Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.40-40
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- 2010
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 $H_2$ 및 CO의 부분압 분석
- Im, Han-Na ;
- Sin, Jin-Ho ;
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Kim, Jin-Tae
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Jeong, Su-Hwan
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Gang, Sang-U
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Yun, Ju-Yeong
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Sin, Yong-Hyeon
- 임한나 (한국표준과학연구원) ;
- 신진호 (한국표준과학연구원) ;
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김진태
(한국표준과학연구원) ;
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정수환
(경북대학교 화학공학과) ;
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강상우
(한국표준과학연구원) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원) ;
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신용현
(한국표준과학연구원)
- Published : 2010.08.18
Abstract
사중극 질량 분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS)는 높은 정확도와 사용이 쉬운 장점으로 인해 반도체 및 디스플레이 산업 등의 진공공정에서 잔류가스를 측정하고 분석하는 기기로써 반도체 및 디스플레이 소자제조를 위한 공정 진단에서 많이 사용되고 있다. 특히 고진공으로 내려가면서 리크 디텍션(leak detection)과 미세 량의 잔류기체 감지가 더욱더 요구되며 특히
Keywords