • /
    • 제22권4호
    • /
    • pp.679-688
    • /
    • 2000
  • 최근 해상유류오염사고시 사용되는 유화제는 해안으로 이동하여 또 다른 수질오염의 원인으로 문제가 되고 있다. 이 연구에서는 자성을 띠고 있는 흡착제를 이용하여 해수 속에 잔류하는 유화제를 제거하는 기술에 대해서 논의하였다. 본 실험에서는 자성을 띠는 흡착제로서 마그네타이트와 마그헤마이트를 이용하였고, 대표적인 유화제 성분으로는 음이온성 계면활성제인 SDDBS (Sodium dodecylbenzene sulfonic acid)와 비이온성 계면활성제인 Triton X-100 (t-octylphenoxypoly-ethoxyethanol)을 사용하였다. 실험은 두 흡착제의 유화제에 대한 흡착 평형시간과 흡착능에 대한 회분식 실험과 모의 실제 상황에서 흡착제가 영구자석이나 전자석에 의해 수거되는 양상을 알아보기 위한 수조실험으로 나누어 이루어졌다. 마그헤마이트는 계면활성제의 종류와 사용된 물의 종류에 상관없이 제거효율이 일정하게 나타나는데 비해 마그네타이트는 음이온성 계면활성제에 대해 선택적으로 고효율을 보이고 있고, 이온이 존재하는 해수보다는 증류수의 경우가 높은 효율을 보이고 있다. 미그네타이트의 흡착메커니즘은 정전기적 인력에 의한 것으로 판단되고, 마그헤마이트의 경우는 정전기적 인력과 함께 흡착능을 향상시키는 구조적 특정과 표면상태의 특성으로 설명되어진다. 수조실험에서는 흡착이 이루어진 후 자석에 의한 회수는 100%에 가까운 것으로 나타났다. 이와 같은 결과는 두 흡착제와 사석에 의한 유화제 제거방법이 실제 해상에서 적용되었을 때 유화제를 짧은 시간 내에 고효율로 처리할 수 있는 효과적인 방법임을 시사한다.

  • PDF