Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.05a
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- Pages.21.1-21.1
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- 2007
Ru CMP(Chemical Mechanical Planarization)에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
- Jo, Byeong-Gwon ;
- Kim, In-Gwon ;
- Gwon, Tae-Yeong ;
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Gang, Bong-Gyun
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Park, Jin-Gu
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- Park, Hyeong-Sun
- 조병권 (한양대학교 바이오나노공학과) ;
- 김인권 (한양대학교 재료화학공학부) ;
- 권태영 (한양대학교 재료화학공학부) ;
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강봉균
(한양대학교 바이오나노공학과)
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박진구
(한양대학교 재료화학공학부)
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- 박형순 (하이닉스 반도체)
- Published : 2007.05.10