• 한국수산과학회지
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• 제27권5호
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• pp.535-548
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• 1994

각 해역에 시설된 사각형, 반구형, 원통형 인공어초어장의 어류 군집상 및 어획량 변동을 조사하여 인공어초 모형에 대한 어종 친화성과 해역별 최대효과를 가져 올 수 있는 적정 어초모형에 대해 논의하였다. 1988년 5, 7, 9, 11월에 각 1회씩 삼중자망으로 어획조사를 실시하였으며, 어획된 어류는 종별로 분류하여 계수하였다. 인공어초어장에서 출현한 총 어종수는 45종이며 볼락류, 쥐노래미, 가자미류, 쥐치 및 말쥐치의 출현빈도가 높았다. 사각형 인공어초어장에서는 총 38종이, 원통형 인공어초어장에서는 총 31종이, 그리고 반구형 인공어초어장에서는 총 18종이 출현하였다. 해역별 주요 우점종은 대부분이 가자미류, 가오리류, 쥐치, 말쥐치, 쥐노래미, 볼락류와 같은 연안정착성 혹은 저서성, 암초성어류였으며 남해 외양만이 회유성 어종인 고등어가 최우점종이었다. 인공어초모형에 따라 저서성, 암초성, 회유성 어류의 조성률이 다르게 나타났다. 사각형 인공어초어장에서는 회유성어류의 조성률이 높은 반면 반구형 인공어초어장에서는 저서성 어류 및 부착생물을 주로 먹이로 하는 어류의 조성률이 높았다. 동해 중부연안을 제외한 전 해역의 인공어초어장중 사각형 인공어초어장에서 어획량이 가장 높았으며, 동해 중부연안은 원통형 인공어초어장에서 어획량이 가장 높았다. 인공어초모형별 어류 군집상은 사각형 인공어초어장과 반구형 인공어초어장은 서로 차이가 있으며, 원통형 인공어초어장은 이 두 인공어초어장의 중간적인 성격을 띤 군집상을 나타내었다. 또한 해역별로 보면 남해연안과 서해 남${\cdot}$중부연안의 군집상이 유사했고, 남해외양과 동해 남${\cdot}$중부연안의 군집상이 유사하였다./TEX>인 점을 고려하여 볼 때 수은 오염에 주의할 필요가 있음을 알 수 있었다. 6. 카드뮴의 어종별 96hr-LC50은 넙치 28.4mg/l, 숭어 2.55mg/l, 조피볼락 28.7mg/l으로 나타났다. 7. LAS의 96hr-LC50은 0.79mg/l이었고, 숭어에 대한 96hr-LC50은 0.06mg/l, 조피볼락 1.08mg/l으로 기수성 어류인 숭어의 내성이 매우 낮은 점이 특이하였다.치사하지 않으므로, 본 실험의 결과를 기초로 하여서 무수 수송 장치를 만들면 충분히 실용화가 가능할 것으로 생각된다.X>로 상당히 높게 나타났고, EPA, DHA 등 w3 계의 장쇄(長鎖)고도불포화지방산의 조성비가 $22.13\%$로 높게 나타났으며, 양적으로 많은 지방산은 포화산 중에는 palmitic acid($C_{16:0}$), monoene산 중에서는 palmitoleic acid($C_{16:1}$), polyene산 중에서는 hexadecatetraenoic acid($C_{16:4}$), eicosapentaenoic acid ($C_{20:5}$), docosahexaenoic acid($C_{22:6}$) 등이 함량이 많았다. Carotenoprotein으로부터 분리한 총 caroteoid 함량은 $8.80mg\%$였고, 주 carotenoid는 mytiloxanthin($74.79\%$), 3,4,3'-trihydroxy-7',8'-didehydro-${\beta}$-carotene($18.26\%$)였다

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• 제24권4호
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• pp.560-569
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• 1999

치수생활력이란 치수내의 혈관의 상태를 가리킨다. 치수생활력 측정을 위해서 사용되어져 온 온도검사나 전기치수 검사는 치수신경의 반응에 기초하여 간접적으로 치수의 생활력을 판단하는 방법이다. 따라서 치수생활력의 판단을 위해서 치수생활력의 기본인 치수혈류를 파악할 필요가 있어 laser Doppler flowmeter를 이용하여 치수 혈류를 측정하는 방법이 연구되었다. 본 연구에서는 성인치아에서 치수생활력 검사를 위해 laser Doppler flowmeter를 이용하여 치수혈류를 측정 할 경우 생활력의 판단 근거로 참고할 수 있는 정상혈류 측정치의 기초자료를 마련할 목적으로, laser Doppler flowmeter를 이용하여 성인의 상악 중절치에서부터 제1대구치에 이르기까지 각 정상 치아의 치수혈류를 측정하고, probe 고정용 splint 제작 방법 및 생활치수와 실활치수에 따른 치수혈류 측정치의 차이를 비교, 연구하였다. 22세에서 30세까지 성인 남녀 79명을 대상으로 상악 중 절치에서부터 제1대구치에 이르기까지 laser Doppler flowmeter를 사용하여 치수혈류를 측정하였고, 생활치아에 대한 비교군으로는 실활치아라고 판단되는 치아를 가진 성인 남녀 자원자 5명의 치아 13개도 함께 검사하였다. 혈류 측정 probe고정용 splint제작을 위한 고무인상시 직접법에서는 환자 구강내에서 직접 고무인상을 채득하였고, 간접법에서는 구강내에서 일차 인상을 채득하여 만든 석고모형상에서 probe 위치를 표시한 다음 석고모형상에서 이차적으로 고무인상을 채득하였다. 고무인상에서 치관부에 probe 고정을 위한 hole을 형성하고 probe를 삽입, 고정한 다음 probe를 치아 협면에 적용하였다. Laser Doppler flowmeter에서 안정된 신호가 나타날 때까지 피검자를 10분 이상 동안 안정시켰으며 안정상태 도달 후 각 치아마다 5 분간 지수혈류를 기록하였다. 측정된 치수혈류는 'Perisoft'(Perimed Co., Sweden) 프로그램을 이용하여 컴퓨터에 저장한 후 측정치를 계측하였다. 각 치아간의 실험치 평균의 차이는 일원 변량 분석법(one-way ANOVA) 및 Duncan's Multiple Range test를 이용하여 분석하였으며, 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 상악 중절치에서부터 제1대구치에 이르기까지 시험대상 전 치아에서의 치수혈류 측정치 평균은 9 - 16 Perfusion Unit 사이로 나타났는데, 상악 측절치에서 가장 높게 나타났고, 제1소구치, 제2소구치, 견치, 중절치, 제1대구치의 순으로 높게 나타났다(p<0.01). 2. 상악 6전치에서는 간접인상법으로 제작된 splint 적용군이 직접인상법으로 제작된 splint 적용군에 비해 높은 측정치를 나타내었으나(p<0.01). 소구치 및 대구치에서는 측정치에 있어서 차이를 나타내지 않았다(p>0.05) 3. 생활치아에서는 실활치아에 비해 현저히 높은 측정치를 나타내었고(p<0.01). 측정선의 양상은 심장 박동과 일치하는 파동성 및 율동성을 나타내었다.

• 한국전통조경학회지
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• 제33권3호
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• pp.16-37
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• 2015

본 연구는 석조전 정원 조성 과정과 변천을 사회적 배경에 따른 덕수궁 권역의 변천과 연계하여 분석하였다. 그 결과 정원의 변천 과정을 4단계로 구분하였다. 첫째, 개항기 말인 1896년에서 1914년이다. 1896년부터 1897년까지 경운궁은 법궁으로 조성되어 고종의 거처로 중화전과 석조전이 마련되었다. 석조전 건립 초기에는 브라운이 관여했고, 준공과 정원은 데이빗슨이 마무리했다. 정원 조성 과정에서 중화전 회랑이 훼철되고 돈덕전이 편입되었다. 정원은 중심부에 원형 기식화단과 축선을 겸한 동선을 지닌 단순한 형태였고 독수리 조각상을 세웠으나 곧 철거되었다. 둘째, 1915년에서 1932년으로 17년간 형태가 유지되었던 시기이다. 1911년 대한제국 말기 궁내부를 계승한 이왕직이 1915년에 주전과를 설치하여 덕수궁 내 건물들을 조사했다. 당시의 정원은 1차 조성 형태 요소 중 중심축선은 유지하였지만, 녹지대는 비대칭형으로 하였다. 세부화단은 원형이고 오픈 노트 기법과 경계부 식재를 했고, 세분된 동선을 조성했다. 셋째, 1933년에서 1937년까지로 석조전이 개방된 시기이다. 1932년 석조전을 상설미술관으로 개방하기 위해 많은 건물을 훼철했다. 새로 조성한 정원은 중심축과 연계된 동선 중심에 거북이 조각상이 놓인 직사각형 수반이 있는 형태이다. 넷째, 1938년에서 해방까지로 덕수궁이 공원화된 시기이다. 이왕가미술관을 건립하여 석조전과 브리지로 연결하였고, 정원은 선큰(sunken) 정원으로 변모했다. 분수대, 파고라가 도입되었고 이후 부분적인 변형이 있었으나 현재까지 지속되고 있다. 이처럼 현재 남겨진 석조전 정원은 최초의 모습이 아니며, 따라서 본 연구는 석조전 정원에 대한 언설이 재작성되어야 함을 밝힌 것에 의의가 있다.

• 한국식품과학회지
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• 제36권5호
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• pp.837-841
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• 2004

무를 비롯한 채소류의 식품적, 영양적 가치 그리고 관능성을 향상시키기 위해 국내에서 전통적인 젖산 발효가 널리 행하여지고 있다. 본 연구에서는 그와 같은 전통적인 발효방법과 달리 쌀 세척 시 부수적으로 발생되는 쌀뜨물을 발효시킨 새로운 발효 base를 사용한 발효방법을 개발하고자 하였다. 깍두기와 동치미의 재료로 쓰이는 무를 대상 시료로 결정하였고 발효 중 시료와 발효 base에서 발생하는 미생물학적 변화와 이화학적인 변화를 측정하였다. 발효 초기의 균수는 대상 시료, 무와 발효 base가 갖고 있는 미생물군에 의해서 결정되었는데 발효가 진행되면서 초기에 미생물상을 결정하던 Enterobacter는 대부분 사멸되었고 낮은 pH에서도 성장 가능한 Leuconostoc속과 Lactobacillus속 등 내산성 미생물의 번식이 활발하였다. 무와 발효 base에서는 발효 초기부터 균수의 증가가 나타났고 pH감소가 두드러지게 나타났던 발효 4-7일 사이에서 젖산균의 성장이 두드러지게 나타났으며 이때부터 측정된 젖산균수는 총생균수의 대부분을 차지하였다. 또한 젖산균의 변화는 발효 초기 구균의 증식이 젖산간균에 비하여 활발한 것으로 나타났고 말기에는 젖산간균과 젖산구균의 유의적 증식 차이는 나타나지 않았다. 발효 전 무와 발효 base의 pH는 5.6-6.6 사이였고 발효 초기에 4.19-4.57로 감소를 나타냈고 발효 말기에까지 pH의 감소 경향이 나타났다. 반면 산도의 경우는 발효 전 0.09-0.36% 수준을 보이다가 발효가 시작되면서 초기 급격한 증가를 나타내었고 발효 말기까지 꾸준히 증가하는 것으로 나타났다. 본 연구 결과 무 시료의 발효는 $20^{\circ}C$에서 10일 전후에서 완료되는 것으로 관찰되었고 pH 보다는 산도가 유산균의 성장과 발효시간 결정을 위한 지표로 사용 가능한 것으로 판단되었다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제32권2호
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• pp.244-249
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• 2003

홍국 첨가식 이로 성장시킨 흰쥐에 있어서 간조직의 유해산소 기구와 혈청지질 성분의 변동에 어떠한 영향을 미치는지를 검토할 목적으로 Monascus로 제조된 홍국을 사료에 2%, 4% 첨가시켜 1개월 간 사육한 후, 처치하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 300g 내외의 흰쥐를 홍국 첨가식 이로 1개월 간 성장시키는 동안 2% 홍국 첨가식이군의 체중증가율은 대조군 및 4% 홍국 첨가식이군보다 다소 낮게 나타나는 경향을 보였으며, 이러한 조건 하에서 간 기능은 2%, 4% 홍국첨가 식이군 모두 별다른 변화를 나타내지 않았다. 유해산소 생성 에 관여하는 cytochrome P450 dependent aniline hydroxylase 활성은 2% 및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 각각 32%, 37%의 유의한(p<0.05)감소를 보였으며 홍국 첨가식이 농도를 달리한 실험군 간에 유의한 차이가 나타나지 않았다. 그러나 xanthine oxidase 활성은 2% 및 4% 홍국첨가 식이군이 대조군에 비해서 각각 29%, 36% 증가되었으며 2군간에는 의의있는 차이는 없었다. 유해산소 해독에 관여하는 glutathione-5-transferase와 glutathion peroxidase 활성은 2% 및 4% 홍국 첨가식이군 모두 대조군에 비해서 각각 1.1%, 23%의 유사한 증가를 보였으며, 특히 Catalase의 활성은 2%및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 각각 41%, 25%의 유의한 (p<0.05) 증가를 보였다. 그리고 superoxide dismutase의 활성과 간조직 glutathione의 함량은 2% 및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 높게 나타나는 경향을 보였으며, 2% 흥국 첨가식이군이 4% 홍국 첨가식이군보다 약간 높게 나타났다. 한편 혈청 중 HDL-cholesterol은 2% 및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 16% 및 8%높게 나타나는 반면, LDL-cholesterol은 대조군에 비해서 다같이 약 26% 정도 감소되는 경향을 보였고, triglyceride의 함량 역 시 2% 및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 모두 약 25% 정도 감소되는 경향을 보였다. 이때 동맥경화지수는 2$^{\circ}C$ 및 4% 홍국 첨가식이군이 대조군에 비해서 각각 39%, 29%의 유의한(P<0.05) 감소를 보였으며, 2% 홍국 첨가식이군 4% 홍국 첨가식이군보다 감소의 정도가 크게 나타나는 경향을 보였다. 이상 실험결과를 종합해 볼 때 홍국 성분은 oxygen free radical의 일종인 $H_2O$$_2$를 제거하는 효소인 catalase의 활성을 증가시킴으로서 유해산소에 의한 동맥경화증의 발생을 예방시켜 줄 수 있을 것으로 사료되나 이점에 대해서는 추후 계속적인 연구 검토가 행해져야할 것으로 생각된다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제15권1호
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• pp.75-81
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• 1986

w-3계 linolenic acid가 풍부한 들깨기름 및 EPA와 DHA가 함유된 말쥐치기름의 혈청 및 간장의 지질성분에 미치는 영향을 구명하기 위해 지방산조성이 다른 몇가지 유지를 고콜레스테롤 식이 흰쥐에 식이하므로서 혈청 및 간장중의 지질농도에 미치는 영향을 비교 실험하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 사료섭취량과 증체량은 전 시험군간에 있어 별다른 차이가 없었다. 2. 혈청의총 cholesterol농도는 soybean oil perilla oil및 file fish oil 식이군이 대조군에 비해 유의적으로 낮았다. HDL-cholesterol 농도는 file fish oil 식이군이 가장 높았으며, perilla oil 식이군도 약간의 상승효과가 있었다. 총 cholesterol에 대한 HDL-cholesterol의 비율은 file fish oil식이군이 가장 높았다. 3. 간장의 총 cholesterol농도는 전 시험군간에 유의적인 차이는 없으나 file fish oil 및 perilla oil 식이군에서 약간 낮은 경향이었다. 4. 혈청의 triglyceride농도는 soybean oil 및 perilla oil식이군이 대조군에 비해 유의적으로 낮았다. phospholipid의 농도는 file fish oil식이군이 가장 낮았으며, soybean oil 및 perilla oil식이군에서도 대조군에 비해 유의적으로 낮았다. 5. 간장중의 triglyceride및 phospholipid의 농도는 전시험군간에 유의적인 차이는 없으나, perilla oil식이군이 약간 낮은 경향이었다. 이상의 결과로 미루어 보아 perilla oil 및 file fish oil은 혈청의 총 cholesterol, 및 phospholipid의 농도저하 효과가 다소 있는 것으로 사려된다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제36권10호
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• pp.1326-1333
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• 2007

연어 훈제 가공품의 제조 중 부산물로 발생하는 연어 frame을 곰탕 유사 제품과 같이 보다 효율적으로 이용할 목적으로 연어 frame 엑스분의 제조를 시도하였고, 아울러 이의 특성을 시판 제품과 비교 검토하였다. 연어 frame 엑스분은 연어 frame에 대하여 12배의 가공용수를 가한고, 12시간 동안 열수추출하여, 원심분리 및 정용(추출을 위하여 사용한 가공용수의 25%로 정용)하여 제품화 하는 것이 가장 좋았다. 최적조건에서 제조한 연어 frame 엑스분은 중금속적인면에서는 안전한 범위이었고, 주 맛성분은 glutamic acid와 aspartic acid등이었다. 또한, 연어 frame엑스분의 주요 총아미노산은 glycine, proline 및 glutamic acid 등이었고, 칼슘과 인의 함량은 $1{\sim}2$인분 기준(시판 제품에서 $1{\sim}2$인용으로 시판되는 용량인 500mL 기준)에서 1일 권장량의 약 20% 및 18%에 해당하는 함량이었다. 연어 frame엑스분은 고혈압 억제능인 ACE 저해능은 거의 인정되지 않았으나, 이를 Flavourzyme으로 4시간 가수분해하는 경우 ACE 저해능$(IC_{50}=2mg/mL)$이 상당히 개선되었다. 그러나 연어 frame 엑스분의 고혈압 저해능을 기대하기 위하여는 적절한 가수 분해 조건의 구명이 동반되어야 하리라 판단되었다. 이상의 결과로 미루어 보아 연어 frame에 대하여 12배의 가공용수를 가하고, 12시간 동안 열수추출하여, 원심분리 및 정용(연어 frame에 대하여 3배에 해당하는 용량)한 다음 적절히 효소 가수분해하는 경우 곰탕 유사 제품의 베이스로 사용 가능하리라 판단되었다.

• 한국산림과학회지
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• 제86권4호
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• pp.509-520
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• 1997

1994년 4월에 산불이 일어나서, 소나무림과 임상식생이 완전히 전소된 경북 김천시 부상면 금오산(976m)의 일부 지점으로 사면방위가 S10W로, 산불이 발생한 지역을 벌목지와 비벌목지로 구분, 인접한 소나무림을 대조구로 선정하여, 산불이 일어난 후 1년째인 1995년 4월부터 1996년 10월에 걸쳐 식생구조, 종다양성지수, 우점도지수, 균등성지수, 천이도 및 토양의 이화학적 변화를 분석한 결과는 다음과 같다. 조사지에 출현한 식물은 벌목지가 32종, 비벌목지가 36종, 비산화자가 34종으로 나타났으며, 출현된 식물의 생활형은 벌목지 $H(G)-D_1-R_5-e$ 비벌목지가 $H(M)-D_1-R_5-e$, 비산화지가 $M(N)-D_1-R_5-e$ 형으로 나타났다. 적산우점도는 산화지, 비산화지의 출현한 식물의 층상구조로 볼 때, 산화지 중 벌목지는 초본층만 출현하여, 억새(100.00), 산거울(52.27), 졸참나무(51.19), 큰까치수영(39.40)순이었고, 비벌목지의 교목층은 상수리나무(56.91), 소나무(26.83), 관목층은 졸참나무(50.43), 감태나무(40.51), 싸리(37.85), 초본층은 억새(72.27), 고사리(69.02), 산거울(63.63)순이고, 비산화지의 경우 교목층은 소나무(99.88), 감태나무(21.07), 관목층은 졸참나무(77.47), 소나무(60.03), 청미래덩굴(56.19), 초본층은 억새(82.74), 산거울(74.02), 졸참나무(49.43)순으로 나다났다. 종다양성지수는 벌목지 1.05, 비벌목지 1.32, 비산화지 0.22, 균등성지수는 벌목지 0.70, 비벌목지 0.85, 비산화시 0.63이며, 우점도지수는 벌목지 0.15, 비벌목지 0.06, 비산화지 0.96, 천이도는 벌목지 345.19, 비벌목지 747.47, 비산화지 674.34, 각 지소별 유사도지수는 벌목지와 비벌목지간 0.66, 비산화지와 벌목지간은 0.50, 비산화지와 비벌목지간은 0.61이었다. 토양성분은 pH, 치환성양이온인 $Ca^{2+}$, $Mg^{2+}$, $Na^{2+}$, $NH{_4}^+$-N, $NO{_3}^-$-N은 벌목지가 비벌목지 보다 높게 나타냈으며, 유기물함량, 유효인산, 총질소함량, 총탄소함량, 치환성양이온인 $K^+$는 비벌목지가 벌목지보다 높게 나타났다. 이상의 결과로 보아 산화지의 관리에 있어서 무조건 벌목보다는 산화지의 식생회복과 재생의 정도를 고려한 선택적인 벌목이 이루어져야 된다고 생각된다.

• 한국응용곤충학회지
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• 제16권3호
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• pp.163-170
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• 1977

한국에서 감자의 여러 가지 감수요인중 가장 중요한 것은 각종병해인데, 이 가운데에서도 특히 바이러스 병인 모자이크병과 잎말림병에 의한 수량감소가 가장 큰 것으로 보인다. 한국에서는 무병 건전한 씨감자를 생산해서 농민에게 보급할 목적으로 1961년에 고랭지시험장에서 씨감자 검역사업이 시작되었다. 본고에서는 현재 우리나라에서 시행되고 있는 춘작용 보급종 씨감지(남작품종)의 생산개황을 설명하였다. 1976년도에는 대관령에 있는 2개 씨감자 생산조합회원들에 의해 약 1마톤 (M/T)의 보급종 남작 씨감자가 생산되어 농수산부의 종자보급소를 통해 농민에게 공급되었고, 이들 보급종 씨감자의 검역은 국립농산물검사소 검사원들이 실시하였다. 보급종 씨감자는 단위수량에 있어서 농민들이 자 채종해서 재배하는 씨감자를 월등히 능가하지만, 1976년도의 경우 보급종씨감자의 절대생산량부족으로, 급량은 소요량의 1/5에 불과하였다. 한편 추작용 상품종인 "시마바라"의 보급종은 한국에서 생산되지 않고 있다. 바이러스병에 걸린 씨감자를 심으면 아무리 맥배 리를 잘해도 수량의 증대는 기대할 수 없다. 따라서 단위수량의 제고는 농민들이 보다 우량한 씨감자를 심어야만 이루어질 수 있으며, 그러기 위해서는 현재 씨감자 공급량을 2-3배로 증가해야 한다. 현재의 부족되는 보급종 씨감자의 공급량을 충족시키기 위해서는 씨감자의 재배면적확대와 씨감자 생포장에서의 단위수량증대가 이루어져야 한다. 한국에서는 씨감자생산에 적당한 고랭지가 많이 있으며, 고랭지 이외의 곳에서도 우량한 씨감자는 생산될 수 있다. 우량씨감자의 보급과 재배법의 개선은 감자의 단위량을 크게 증대시킬 것이다. 한편 고랭지시험장에서 생산되고 있는 원원종씨감자의 질을 향상시키기 위해 최근에 개발된 몇가지 새로운 재배기술을 활용해봄직하다. 또한, 무병 건전한 신품종의 씨감자가 신속히 농민에게 보급될 수 있도록 현행 씨감자 검역제도는 개선되어야 한다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제19권1호
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• pp.61-66
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• 2012

반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.