Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향

  • 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 유영삼 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 박진구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 원영만 (새솔다이아몬드) ;
  • 오광훈 (새솔다이아몬드)
  • Published : 2006.05.19
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Abstract

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