ICP를 이용한 $BCl_3/CH_4/H_2/Ar$ , $Cl_2/CH_4/H_2/Ar$ chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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- pp.54.2-54.2
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- 2007