• Electrical & Electronic Materials
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• v.3 no.3
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• pp.224-232
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• 1990

SnO$_{2}$를 모체로 한 가스 감지소자의 가스 감지특성을 여러 감지특성을 여러 가스에 대하여 조사하였다. 2ton/$cm^{2}$의 압력에서 성형한 pellet형 소자를 온도 500-800.deg.C 범위에서 1-5시간 동안 소성시켰다. 이때 소자의 Pd함량은 0.0wt%까지 변화되었다. 측정온도에 대항 감도의 의존성 및 가스에 대한 응압시간등도 조사하였다. 여러 감도변수에 따른 소성온도의 영향을 SnO$_{2}$ 분말의 소결성으로 설명하였다.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.26 no.2
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• pp.39-48
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• 2022

The domestic gas detector installation standards applied to gas detectors, which are one of the facilities that can prevent accidents such as fire, explosion, and leakage that can cause serious industrial accidents, do not take into account the behavioral characteristics of hazardous chemicals in the atmosphere. It can be seen that the technical basis is insufficient because the standard is applied. Therefore, in this study, the size of the leak hole for each facility mainly used in chemical plants and the diffusion distance according to the concentration of interest of hazardous chemicals were analyzed, and based on this, the optimal installation distance for gas detectors for each material was suggested. Using the method presented in this study, more economical and effective gas detector installation can be expected, and furthermore, it can be expected to help prevent serious industrial accidents.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.331-331
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• 2010

반도체 제조, 디스플레이 산업 등의 진공공정에서 잔류기체의 종류와 양에 대한 관심이 높아지면서 사용이 쉽고 높은 정확도를 가지는 사중극 질량 분석기(QMS)가 널리 쓰이고 있다. 특히 고진공으로 내려가면서 리크디텍션(leak detection)과 미세량의 잔류기체 감지가 더욱더 요구된다. 그중에서도 진공공정에서의 수소 가스를 감지하는 것은 매우 중요하므로 $H_2$/Ar 혼합가스를 이용하여 미세농도의 수소를 측정하였다. 측정하려는 가스를 부피확장 방법으로 가스챔버로 희석하여 이동시키고 핀홀에서 가스유량을 더 줄여서 QMS가 기체를 감지하는 압력범위를 유지하면서 측정하였다. 미세량의 수소기체를 감지하기 위해 이온소스의 emission current, Ion ref. voltage, cathode voltage의 변수를 조절하여 QMS를 최적화 하였으며, 그 결과 수십 ppm 농도까지 측정이 가능하다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.178-179
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• 2003

가스 상태의 반응 공정을 이용하는 반도체, 플라즈마, 연소 및 촉매를 이용한 유해가스처리와 대기환경 등에서는 반응을 주도하는 활성기(radical)의 역할 그리고 극미량(sub-ppm 수준)으로 존재하는 유해가스 성분등을 실시간으로 추적하는 것은 매우 중요하다. 현재 사용되고 있는 비 광학적 미량 가스 측정 장비들은 측정 대상 가스성분과 측정 장치의 프로브 사이의 물리적인 접촉이 요구되므로 감지시간이 늦고, 프로브 오염에 따른 hysteresis, 회복시간(recovery time)의 지연, 활성(부식성) 가스 샘플에 의한 감지기능 저하 등을 유발한다. (중략)

• Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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• v.54 no.1
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• pp.63-70
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• 2017

Release of hazardous and flammable gas is a significant contributor to risk. The ignition of flammable gas clouds can lead to explosion accidents in the offshore installations. A gas detector, which is one of active protect systems, brings the module into a safe state through emergency shut down processes and reduces the damage by eliminating the dangerous releases. It is critical to understand the gas release, the wind field, and the complex geometry of installations to determine gas detector placement. In this paper, the Gas detector Location Index (GLI) which is a novel index for optimal detector location determination to efficiently prevent explosion accident using probabilistic approach.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.1 no.1
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• pp.113-119
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• 1997

The detection capability of UV flame detector in dust environment would be impaired. In this study, an experiment was conducted, in an effort to further understand the behavior of UV flame detector and to evaluate its detection capability in industry dust environment. Detergent powder, coal powder and dry extinguishing agent were selected as dust sources. Flaming sources include propane and gasoline flame. Experiment results indicate that dust can cause remarkable attenuation of UV flame radiation. The concentration of dust and the length of air layer where dust dispersed determine the reduction of radiation intensity. On the other hand, the attenuation of UV radiation also depends on the chemical and Physical properties of dust.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.40-40
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• 2010

사중극 질량 분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS)는 높은 정확도와 사용이 쉬운 장점으로 인해 반도체 및 디스플레이 산업 등의 진공공정에서 잔류가스를 측정하고 분석하는 기기로써 반도체 및 디스플레이 소자제조를 위한 공정 진단에서 많이 사용되고 있다. 특히 고진공으로 내려가면서 리크 디텍션(leak detection)과 미세 량의 잔류기체 감지가 더욱더 요구되며 특히 $H_2$ 및 CO의 경우 측정에 많은 어려움이 있다. 따라서 $H_2$ 및 CO의 미세 량을 감지하기 위하여 QMS의 성능을 평가할 수 있는 parameter 중 하나가 될 수 있는 minimum detectable partial pressure(MDPP)를 측정하였다. 실제 고진공에 도달하여 MDPP를 계산하기 위해서는 bake out이 필요하며 또한 가스가 주입되지 않은 상태에서 잔류기체의 조성을 정확히 알 수 없기 때문에 정량적 분석이 어렵다는 단점이 있다. 본 실험에서는 측정하고자 하는 물질의 소량 포함된 표준가스를 사용하여 부피확장방법으로 가스 챔버로 희석하여 이동시키고 핀홀에서 가스유량을 더 줄여서 QMS가 기체를 감지하는 압력범위를 유지하면서 가스를 인가하여 주어 그때의 MDPP를 계산하였다. 또한 tuning을 통해 이온전류를 증폭시켜 더 향상된 MDPP를 측정하였다. 이 방법을 사용하면 bake out을 통한 고진공에 도달하지 않고서도 MDPP를 측정할 수 있으며, 정확한 조성 및 부분압을 알 수 있고 또한 희석된 가스를 사용하여 MDPP를 더욱 더 향상시킬 수 있다.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.6 no.6
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• pp.445-450
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• 1997

An ammonia gas sensor with high sensitivity using thick-film technology were fabricated and examined. The material for sensing the ammonia gas was the mixture of oxide semiconductor, $FeO_{x}-WO_{3}-SnO_{2}$. The sensor exhibits resistance increase upon exposure to low concentration of ammonia gas. The resistance of the sensor is decreased, on the other hand, for exposure to reducing gases such as ethyl alcohol, methane, propane and carbon monoxide. A novel method for detecting ammonia gas quite selectively utilizing a sensor array consisting of an ammonia gas sensor and a compensation element were proposed and developed. The compensation element is a Pt-doped $WO_{3}-SnO_{2}$ gas sensor which shows opposite direction of resistance change in comparison with that of the ammonia gas sensor upon exposure to ammonia gas. Excellent selectivity has been achieved using the sensor array having two sensing elements.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2022.01a
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• pp.293-294
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• 2022

본 프로젝트에서는 화재 발생 시 발견하기 어려운 곳이나 화재가 빈번한 곳에 구축하는 것을 목적으로 하고 있다. 가스와 불꽃을 감지하는 센서로 화재를 감지하고, 디스플레이와 LED 그리고 소리를 통해 화재발생을 알려준다. 그 후, 스프링클러가 작동하여 초기화재에 대응에 도움을 주고 119에 자동으로 신고가 된다. 일정 수치의 센서에 대한 감지 값을 인식하고 인식한 감지 값에 반응하여 화재 대처를 가능하게 구현하는 시스템을 제안한다. 감지센서를 통한 화재장소에서의 불꽃과 가스를 감지하게 되어 스프링클러가 1차적으로 화재의 번짐을 지연해 주고 은근 소방서에 자동적으로 신고를 하게 되는 자동화 프로그램 이행을 목표로 하고 있다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.3 no.4
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• pp.295-305
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• 1990

여러가스에 대한 저항변화를 측정하기 위해 초미립 분말을 사용하여 pellet형 SnO$_{2}$ 가스센서를 제조하였다. 초미립 분말은 화학기상반응법으로 만들어졌으며 평균입경은 0.08.mu.m이었다. 냉간 성형된 소자는 사용전 공기중에서 700~850.deg.C에서 10~60분간 소성되었다. 측정된 결과는 분말의 소결성 및 열린 기공도로 설명될 수 있었다.