레이저 충격파 세정 동안 오염입자들과 웨이퍼 표면 사이에서 작용 하는 adhesion 과 capiaalry force에 관한 연구

• Lee, Jae-Hwan ;
• Kang, Yeong-Jae ;
• Lee, Sang-Ho ;
• Hong, Eui-Gwan ;
• Park, Jin-Gu ;
• Lee, Jong-Myeong (IMT)

• 이재환 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 이상호 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 홍의관 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 박진구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 이종명

• Published : 2006.05.19

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