Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.54.2-54.2
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- 2007
ICP를 이용한 $BCl_3/CH_4/H_2/Ar$ , $Cl_2/CH_4/H_2/Ar$ chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교
- Lee, Hak-Ju ;
- Gwon, Bong-Su ;
- Kim, Hyeon-U ;
- Kim, Seon-Il ;
- Jeong, Ho-Yeong ;
- No, Hwa-Yeong ;
- Lee, Nae-Eung
- 이학주 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 권봉수 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 김현우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 김선일 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 정호영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 노화영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 이내응 (성균관대학교 신소재공학과)
- Published : 2007.11.02