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Al/$BaTa_2O_6$/GaN MIS 구조의 특성 (Characteristics of Al/$BaTa_2O_6$/GaN MIS structure)

  • 김동식
    • 전자공학회논문지 IE
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    • 제43권2호
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    • pp.7-10
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    • 2006
  • 일반적인 산화 절연 게이트 대신 $BaTa_2O_6$를 사용한 GaN metal-insulator-semiconductor(MIS) 구조를 제작하였다. $Al_2O_3$(0001) 기판 위에서와 GaAs(001) 기판 위에서의 GaN 막의 누설 전류는 각각 $10^{-12}-10^{-13}A/cm^2$$10^{-6}-10^{-7}A/cm^2$로 측정되었다. 이 막의 누설전류는 각각 $Al_2O_3$(0001) 기판 위의 GaN인 경우는 45 MV/cm가 넘는 공간전하 제한전류에 의하여, GaAs(001) 기판 위의 GaN인 경우는 Poole-Frenkel 방출에 따른다는 것을 확인하였다.

HVPE 방법에 의해 r-plane 사파이어 기판 위의 선택 성장된 GaN/AlGaN 이종 접합구조의 특성 (Characteristics of selective area growth of GaN/AlGaN double heterostructure grown by hydride vapor phase epitaxy on r-plane sapphire substrate)

  • 홍상현;전헌수;한영훈;김은주;이아름;김경화;황선령;하홍주;안형수;양민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.6-10
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    • 2009
  • 본 논문에서는 혼합소스(mixed-source) HVPE(hydride vapor phase epitaxy)방법으로 선택성장(SAC: selective area growth) GaN/AlGaN 이종접합구조의 발광다이오드를 r-plane 사파이어 기판 위에 제작하였다. SAG-GaN/AlGaN DH(double heterostructure)는 고온 GaN 버퍼층, Te 도핑된 AlGaN n-클래딩층. Gan 활성층. Mg 도핑된 AlGaN p-클래딩층. Mg 도핑된 GaN p-캡층으로 구성되어있다. GaN/AlGaN 이종접합구조의 발광다이오드의 특성을 알아보기 위해 SEM을 통한 구조적 분석과 전류-전압 측정(I-V: current-voltage measurement), 전류-광출력(EL: electroluminescence) 측정을 통하여 전기적, 광학적 특성을 평가하였다.

원자막증착법(ALD) SnO2 촉매를 적용한 AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터 NO2 가스센서 (NO2 gas sensor using an AlGaN/GaN Heterostructure FET with SnO2 catalyst deposited by ALD technique)

  • 양수혁;김형탁
    • 전기전자학회논문지
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    • 제24권4호
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    • pp.1117-1121
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    • 2020
  • 본 연구에서는, 원자막증착법(ALD) 공정으로 증착된 SnO2 촉매를 AlGaN/GaN 이종접합 FET에 적용하여 NO2 가스 검출이 가능한 것을 확인하였다. AlGaN/GaN-on-si 플랫폼에서 제작 된 HFET 센서로 NO2 100 ppm에 대하여 In-situ SiN이 있는 소자와 없는 소자가 각각 100 ℃, 200 ℃에서 10.1% 및 17.7%, 5.5% 및 38%의 감지성능을 확인하였다.

하부 광결정에 따른 InGaN/GaN 양자우물구조의 청색발광 다이오드 발광 특성 (Bottom photonic crystals-dependent photoluminescence of InGaN/GaN Quantum-Well Blue LEDs)

  • 조성남;최재호;김근주
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.52-54
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    • 2008
  • The authors investigated the InGaN/GaN multi-quantum well blue light emitting diodes with the implements of the photonic crystals fabricated at the top surface of p-GaN layer or the bottom interface of n-GaN layer. The top photonic crystals result in the lattice-dependent photoluminescence spectra for the blue light emitting diodes, which have a wavelength of 450nm. However, the bottom photonic crystal shows a big shift of the photoluminescence peak from 444 nm to 504 nm and played as a role of quality enhancement for the crystal growth of GaN thin film. The micro-Raman spectroscopy shows the improved epitaxial quality of GaN thin film.

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R-plane 사파이어 기판위의 GaN/InGaN 이종접합구조의 HVPE 성장 (HVPE growth of GaN/InGaN heterostructure on r-plane sapphire substrate)

  • 전헌수;황선령;김경화;장근숙;이충현;양민;안형수;김석환;장성환;이수민;박길한
    • 한국결정성장학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.6-10
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    • 2007
  • R-plane 사파이어 위에 a-plane GaN층이 성장된 기판에 혼합소스 HVPE(mixed-source hydride vapor phase epitaxy) 방법으로 GaN/InGaN의 이종접합구조(heterostructure)를 구현하였다. GaN/InGaN 이종접합구조는 GaN, InGaN, Mg-doped GaN 층으로 구성되어 있다. 각 층의 성장온도는 GaN층은 $820^{\circ}C$, InGaN 층은 $850^{\circ}C$, Mg-doped GaN 층은 $1050^{\circ}C$에서 성장하였다. 이때의 $NH_3$와 HCl 가스의 유량은 각각 500 sccm, 10 sccm 이었다. SAG-GaN/InGaN 이종접합구조의 상온 EL (electroluminescence) 특성은 중심파장은 462 nm, 반치폭(FWHM : full width at half maximum) 은 0.67eV 이었다. 이 결과로부터 r-plane 사파이어 기판위에 multi-sliding boat system의 혼합소스 HVPE 방법으로 이종접합구조의 성장이 가능함을 확인하였다.

지베렐린산(GA3) 처리에 따른 크리핑 벤트그래스 (Agrostis palustris Huds. 'Penn A1')의 생장 및 품질 변화 (Changes in the Growth and Quality of Creeping Bentgrass (Agrostis palustris Huds. 'Penn A1') Following Gibberelinic Acid (GA3) Treatment)

  • 김우성;김태웅;김영선;임치환
    • 한국환경농학회지
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    • 제42권4호
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    • pp.389-395
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    • 2023
  • This study evaluated the effects of gibberellic acid (GA3) on the growth and quality of creeping bentgrass (Agrostis palustris Huds.). Experimental treatments included a No application of fertilizer and GA3 (NFG) Control [3 N active ingredient (a.i.) g/m2], 0.3GA3 (GA3 0.3 a.i. mg/m2/200 mL), 0.6GA3 (GA3 0.6 a.i. mg/m2/200 mL), 1.2GA3 (GA3 1.2 a.i. mg/m2/200 mL), and 2.4GA3 (GA3 2.4 a.i. mg/m2/200 mL). Additionally, the study included a 1.5N+GA3 experiment with similar GA3 treatments combined with 1.5N a.i. g/m2 : NFG, Control (3N a.i. g/m2), 1.5N+ 0.3GA3 (1.5N a.i. g/m2+GA3 0.3 a.i. mg/m2/200 mL), 1.5N+0.6GA3 (1.5N a.i. g/m2+GA3 0.6 a.i. mg/m2/200 mL), 1.5N+1.2GA3 (1.5N a.i. g/m2+GA3 1.2 a.i. mg/m2/ 200 mL), and 1.5N+2.4GA3 (1.5N a.i. g/m2+GA3 2.4 a.i. mg/m2/200 mL). Compared to the NFG, turf color index chlorophyll content was not significantly different (p< 0.05). However, shoot length in 1.2GA3, 2.4GA3, 1.5N+0.3GA3, 1.5N+0.6GA3, 1.5N+1.2GA3, and 1.5N+2.4GA3 treatments increased by 0.8%, 10.6%, 5.15%, 8.3%, 13.5 %, and 21.6%, respectively, compared to the control. As compared to the control, clipping yield in 1.5N+1.2GA3 and 1.5N+2.4GA3 treatments increased by 7.1% and 14.3 %, respectively. These results indicated that GA3 application increased shoot length, with the 1.2GA3 treatment showing shoot length similar to the control (3N a.i. g /m2 ).

GaN 기반 발광 다이오드(LED)의 특성 분석 (Characteristic analysis of GaN-based Light Emitting Diode(LED))

  • 이재현;염기수
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2012년도 춘계학술대회
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    • pp.686-689
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    • 2012
  • 본 논문에서는 ISE-TCAD를 이용하여 GaN 기반의 LED특성을 분석하였다. LED는 GaN 버퍼층을 기반으로 GaN 장벽과 InGaN 양자우물로 구성된 활성 영역, AlGaN EBL(Electron Blocking Layer)과 AlGaN HBL(Hole Blocking Layer)로 이루어져 있다. Auger 재결합률, 양자 우물의 폭과 수, EBL의 Al 몰분율의 변화에 따른 LED의 출력 전력 특성을 분석하고 효율 개선을 위한 몇 가지 기준을 제시하였다.

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트렌치 구조의 소스와 드레인 구조를 갖는 AlGaN/GaN HEMT의 DC 출력특성 전산모사 (Simulated DC Characteristics of AlGaN/GaN HEMls with Trench Shaped Source/Drain Structures)

  • 정강민;이영수;김수진;김동호;김재무;최홍구;한철구;김태근
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제21권10호
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    • pp.885-888
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    • 2008
  • We present simulation results on DC characteristics of AlGaN/GaN HEMTs having trench shaped source/drain Ohmic electrodes. In order to reduce the contact resistance in the source and drain region of the conventional AlGaN/GaN HEMTs and thereby to increase their DC output power, we applied narrow-shaped-trench electrode schemes whose size varies from $0.5{\mu}m$ to $1{\mu}m$ to the standard AlGaN/GaN HEMT structure. As a result, we found that the drain current was increased by 13 % at the same gate bias condition and the transconductance (gm) was improved by 11 % for the proposed AlGaN/GaN HEMT, compared with those of the conventional AlGaN/GaN HEMTs.

In situ Er 도핑된 GaN와 Er이 이온 주입된 GaN의 PL과 PLE 비교에 대한 연구 (Comparison of In-situ Er-doped GaN with Er-implanted GaN Using Photoluminescence and Photoluminescence Excitation Spectroscope)

  • 김현석;성만영;김상식
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제16권2호
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    • pp.89-96
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    • 2003
  • Photoluminescence (PL) and photoluminescence excitation (PLE) spectroscopy have been performed at 6 K on the 1540 nm $^4$I$\_$(13/2)/\longrightarrow$^4$I$\_$(15/2)/ emission of Er$\^$+3/ in in situ Er-doped GaN The PL and PLE spectra of in situ Er-doped GaN are compared with those of Er-implanted GaN in this study. The lineshapes of the broad PLE absorption bands and the broad PL bands in the spectra of the in situ Er-doped GaN are similar to those in Er-doped glass rather than in the Er-implanted GaN. The PL spectra of this in situ Er-doped GaN are independent of excitation wavelength and their features are significantly different from the site-selective PL spectra of the Er-implanted GaN. These PL and PLE studies reveal that a single type of Er$\^$3+/ sites is present in the in situ Er-doped GaN and these Er sites are different from those observed in the Er-implanted GaN. In addition, the comparison of the PL single strength illustrates that the excitation of Er$\^$3+/ sites through the energy absorption of defects in Er-implanted GaN.

상시불통형 p-GaN/AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터의 게이트막 농도 계조화 효과 (Gate Field Alleviation by graded gate-doping in Normally-off p-GaN/AlGaN/GaN Hetrojunction FETs)

  • 조성인;김형탁
    • 전기전자학회논문지
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    • 제24권4호
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    • pp.1167-1171
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    • 2020
  • 본 연구에서는 상시불통형 p-GaN 전력반도체소자의 신뢰성 향상을 위해 p-GaN 게이트막 내부의 전계를 완화하고자 p-GaN 게이트 도핑농도의 계조화를 제안한다. TCAD 시뮬레이션으로 균일한 도핑농도를 갖는 소자와 문턱전압과 출력 전류 특성이 동일하도록 p형 농도를 계조화하고 최적화하였다. p-GaN 게이트층에서의 전계 감소로 소자의 게이트 신뢰성이 개선될 수 있을 것으로 판단된다.