Sensing Characteristics of $SnO_2$ Gas Sensor Using Ultrafine Particles (TEX>$\Pi$)

가스 감지소자의 감지특성 ($\Pi$)

  • Published : 1990.12.01

Abstract

여러가스에 대한 저항변화를 측정하기 위해 초미립 분말을 사용하여 pellet형 SnO$_{2}$ 가스센서를 제조하였다. 초미립 분말은 화학기상반응법으로 만들어졌으며 평균입경은 0.08.mu.m이었다. 냉간 성형된 소자는 사용전 공기중에서 700~850.deg.C에서 10~60분간 소성되었다. 측정된 결과는 분말의 소결성 및 열린 기공도로 설명될 수 있었다.

Keywords