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High rate deposition of poly-si thin films using new magnetron sputtering source

  • Boo, Jin-Hyo;Park, Heon-Kyu;Nam, Kyung-Hoon;Han, Jeon-Geon
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.186-186
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    • 2000
  • After LeComber et al. reported the first amorphous hydrogenated silicon (a-Si: H) TFT, many laboratories started the development of an active matrix LCDs using a-Si:H TFTs formed on glass substrate. With increasing the display area and pixel density of TFT-LCD, however, high mobility TFTs are required for pixel driver of TF-LCD in order to shorten the charging time of the pixel electrodes. The most important of these drawbacks is a-Si's electron mobiliy, which is the speed at which electrons can move through each transistor. The problem of low carier mobility for the a-Si:H TFTs can be overcome by introducing polycrystalline silicon (poly-Si) thin film instead of a-Si:H as a semiconductor layer of TFTs. Therefore, poly-Si has gained increasing interest and has been investigated by many researchers. Recnetly, fabrication of such poly-Si TFT-LCD panels with VGA pixel size and monolithic drivers has been reported, . Especially, fabricating poly-Si TFTs at a temperature mach lower than the strain point of glass is needed in order to have high mobility TFTs on large-size glass substrate, and the monolithic drivers will reduce the cost of TFT-LCDs. The conventional methods to fabricate poly-Si films are low pressure chemical vapor deposition (LPCVD0 as well as solid phase crystallization (SPC), pulsed rapid thermal annealing(PRTA), and eximer laser annealing (ELA). However, these methods have some disadvantages such as high deposition temperature over $600^{\circ}C$, small grain size (<50nm), poor crystallinity, and high grain boundary states. Therefore the low temperature and large area processes using a cheap glass substrate are impossible because of high temperature process. In this study, therefore, we have deposited poly-Si thin films on si(100) and glass substrates at growth temperature of below 40$0^{\circ}C$ using newly developed high rate magnetron sputtering method. To improve the sputtering yield and the growth rate, a high power (10~30 W/cm2) sputtering source with unbalanced magnetron and Si ion extraction grid was designed and constructed based on the results of computer simulation. The maximum deposition rate could be reached to be 0.35$\mu$m/min due to a high ion bombardment. This is 5 times higher than that of conventional sputtering method, and the sputtering yield was also increased up to 80%. The best film was obtained on Si(100) using Si ion extraction grid under 9.0$\times$10-3Torr of working pressure and 11 W/cm2 of the target power density. The electron mobility of the poly-si film grown on Si(100) at 40$0^{\circ}C$ with ion extraction grid shows 96 cm2/V sec. During sputtering, moreover, the characteristics of si source were also analyzed with in situ Langmuir probe method and optical emission spectroscopy.

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일부 제조업 사업장의 사무 및 공장동에서의 라돈농도 수준 및 유효선량 평가 (Evaluation of Effective Dose and Exposure Levels of Radon in Office and Plant Buildings)

  • 정은교;김기웅
    • 한국산업보건학회지
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    • 제27권1호
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    • pp.38-45
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    • 2017
  • Objectives: Radon may be second only to smoking as a cause of lung cancer. Radon is a colorless, tasteless radioactive gas that is formed via the radioactive decay of radium. Therefore, radon levels can build up based on the amount of radium contained in construction materials such as phospho-gypsum board or when ventilation rates are low. This study provides our findings from evaluation of radon gas at facilities and offices in an industrial complex. Methods: We evaluated the office rooms and processes of 12 manufacturing factories from May 14, 2014 to September 23, 2014. Short-term data were measured by using real-time monitoring detectors(Model 1030, Sun Nuclear Co., USA) indoors in the office buildings. The radon measurements were recorded at 30-minute intervals over approximately 48 hours. The limit of detection of this instrument is $3.7Bq/m^3$. Also, long-term data were measured by using ${\alpha}-track$ radon detectors(${\alpha}-track$, Rn-tech Co., Korea) in the office and factory buildings. Our detectors were exposed for over 90 days, resulting in a minimum detectable concentration of $7.4Bq/m^3$. Detectors were placed 150-220 cm above the floor. Results: Radon concentrations averaged $20.6{\pm}17.0Bq/m^3$($3.7-115.8Bq/m^3$) in the overall area. The monthly mean concentration of radon by building materials were in the order of gypsum>concrete>cement. Radon concentrations were measured using ${\alpha}-track$ in parallel with direct-reading radon detectors and the two metric methods for radon monitoring were compared. A t-test for the two sampling methods showed that there is no difference between the average radon concentrations(p<0.05). Most of the office buildings did not have central air-conditioning, but several rooms had window- or ceiling-mounted units. Employees could also open windows. The first, second and third floors were used mainly for office work. Conclusions: Radon levels measured during this assessment in the office rooms of buildings and processes in factories were well below the ICRP reference level of $1,000Bq/m^3$ for workplaces and also below the lower USEPA residential guideline of $148Bq/m^3$. The range of indoor annual effective dose due to radon exposure for workers working in the office and factory buildings was 0.01 to 1.45 mSv/yr. Construction materials such as phospho-gypsum board, concrete and cement were the main emission sources for workers' exposure.

테이핑 적용방법에 따른 버스 운전기사의 요통과 근 유연성에 미치는 효과 (Effects of Taping Therapy by Methods on Back Pain and Muscle Flexibility of Bus Drivers's)

  • 박민철;김은영;하미숙
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권11호
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    • pp.4367-4373
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    • 2010
  • 본 연구는 테이핑 적용방법에 따른 버스 운전기사의 요통과 근 유연성의 변화에 대하여 알아보기 위하여 실시하였다. 대상자는 창원, 마산, 부산의 버스 운전기사 중에 요통이 있는 척추기립근 테이핑 실험군과 요추부 테이핑 실험군, 대조군의 3그룹으로 각각 15명으로 나누어 테이핑 적용 전 후의 통증과 유연성을 측정 분석한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 치료전 후 척추기립근 테이핑군과 요추부 테이핑군은 통증지수가 감소하였다. 치료전 후 척추 기립근 테이핑군과 요추부 테이핑군은 유연성이 증가하였다. 치료 후 대조군에 비해 실험군은 통증지수의 감소와 유연성의 증가를 보였다. 이상의 결론을 종합해 보면 테이핑 적용이 요통이 있는 환자의 통증과 유연성에 긍정적인 영향을 미치는 것을 알 수 있었고, 테이핑의 모양에 따라 요추 테이핑이 척추기립근 테이핑보다 긍정적인 영향이 있었다. 따라서 테이핑요법은 버스 운전자에게 값비싼 장비 없이도 쉽게 지속적으로 적용 가능한 치료 방법으로 사용할 수 있으리라 생각된다.

조직의 혁신성과 사용자 특성이 스마트워크 사용자 저항에 미치는 영향 (An Empirical Study on Users' Resistance against the Smart work: Based on the Organization's Innovative Characteristics and the User Characteristics)

  • 오승훈;채명신
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.191-200
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    • 2017
  • 본 연구는 시간과 공간의 제약에서 벗어나 효율적으로 일할 수 있는 업무 환경을 만들어 주는 스마트워크의 도입이 기대한 만큼의 성과를 내지 못 하는 것에 대해, 성공적 안착을 위해 가장 주요한 요소로 간주되는 스마트워크에 대한 사용자의 저항을 연구 하였다. 이에 혁신저항 모델을 기반으로 하여 업무의 혁신성과 사용자 특성을 사용자 저항에 영향을 주는 요인으로 설정하였고 이 두 요인과 사용자들의 스마트워크에 대한 저항의 관계를 조절하는 요인으로 사용자가 하는 일의 공간적, 시간적 차원의 자유도를 설정하였다. 검증결과 업무효율성이 낮을수록, 조직의 평가방식이 사용자에게 불리할수록, 그리고 사용자의 기존 업무방식에 대한 만족도가 높을수록 사용자의 저항은 높은 것으로 밝혀졌다. 또한 시간적 자유는 사용자의 특성과 저항 간의 관계에 영향을 미쳤다. 반대로 공간의 자유는 업무의 혁신적인 특성과 저항간의 관계에 영향을 미쳤다. 본 연구의 결과는 성공적인 스마트워크 도입을 위해 기업은 우선적으로 스마트워크 근로자들이 불리해지지 않도록 적절한 비즈니스 프로세스 및 평가 방법을 우선적으로 설정하는 것이 필요하다는 것을 제시한다.

텔레비전 드라마의 간호사 이미지에 대한 분석 (Contents Analysis on the Image of Nurses in the Television Drama)

  • 문영임;임미림;윤경이
    • 대한간호
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    • 제37권2호
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    • pp.44-52
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    • 1998
  • The purpose of this study is to inquire the people's views on nursing for nurses, correct the image of nurse and take it as basis to be applied on nursing education examining the image of nursing on Television drama playing important role of mass media. 22 nurses of the characters in drama is applied to the analysis object of this study by selecting 6 dramas of Television ones the nurse play on the prime time from June 1 to August 31 in 1997. Contents analysis method was used in Data Analysis, 4 items was used after Coders previously modify and compensate it based on research documents of 1m Milim(1996) 2 Coders made the Coding the article on each person by them seeing the recorded film making the Coding Paper each items is written by the character. The average of reliability degree was 90% which measured the reliability degree by the mathod of Holsti. The statisic method of frequency, percentage was used SPSS Program in data processing The results were as follows. 1. Relative importance of 86.2% nurses in drama was depicted as extra characters 2. The affair attitude of nurses shown on drama was revealed as mechanical(84.7%), passive(45.5%), dependent(54.4%) unkind(68.2%). 3. The activity of nurses was classified with professional! simple affair. The professional affairs such as I.V., Blood Pressure Check, Rounding, Nursing Recording, Patient Education, Assist of Operation, Assistant meal of Patient, etc is mainly depicted and the screen of simple affair such as Receiving telephone, Carrying Tray or Dragging, Stretcher Car, Dressing Car and or Wheel Chair than professional affair. 4. The appearance feature of nurses was shown on thin physique(68.2%), common stature(68.2), dirty costume(45.4%), common appearance(81.9%), unnoble action(63.6%). The image of nurses is illuminated as the exterial scene of technical affair such as assisting the doctors and affair focused on accident and educational activity of nureses or extended role is nor depicted on Television drama. Therefore, the people regard the nurse as sexual object with good appearance than professional worker working professional nursing We want the following, epigraph based on above conclusion. 1. The continuous research is required on the image of nurse shown on various mass media. 2. The later research is required on appliction strategy of mass media for advancing the image of nurse. 3. The research to strengthen the objectivity by comparing analyzed data on drama & analyzing it is required 4. Through the deep study, the standard to show a concrete and professional work of nurses to scenario writers of TV drama is suggested by the association. 5. The monitoring about the mass media must be activated, not by some nurses, on a national scale and much study on the basis of this is needed.

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학교급식 식재료 및 완제품 배송직원의 위생관리 실태 조사 (An Evaluation of Food Delivery Worker Sanitation Management Practices that Supply Food to School Foodservices)

  • 김윤화;이연경
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제44권1호
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    • pp.74-81
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    • 2011
  • 본 연구는 학교급식 식재료 (완제품)의 위생관리 실태와 구매실태를 파악하기 위하여 학교급식 식재료 (완제품) 납품업체 38곳의 배송직원 201명을 대상으로 위생지식수준, 위생관리 수행수준, 위생관리 현황을 조사하였다. 조사대상자는 30~39세가 41.3%, 배송경력 1~3년이 30.8%로 가장 많았고, 61.7%가 1~2회/년 위생교육을 받고 있었다. 새벽배송 학교 수는 응답자의 52.7%가 2개교로 가장 많았다. 위생지식은 3.75/7.00점으로 낮게 평가되었고, 작업장 위생관리에 대한 지식점수가 가장 높았으며, 개인위생 항목의 점수가 가장 낮았다. 자기차량으로 운행하는 직원의 위생지식 점수가 유의적으로 높았다. 위생관리 수행수준의 평균은 4.58/5.00점으로 높았으며, 검수관련 영역의 점수가 가장 높고, 배송차량 관리 영역 점수가 가장 낮았다. 육류 및 수산물 배송직원과 위생교육을 받는 직원의 위생관리 수행도가 더 높았다. 학교급식 식재료를 공급하면서 가장 어려운 점은 납품시간이었고 두 번째는 식재료 (완제품)의 온도관리였다. 따라서 영양 (교)사와 유통업체에서는 유통단계에서의 위생적인 식재료 (완제품) 관리를 위하여 배송직원을 대상으로 한 철저한 위생교육과 관리가 요구된다.

PMS : 다단계 저장장치를 고려한 효율적인 선반입 정책 (PMS : Prefetching Strategy for Multi-level Storage System)

  • 이규형;이효정;노삼혁
    • 한국정보과학회논문지:시스템및이론
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    • 제36권1호
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    • pp.26-32
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    • 2009
  • 저장장치를 다단계로 구성하여 효율적으로 많은 사용자의 요청을 동시에 처리하는 다단계 저장장치의 활용은 점차 늘어나고 있다. 저장 장치가 다단계로 발전하여, 매우 많은 데이타를 효과적으로 처리할 수 있게 되었으나, 디스크에 접근하기 위한 단계가 늘어남으로써 성능이 저하되는 문제가 발생한다. 현재까지는 메모리와 프로세스에 비해 느린 디스크 접근 속도를 완충하기 위해 선반입 정책이 매우 효과적이었다. 그러나 기존의 선반입 기법은 대부분 다단계로 구성된 저장장치는 고려하지 않기 때문에 다단계 저장장치에서 기존의 선반입 기법을 사용할 경우 큰 성능향상을 기대 할 수 없다. 본 연구에서는 네트워크로 연결된 다단계 저장장치에서 상위 레벨의 선반입 기법에 의존하지 않는, 넓은 용도로 사용할 수 있는, Prefetching Strategy for Multi-level Storage system(PMS)라 칭하는 하위 레벨 선반입 기법을 제안하였다. 이는 시스템의 사용자, 어플리케이션 혹은 상위 시스템과 독립적으로 동작하기 때문에 단지 하위 시스템의 선반입 정책으로 적용함으로써 쉽게 높은 성능을 사용할 수 있다. 또한 PMS 정책의 성능을 측정하기 위해 본 연구에서는 실제 시스템을 정교하게 흉내 내는 시뮬레이터를 개발하여 널리 쓰이는 두가지 트레이스를 이용한 서로 다른 32가지의 실험을 하였고, 기존의 선반입 정책을 하위 레벨에 적용한 시스템에 비해 PMS 정책을 하위 레벨에 적용할 경우, 모든 경우에서 성능향상을 확인 할 수 있었고, 최대 35%, 평균 16.56%의 평균 응답시간이 좋아짐을 보였다.

무선 센서 네트워크에서 유효 커버리지 및 접속성 보장을 위한 중앙 집중형 배치 프로토콜 (A Centralized Deployment Protocol with Sufficient Coverage and Connectivity Guarantee for WSNs)

  • 김현태;장계평;김형진;주영훈;나인호
    • 한국지능시스템학회논문지
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    • 제16권6호
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    • pp.683-690
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    • 2006
  • 무선 센서 네트워크에서 에너지 소비의 효율성은 전체 네트워크 수명 시간을 결정하기 때문에 에너지 소비를 최소화하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 무선 센서 네트워크에서 에너지 보전을 위해서는 운영에 필요한 최소한 센서 노드만을 활성화된 상태로 유지하고 나머지 노드들은 휴면 상태로 유지하여 불필요한 에너지 소비가 일어나지 않도록 하여야 한다. 그러나 얼마만큼의 센서 노드들을 최적의 운영 노드 집합에 포함시킬 것인지를 계산하는 것은 NP-hard 문제로 알려져 있다. 본 논문에서는 최적에 근접한 커버 집합(cover set)을 생성하기 위하여 CVT 기반의 근사화 알고리즘을 제안하였다. 제안된 알고리즘에서는 센서의 통신 범위가 센싱 범위의 두 배 이상이면 커버 집합에 속한 센서 노드 간의 연결이 즉시 이루어지도록 하고 반면에 통신 범위가 센싱 범위의 두 배 이하이면 커버 집합의 접속성 보장을 위하여 보조 노드를 결정하는 연결 기법을 제시하였다. 마지막으로 제안된 알고리즘의 성능 평가를 위하여 이론적 분석과 실험을 수행하였으며, 실험결과를 통해 제안된 알고리즘이 Greedy 알고리즘보다 CCS(Connected Cover Set)의 크기와 실행 시간 측면에서 우수함을 보였다.

대전지역 주부들의 한국발효식품 소비실태 (Housewives발 Consumption Aspects of Korean Fermented Foods in Taejon)

  • 구난숙
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.714-725
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    • 1997
  • 전통 발효식품의 소비정도와 마련방법를 알아보기 위해 대전지역 주부 290명을 대상으로 설문조사를 실시하였다. 김치류는 하루에 1번 이상 이용하는 주부가 97%, 매끼 마다 이용하는 주부는 87%로 가장 빈번하게 식탁에 오르는 발효식품이었다. 그 다음은 진간장, 국 간장, 고추장 및 된장의 순으로 하루에 1번 이상 이용한다는 답은 각각 47%, 46%, 31% 및 27% 이어서 장류는 우리 음식 준비시 매일 요구되는 발효식품임을 알 수 있었다. 식사 준비시 매우 낮은 빈도로 이용되는 발효식품은 청국장, 젓갈류 및 장아찌류로 거의 이용하지 않는다는 주부도 각각 18%, 19% 및 22%나 되었다. 특히 김치류, 장아찌류, 된장류, 고추장류, 젓갈류 및 청국장 등은 교육수준이 높고 젊은 주부일수록 소비빈도가 유의적으로 낮았다. 가족형태와 유의적 관계가 있는 발효식품은 된장류 뿐으로 대가족보다는 핵가족인 경우 소비 빈도가 낮았고, 주부의 직업 유무와는 젓갈류만 유의적 관련성이 있어서 일을 하는 주부들이 젓갈류를 자주 이용하고 있었다. 74%의 주부가 전통 발효식품의 소비가 감소하고 있다고 하였고, 감소 이유는 음식 종류의 증가(54%), 자녀들의 식성변화(27%), 반찬수의 증가(10%), 어른들의 식성 변화(9%)를 지적하였다. 김치류의 마련방법은 86%가 직접 제조한 것, 11%가 친척 집것을 이용하는 것으로 나타났고, 장류는 직접 제조하는 주부가 49% 뿐이었다. 교육수준이 높은 젊은 주부일 수록 직접 제조하지 않는 경향을 나타냈다(p<0.0001). 본 조사에서 얻어진 결과를 보면 교육 수준이 높은 젊은 주부일수록 발효식품을 식사 준비 시 적게 이용하는 경향을 나타내고 있다 따라서 식생활의 변화를 인정하되 전통 발효식품이 젊은 세대에 의해 지속적으로 소비되기 위한 프로그램을 개발하여 가정과 사회에서 실질적 교육이 이루어지도록 애써야 한다고 생각한다.

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무선 센서 네트워크를 이용한 건축물 인상/기초보강 공사 모니터링 시스템 (Monitoring System For Structure Lifting or Foundation Reinforcement Work Using Wireless Sensor Network)

  • 황인문;손철수;박나연;변항용;김원중
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제12권9호
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    • pp.1575-1583
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    • 2008
  • 기존의 유선 네트워크에 비하여 무선 네트워크는 저전력, 저비용, 자율 네트워크 구성 등의 장점을 가지고 있어 이를 대체하는 연구가 많이 진행되고 있다. 건축물 인상/기초보강 공사는 고도의 정밀한 계측이 병행되어야 하기 때문에 건축물에 각종 센서를 설치하고 그 센서를 데이터 로거에 연결하여 센서 데이터를 모니터링 하면서 작업한다. 그러나 이러한 유선 데이터 로거 방식은 배선에 많은 시간이 소요되고 설치된 배선은 공사에 방해가 된다. 또한 유선 데이터 로거 방식에서는 단순히 수치와 그래프 형태만으로 표시되는 한계성 때문에 공사 진행에 필요한 신속한 의사 결정을 효과적으로 지원하는 데에는 한계가 있다. 이러한 유선 데이터 로거 방식의 배선 관련 문제점을 해결하고 신속한 의사 결정을 지원하기 위하여 무선 센서 네트워크 기반의 모니터링 시스템을 설계 및 구현하였다. 이 시스템의 성능, 정확성, 유용성을 검증하기 위하여 시뮬레이션과 현장 실험을 실시하였다. 그 결과로 본 연구의 무선 센서 네트워크 방식이 기존 유선 데이터 로거 방식보다 설치와 배포가 용이하고, 건축물과 센서가 3D로 표현되고 움직임으로써 사용자가 직관적이고 전체적인 모니터링이 가능하고, 유선 방식만큼의 정밀도를 제공할 뿐만 아니라 다수의 센서에 대해서도 실제로 적용 가능한 성능을 보임을 검증하였다.